ÀüÁ¾¸ñÅä·Ð

Àåºñ ¼ÒÀç ¾÷ü ÄÉÀ̾¾ÅØÀÌ ¼ö ³â°£ÀÇ ¿¬±¸°³¹ß(R&D) ³¡¿¡ Ãʹ̼¼ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿¡ Æ¯ÈµÈ 'ÃÊÀÓ°è(õ±×üÍ£, supercritical)' ¼¼Á¤Àåºñ¸¦ »ó¿ëÈÇÑ´Ù.
ÀÌ Àåºñ´Â »ï¼ºÀüÀÚ ÀÚȸ»ç ¼¼¸Þ½º°¡ ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î °³¹ßÇÏ°í °ø±ÞÀ» ¼º»ç½ÃŲ ÀÌ·¡ ÀϺ» µµÄìÀÏ·ºÆ®·Ð(TEL) µî ¼Ò¼ö ȸ»ç¸¸ÀÌ »ó¿ëÈÇÑ °í³µµ ¼³°èÀÇ ¼¼Á¤ Àåºñ´Ù.
6¿ù15ÀÏ SKÇÏÀ̴нº¿¡ µû¸£¸é ÄÉÀ̾¾ÅØÀº À۳⠸»¿¡¼ ¿ÃÇØ ÃÊ È¸»çÀÇ Àåºñ Æò°¡¸¦ ¼º°øÀûÀ¸·Î Åë°úÇß´Ù. À̸£¸é ¿Ã ÇϹݱ⠰ø±ÞÀ» ½ÃÀÛÇÑ´Ù. º»°Ý ¹ßÁÖ´Â ³»³â 2¿ù Àåºñ ¹ÝÀÔÀÌ ½ÃÀ۵Ǵ ¿ëÀÎ 1±â ÆÕ¿¡ ÁýÁßµÉ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
SKÇÏÀ̴нº´Â ÃÊÀÓ°è ¼¼Á¤ Àåºñ¸¦ ÀϺ» TEL¿¡¼¸¸ Á¶´ÞÇØ¿Ô´Ù. ¼¼¸Þ½º´Â »ï¼ºÀüÀڷθ¸ ÃÊÀÓ°è ¼¼Á¤ Àåºñ¸¦ °ø±ÞÇØ¿Ô±â ¶§¹®¿¡ ´Ù¸¥ ¼±ÅÃÁö°¡ ¾ø¾ú´Ù. »ï¼º °è¿ Àåºñ¸¦ ÇÑ ¹øµµ »çÁö ¾Ê´ø SKÇÏÀ̴нº´Â 2017³â ¼¼¸Þ½º°¡ ¼¼°è ÃÖÃÊ »ó¿ëÈ¿¡ ¼º°øÇÏÀÚ ±¸¸Å »ó´ãÀ» ¿äûÇßÀ» ¸¸Å ÀÌ Àåºñ¸¦ Ž³Â´Ù.
ÄÉÀ̾¾ÅØ ÁøÀÔÀ¸·Î °ø±Þ¸Á ±¸µµ°¡ ¹Ù²ð °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ. ¾÷°è °ü°èÀÚ´Â "»õ °ø±Þ»ç°¡ »ý°å±â ¶§¹®¿¡ ÇâÈÄ TEL°úÀÇ °¡°Ý Çù»ó¿¡¼ SKÇÏÀ̴нº°¡ ¿ìÀ§¸¦ Â÷ÁöÇÒ °Í"À̶ó°í Àü¸ÁÇß´Ù.
ÄÉÀ̾¾ÅØÀº ÇØ´ç Àåºñ¸¦ ´ë´ç 100¾ï¿ø ¼öÁØ¿¡ °ø±ÞÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù. ÈÇбâ°è¿¬¸¶(CMP), 웻½ºÅ×ÀÌ¼Ç µî ±âÁ¸ Àåºñº¸´Ù ´Ü°¡°¡ ³ô´Ù. °íºÎ°¡ ¸ÅÃâ¿øÀÌ »õ·Î Ãß°¡µÇ´Â °ÍÀÌ´Ù.
