À¯ÁøÅõÀÚÁõ±Ç Ä¿¹Â´ÏƼ

ÁÖ½ÄÁ¾ÇÕÅä·Ð

¸ñ·Ï À­±Û ¾Æ·¡±Û
¿ÍÀ̾¾ÄÍ(112290)¹Ð¸±¶§¸¶´Ù ¹°·® ¸ð¾