ÃÊÀÓ°è´Â ¹°ÁúÀÌ ÀÓ°è ¿Âµµ¿Í ¾Ð·ÂÀ» ³Ñ¾î¼³ ¶§ ³ªÅ¸³ª´Â ¹°¸® »óÅ´Ù. ÀÌ »óÅ¿¡¼ ¹°ÁúÀº ¾×ü¿Í ±âü ±¸ºÐÀÌ ¾ø¾îÁö°í µÎ »óÅ Ư¼ºÀ» µ¿½Ã¿¡ °¡Áø´Ù. ¾×ü¿¡ ÁØÇÏ´Â ¹Ðµµ·Î ¿þÀÌÆÛ ÀÜ·ù¹°°ú ¿À¿°¹°À» ½±°Ô ³ìÀÌ¸é¼ ±âü ¼ºÁúµµ ¶ì¾î ¹Ì¼¼ ÆÐÅÏ ³»ºÎ±îÁö µµ´ÞÇØ Â±â¸¦ Á¦°ÅÇÑ´Ù.
±âÁ¸¿¡´Â ¿þÀÌÆÛ¸¦ ȸÀü½ÃÄÑ ¼¼Á¤ ¾à¾×À» °ÇÁ¶½ÃÄ×´Ù. ±×·¯³ª 10³ª³ë´ë D·¥Àº ÆÐÅÏ °£°ÝÀÌ Á¼°í ´ÜÂ÷°¡ Ä¿Á³´Ù. ȸÀü½ÄÀ» ±×´ë·Î ¾²¸é ÀϺΠ°øÁ¤¿¡¼ ÆÐÅÏÀÌ Èְųª ÀÎÁ¢ ÆÐÅϰú ºÙ´Â´Ù. ÃÊÀÓ°è ¼¼Á¤ Àåºñ´Â ¿þÀÌÆÛ¸¦ µ¹¸®Áö ¾Ê°í °í¾ÐÀ¸·Î ¸¸µç ÃÊÀÓ°è ¹°Áú·Î ¾à¾×À» °ÇÁ¶ÇØ ÆÐÅÏ ¼Õ»ó ¾øÀÌ ¼¼Á¤À» ³¡³½´Ù.
ÄÉÀ̾¾ÅØÀº ÀÌ Àåºñ¸¦ SKÇÏÀ̴нº¿Í 5¿©³â°£ °øµ¿ °³¹ßÇß´Ù. (°ü·Ã±â»ç ÄÉÀ̾¾ÅØ 'ÃÊÀÓ°è' ¼¼Á¤Àåºñ ÇÏÀ̴нº D·¥ ¾ç»ê¶óÀÎ Æò°¡)ÀÌ °úÁ¤¿¡¼ ÄÉÀ̾¾ÅØÀÌ ÅõÀÔÇÑ ÀÚÀçºñ¿Í Àη R&D ºñ¿ëÀº ¼ö¹é¾ï¿ø¿¡ ´ÞÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î Ãß»êµÈ´Ù. ÇÁ·ÎÁ§Æ® ½ÃÀÛ Àü ½ÇÆÐ¸¦ ¿ì·ÁÇÑ ÀϺΠÀÓÁ÷¿øÀº ÃßÁøÀ» ¸Á¼³¿´Áö¸¸ °á±¹ 'ÇØº¸ÀÚ'·Î °¡´ÚÀ» Àâ¾Æ ¸ñÇ¥¸¦ ´Þ¼ºÇß´Ù.
SKÇÏÀ̴нº´Â D·¥ Áõ¼³¿¡ ¼Óµµ¸¦ ³»°í ÀÖ´Ù. ÃÖÅ¿ø SK±×·ì ȸÀåÀº ÃÖ±Ù "Àü¼Ó·ÂÀ¸·Î ÇâÈÄ 5³â ¾È¿¡ Àüü ¿þÀÌÆÛ »ý»ê´É·ÂÀ» µÎ ¹è·Î ´Ã¸®°Ú´Ù"°í ¹àÇû´Ù. ¸Þ¸ð¸® ºÎÁ·ÀÌ 2030³â±îÁö À̾îÁø´Ù´Â ÆÇ´Ü¿¡¼´Ù. ÁÖ¿ä Áõ¼³ ´ë»óÀÎ ¿ëÀÎ 1±â ÆÕÀº ù Ŭ¸°·ë °³¹æ ½ÃÁ¡À» 2027³â 5¿ù¿¡¼ 2¿ù·Î ¾Õ´ç°å´Ù. ÄÉÀ̾¾ÅØÀº ÀÌ·± Áõ¼³ È帧°ú ¸Â¹°¸®´Â ½ÃÁ¡¿¡ ½Å Àåºñ Å×½ºÆ®¸¦ Åë°úÇß´Ù. ´ë±Ô¸ð ¼öÁÖ¸¦ ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ´Ù´Â ±â´ë°¨ÀÌ ³ô´Ù.
ÄÉÀ̾¾ÅØÀÌ ÈÇбâ°èÀû¿¬¸¶(CMP) ±â¼úÀ» ºôµå¾÷Çʸ§(BuF, Build up Film)¿¡ Àû¿ëÇÑ´Ù. ÆÐŰ¡ °íµµÈ·Î ÀÎÇÑ ¹Ì¼¼ °øÁ¤ ÇѰ踦 ±Øº¹Çϱâ À§Çؼ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¸¦ Ȱ¿ëÇØ ¾îµå¹ê½ºµå ÆÐŰ¡ ºÐ¾ß·Î »ç¾÷À» È®´ëÇÑ´Ù.
5¿ù7ÀÏ ¾÷°è¿¡ µû¸£¸é ÄÉÀ̾¾ÅØÀº »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ°¡ ÃßÁøÇÏ´Â '½ÃÀå¼ö¿ä¿¬°è ´ë¸éÀû ºôµå¾÷Çʸ§ ¼ÒÀç ¹× Ãʹ̼¼ÆÐÅÏ °øÁ¤ Çõ½ÅÁ¦Ç°Çü ±â¼ú°³¹ß' ±¹Ã¥ °úÁ¦¸¦ ¼öÇàÇϰí ÀÖ´Ù. Â÷¼¼´ë ºôµå¾÷Çʸ§¿ë CMP ÆòÅºÈ °øÁ¤À» °³¹ßÇÏ´Â ¿ªÇÒÀ» ¸Ã¾Ò´Ù. CMP´Â ¿¬¸¶ ÆÐµå¿Í ¿¬¸¶Á¦(Slurry)¸¦ Ȱ¿ëÇØ Ç¥¸éÀ» ÆòźÇÏ°Ô ¸¸µå´Â °øÁ¤ÀÌ´Ù.
ºôµå¾÷Çʸ§Àº ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰÁö ±âÆÇ¿¡¼ Àý¿¬Ãþ ¿ªÇÒÀ» ÇÏ´Â ÇÙ½É ¼ÒÀç´Ù. °í¼º´É ¹ÝµµÃ¼¸¦ ±âÆÇ¿¡ ºÙÀÏ ¶§ »ç¿ëÇÑ´Ù. ¼·Î ÀüÀÚ°¡ Àß È带 ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇÏ´Â ¿ªÇÒÀ» ÇÑ´Ù. ÇöÀç ÀϺ» ¾ÆÁö³ë¸ðÅäÀÇ ABF(Ajinomoto Build-up Film)°¡ ¾÷°è Ç¥ÁØÀÌ´Ù.
ÄÉÀ̾¾ÅØÀº ºôµå¾÷Çʸ§ÀÇ ±¸Á¶Àû ÇѰ踦 ±Øº¹Çϱâ À§ÇÑ ¹æ¹ýÀ» °³¹ßÇÑ´Ù. ºôµå¾÷Çʸ§Àº ¿¡Æø½Ã ·¹Áø¿¡ ÀÌ»êȱԼÒ(SiO©ü) µî ±Ô¼Ò(Silica) ±â¹Ý ¹«±â ÇÊ·¯°¡ Æ÷ÇԵǾî ÀÖ´Ù. ÀΰøÁö´É(AI), °í¼º´É ¹ÝµµÃ¼ È®»êÀ¸·Î ¹è¼± ÆøÀÌ 5¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ(§) ÀÌÇÏ·Î ¹Ì¼¼ÈµÇ¸ç ¼ÒÀç ÀÚüÀÇ Æ¯¼ºÀÌ ¹®Á¦°¡ µÆ´Ù.
ÀϹÝÀûÀ¸·Î ºôµå¾÷Çʸ§¿ë ÇÊ·¯´Â ¼ö ¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ ¼öÁØÀÌ ÁÖ·Î »ç¿ëµÈ´Ù. ¹è¼± ÆøÀÌ ÇÊ·¯ Å©±â ¼öÁØÀ¸·Î ÀÛ¾ÆÁö¸é Ç¥¸é °ÅÄ¥±â(Roughness)°¡ Ä¿Áø´Ù. Á¼Àº ¹è¼±¿¡ ÇÊ·¯°¡ Æ¢¾î³ª¿Í ¹Ì¼¼ ¿äöÀ» ¸¸µå´Â ¼ÀÀÌ´Ù. ÀüÀÚ À̵¿ ÀúÇ×ÀÌ Áõ°¡ÇÏ°í µ¥ÀÌÅÍ ½ÅÈ£ ¼Õ½ÇÀÌ ¹ß»ýÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÆÐŰÁö ±âÆÇ¿ë ³ë±¤ °øÁ¤ÀÇ Á¤¹Ðµµ ÀúÇϵµ ¹®Á¦´Ù. ºôµå¾÷Çʸ§Àº ¿©·¯ ÃþÀ» ½×°í ȸ·Î¸¦ ±×¸®´Â ÆÐÅÍ´× °øÁ¤À» ¹Ýº¹ÇÑ´Ù. À̶§ Ç¥¸éÀÌ ¿ïÅüºÒÅüÇϸé ȸ·Î¸¦ Á¦´ë·Î ±×¸± ¼ö ¾ø´Ù. ¿©·¯ °³ÀÇ ±âÆÇÃþÀ» »ç¿ëÇÒ¼ö·Ï Æòźµµ È®º¸°¡ Áß¿äÇÏ´Ù.
ÄÉÀ̾¾ÅØÀº ÇÊ·¯ ÀÔÀÚ¸¦ ¹Ì¼¼ÈÇϰí CMP °øÁ¤À¸·Î Ç¥¸é Æòźµµ¸¦ ³ôÀÌ´Â ÇØ°áÃ¥À» ã°í ÀÖ´Ù. Ç¥¸é °ÅÄ¥±â 0.5¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ, µð½Ì(Dishing) 0.5¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ ÀÌÇÏ ¼öÁØÀ¸·Î Á¦¾îÇÏ´Â °ÍÀÌ ¸ñÇ¥´Ù. µð½ÌÀº CMP °øÁ¤¿¡¼ ƯÁ¤ ¿µ¿ªÀÌ °úµµÇÏ°Ô ±ðÀÌ´Â Çö»óÀ» ¸»ÇÑ´Ù.
ºôµå¾÷Çʸ§ °³¹ß°ú °ü·ÃÇØ CMP ±â¼ú ÀÚü´Â »ó´ç ºÎºÐ È®º¸ÇÑ »óÅ´Ù. ºôµå¾÷Çʸ§ ¼ÒÀç¿Í CMP °øÁ¤À» ÃÖÀûÈÇÏ´Â ÀÛ¾÷ÀÌ ³²¾Ò´Ù. ÀúÀ¯Àü¡¤Àú¼Õ½Ç Ư¼ºÀ» °¡Áø ¼ÒÀ縦 °³¹ßÇÏ´Â °ÍÀ» ³Ñ¾î, CMP °øÁ¤¿¡¼ ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î ÆòÅºÈµÉ ¼ö ÀÖ´Â ±¸Á¶±îÁö °®Ãç¾ß ÇÑ´Ù´Â ¼³¸íÀÌ´Ù.
±âÁ¸ ºôµå¾÷Çʸ§ ±¹»êÈ ¿¬±¸´Â ¼ÒÀç ´ëü ÀÚü¿¡ ÃÊÁ¡ÀÌ ÀÖ¾ú´Ù. ÄÉÀ̾¾ÅØÀº Â÷¼¼´ë ¹Ì¼¼ ÆÐŰ¡ °øÁ¤ ´ëÀÀ±îÁö ÁغñÇÑ´Ù.
ÄÉÀ̾¾ÅØÀÌ ¿¬±¸ÇÏ´Â ºôµå¾÷Çʸ§ ±â¹Ý CMP ±â¼úÀº ÇâÈÄ °í¼º´É Çø³Ä¨º¼±×¸®µå¾î·¹ÀÌ(FC-BGA)¿Í ÀÎÅÍÆ÷Àú, À¯¸®¿¡ ±¸¸ÛÀ» ¶Õ´Â TGV(Through Glass Via), ÆÐ³Î·¹º§ÆÐŰ¡(PLP), °íÁÖÆÄ ÆÐŰÁö Ç÷§Æû µî¿¡ Àû¿ëµÉ Àü¸ÁÀÌ´Ù.
ÄÉÀ̾¾ÅØ °ü°èÀÚ´Â "ÇöÀç FC-BGA µî °í¼º´É ±âÆÇÀÇ ÀϺΠÇÙ½É ·¹À̾î Áß½ÉÀ¸·Î CMP Àû¿ëÀÌ °ËÅäµÇ´Â ´Ü°èÁö¸¸, ¹Ì¼¼ ÆÐÅÏÀÌ ´Ã¾î³¯¼ö·Ï Àû¿ëÀÌ È®´ëµÉ °Í"À̶ó¸ç "°íÁýÀû ÆÐŰ¡¿¡¼´Â Ç¥¸é Æòźµµ°¡ µ¥ÀÌÅÍ ½ÅÈ£ ǰÁú°ú Á÷°áµÇ±â ¶§¹®¿¡ CMP Çʿ伺ÀÌ Ä¿Áú °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
ÄÉÀ̾¾ÅØÀÌ ÈÇÐÀû±â°è¿¬¸¶(CMP:Chemical Mechanical Planarization) °øÁ¤À» ¾îµå¹ê½ºµå ÆÐŰ¡ Àü¹ÝÀ¸·Î È®´ëÇÑ´Ù. À¯¸®±âÆÇ°ú ÇÏÀ̺긮µå º»µù, ÀûÃþÇʸ§(BuF: Build-Up Film) µî Â÷¼¼´ë ÆÐŰ¡ ±â¼ú¿¡ ´ëÀÀÇÑ´Ù.
ÄÉÀ̾¾ÅØÀº 4¿ù28ÀÏ ¼¿ï Æ÷½ºÄÚŸ¿ö ¿ª»ï¿¡¼ ¿¸° '÷´Ü ÆÐŰ¡ Çٽɱâ¼ú Â÷¼¼´ë ±âÆÇºÎÅÍ ¸ðµâ±îÁö' ÄÜÆÛ·±½º¿¡¼ ÆÐŰ¡ °øÁ¤¿ë CMP °³¹ß ¹æÇâÀ» °ø°³Çß´Ù. CMP Àåºñ¿Í ½½·¯¸®(Slurry)¸¦ µ¿½Ã¿¡ °³¹ßÇϰí ÀÖ´Ù.
CMP´Â ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ Çü¼ºÇÏ´Â Àü°øÁ¤(¿þÀÌÆÛ °¡°ø °øÁ¤)¿¡¼ Ç¥¸éÀ» ÆòźÇÏ°Ô ¸¸µé ¶§ Ȱ¿ëÇÏ´Â ±â¼úÀÌ´Ù. ÃÖ±Ù ¾îµå¹ê½ºµå ÆÐŰ¡ È®»êÀ¸·Î ÈİøÁ¤ Àü¹ÝÀ¸·Î Àû¿ë ¹üÀ§°¡ ´Ã¾î³ª°í ÀÖ´Ù.
À¯¸®±âÆÇ ºÐ¾ß¿¡¼´Â ÆÐ³Î ·¹º§ ÆÐŰ¡(PLP:Panel Level Packaging)¿ë CMP Àåºñ¸¦ °³¹ßÇß´Ù. ±âÁ¸ ¿þÀÌÆÛ ·¹º§ÀÌ ¾Æ´Ñ 510¡¿515mm Å©±âÀÇ ÆÐ³Î ±â¹ÝÀÌ´Ù. ´ë¸éÀû¿¡¼ ±ÕÀÏÇÑ Æòźµµ¸¦ È®º¸ÇÏ´Â °ÍÀÌ ÇÙ½ÉÀÌ´Ù.
À¯¸®±âÆÇÀº ±Û¶ó½º°üÅëÀü±Ø(TGV:Through Glass Via)À» Çü¼ºÇÏ¸é ¸¸µé¾îÁö´Â Ȧ(Hole)¿¡ ±¸¸®¸¦ ä¿î´Ù. ÀÌ °úÁ¤¿¡¼ Ç¥¸éÀÌ °í¸£°Ô Á¤¸®µÇÁö ¾ÊÀ¸¸é ¹è¼± Çü¼ºÀ̳ª Á¢ÇÕ °øÁ¤¿¡ ¹®Á¦°¡ »ý±ä´Ù. CMP¸¦ Àû¿ëÇÏ¸é ±¸¸®ÃþÀ» ±ÕÀÏÇÏ°Ô Á¦°ÅÇØ Ç¥¸éÀ» ÆòźÇÏ°Ô ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Ù. ´Ù¸¸ À¯¸®´Â ½Ç¸®Äܺ¸´Ù µÎ²¨¿î ±¸¸®ÃþÀ» Á¦°ÅÇØ¾ß ÇØ ´õ ºü¸¥ ¿¬¸¶ ¼Óµµ°¡ ¿ä±¸µÈ´Ù. °í¼Ó¡¤°í±ÕÀÏ ¿¬¸¶ ±â¼ú È®º¸°¡ °úÁ¦´Ù.
ÇÏÀ̺긮µå º»µù ºÐ¾ß¿¡¼´Â Àü¿ë CMP ½½·¯¸®¸¦ °³¹ßÇϰí ÀÖ´Ù. ÇÏÀ̺긮µå º»µùÀº µ¹±â(Bump) ¾øÀÌ ¿þÀÌÆÛ³ª ĨÀ» Á÷Á¢ ºÙÀÌ´Â ¹æ½ÄÀÌ´Ù. Á¢ÇÕ¸éÀÇ ³ô³·ÀÌ Â÷À̸¦ Á¤¹ÐÇÏ°Ô Á¦¾îÇØ¾ß ÇÑ´Ù. ±âÁ¸ Àü°øÁ¤¿ë ±¸¸® CMP ½½·¯¸®¸¦ ±×´ë·Î Àû¿ëÇϱ⠾î·Á¿î ÀÌÀ¯´Ù. ÄÉÀ̾¾ÅØÀº CMP °øÁ¤À» ¼¼ºÐÈÇØ ±¸¸® ³ôÀ̸¦ ±ÕÀÏÇÏ°Ô ¸¸µå´Â ¹æ½ÄÀ¸·Î Àü¿ë ½½·¯¸®¸¦ ÃÖÀûÈÇϰí ÀÖ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ¿¡ ¾²ÀÌ´Â ºôµå¾÷ Çʸ§(BuF)°ú °¨±¤¼º Àý¿¬Àç(PID)¿¡µµ CMP Àû¿ëÀ» È®´ëÇϰí ÀÖ´Ù. ÆÐŰ¡ ¹è¼± ÆøÀÌ 5¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ(§) ÀÌÇÏ·Î ¹Ì¼¼ÈÇÏ¸é¼ Ç¥¸é °ÅÄ¥±â¿Í Æòźµµ°¡ ½ÅÈ£ ¼Õ½Ç¿¡ Á÷Á¢ÀûÀÎ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡±â ¶§¹®ÀÌ´Ù. CMP °øÁ¤À» Àû¿ëÇϸé ÀúÇ× Áõ°¡¸¦ ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÌÀ絿 ÄÉÀ̾¾ÅØ ¹Ú»ç´Â "ÀÌÁ¾Á¢ÇÕ ±â¹Ý ¾îµå¹ê½ºµå ÆÐŰ¡ÀÌ È®»êÇϸç Àü°øÁ¤ Á᫐ °øÁ¤ÀÌ´ø CMP °øÁ¤ÀÌ ÈİøÁ¤ Àü¹ÝÀ¸·Î È®´ëµÆ´Ù"¸ç "BuF¿Í PID µî CMP¸¦ Àû¿ëÇÏÁö ¾Ê´ø ¿µ¿ª¿¡¼µµ ¿ä±¸°¡ Áõ°¡Çϰí ÀÖ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
¿Ã 1ºÐ±â ¿¬°á±âÁØ ¸ÅÃâ¾×Àº 1561.15¾ïÀ¸·Î Àü³âµ¿±â´ëºñ 104.02% Áõ°¡. ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 348.11¾ïÀ¸·Î 344.30% Áõ°¡. ´ç±â¼øÀÌÀÍÀº 316.10¾ïÀ¸·Î 303.81% Áõ°¡.
ÄÉÀ̾¾ÅØÀº º¸ÅëÁÖ 891,662ÁÖ ±Ô¸ðÀÇ ÁֽļҰ¢À» °áÁ¤Çß´Ù°í 3¿ù24ÀÏ °ø½ÃÇß´Ù. ¼Ò°¢¿¹Á¤±Ý¾×Àº 404.81¾ï¿øÀ̸ç, ¼Ò°¢ ¿¹Á¤ÀÏÀº 2026-04-10ÀÌ´Ù.
ÄÉÀ̾¾ÅØ(281820)Àº ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ Àåºñ¿¡ °üÇÑ ´ÜÀÏÆÇ¸Å¤ý°ø±Þ°è¾àü°áÀ» 3¿ù10ÀÏ¿¡ °ø½ÃÇß´Ù.°è¾à »ó´ë¹æÀº SKÇÏÀ̴нºÀ̰í, °è¾à±Ý¾×Àº 698.4¾ï¿ø ±Ô¸ð·Î ÃÖ±Ù ÄÉÀ̾¾ÅØ ¸ÅÃâ¾× 3,854.3¾ï¿ø ´ëºñ ¾à 18.12 % ¼öÁØÀÌ´Ù. À̹ø °è¾àÀÇ ±â°£Àº 2026³â 03¿ù 09ÀÏ ºÎÅÍ 2026³â 10¿ù 06ÀϱîÁö·Î ¾à 6°³¿ùÀÌ´Ù.
À۳⠿¬°á±âÁØ ¸ÅÃâ¾×Àº 3828.57¾ïÀ¸·Î Àü³â´ëºñ 0.67% °¨¼Ò. ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 599.66¾ïÀ¸·Î 20.45% Áõ°¡. ´ç±â¼øÀÌÀÍÀº 533.92¾ïÀ¸·Î 1.34% Áõ°¡.
ÄÉÀ̾¾ÅØÀº 1¿ù7ÀÏ »ï¼ºÀüÀÚ¿Í 226¾ï8000¸¸¿ø ±Ô¸ð ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ Àåºñ °ø±Þ °è¾àÀ» ü°áÇß´Ù°í °ø½ÃÇß´Ù.
ÀÌ´Â ÃÖ±Ù ¸ÅÃâ¾× ´ëºñ 5.88%¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â ±Ô¸ð´Ù. °è¾à±â°£Àº ¿À´Â 7¿ù30ÀϱîÁö´Ù.
ÄÉÀ̾¾(±¸ ÄÉÀ̾¾ÅØ)¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼/µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ ¹× ¼ÒÀç »ç¾÷ºÎ¹®ÀÌ ÀÎÀûºÐÇҵǾî Àç»óÀåµÈ ¾÷ü. µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¹× ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Àü°øÁ¤ Àåºñ ¹× ¼Ò¸ð¼º Àç·á Á¦Á¶/ÆÇ¸Å. ¹ÝµµÃ¼ CMP/¼¼Á¤ Àåºñ, µð½ºÇ÷¹ÀÌ Wet-station/Coater Àåºñ, ¹ÝµµÃ¼ Slurry ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¼ÒÀç µîÀÇ Line-upÀ» º¸À¯. ÃÖ´ëÁÖÁÖ´Â °í¼®Å ¿Ü(51.51%), ÁÖ¿äÁÖÁÖ´Â ±¹¹Î¿¬±Ý°ø´Ü(5.86%).
2024³â ¿¬°á±âÁØ ¸ÅÃâ¾×Àº 3854.34¾ïÀ¸·Î Àü³â´ëºñ 34.34% Áõ°¡. ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 497.83¾ïÀ¸·Î 52.22% Áõ°¡. ´ç±â¼øÀÌÀÍÀº 526.86¾ïÀ¸·Î 66.20% Áõ°¡.
2019³â 1¿ù4ÀÏ 8750¿ø¿¡¼ ¹Ù´ÚÀ» ÂïÀº ÈÄ 2024³â 7¿ù11ÀÏ 59000¿ø¿¡¼ °íÁ¡À» Âï°í 120Àϼ± ¾Æ·¡·Î ¹Ð·ÈÀ¸³ª ÀÛ³â 4¿ù11ÀÏ 20600¿ø¿¡¼ ÀúÁ¡À» ÂïÀº ¸ð½ÀÀÔ´Ï´Ù. ÀÌÈÄ Å©°í ÀÛÀº µî¶ôÀ» º¸ÀÌ´Â °¡¿îµ¥ Á¡Â÷ ÀúÁ¡°ú °íÁ¡À» ³ôÇô¿À´Â ¸ð½À¿¡¼ ¿Ã 6¿ù16ÀÏ 102400¿ø¿¡¼ ÃÖ°í°¡¸¦ Âï°í ¹Ð¸° ÈÄ 26ÀÏ 74700¿ø¿¡¼ ÀúÀúÀ» Âï°í ÀúÁ¡À» ³ôÈ÷´Â ÁßÀ¸·Î, ÀÌÁ¦ºÎÅÏ ÀúÁ¡À» ÁÙ¶§¸¶´Ù ¹°·® ¸ð¾ÆµÑ ±âȸ·Î º¼ ¼ö ÀÖ°Ú½À´Ï´Ù.
¼ÕÀýÁ¡Àº 78550¿øÀ¸·Î º¸½Ã°í ÃÖ´ëÇÑ ÀúÁ¡À» ³ë¸®½Ã¸é µÇ°Ú½À´Ï´Ù. 81800¿ø ÀüÈÄ¸é ¹«³ÇØ º¸ÀÌ¸ç ºÐÇҸżöµµ °í·ÁÇØ º¼¼ö ÀÖ°Ú½À´Ï´Ù.¸ñÇ¥°¡´Â 1Â÷·Î 90000¿ø ºÎ±Ù¿¡¼ Çѹø Â÷ÀͽÇÇöÀ» °í·ÁÇØ º¸½Ã°í ÀÌÈÄ ´¸±½Ã ÁöÁöµÇ´Â ÀúÁ¡¿¡¼ Àç°ø·« ÇÏ½Ã¸é µÇ°Ú½À´Ï´Ù. 2Â÷´Â99000¿ø ÀÌ»óÀ» ±â´ë ÇÕ´Ï´Ù.
°¨»çÇÕ´Ï´Ù.



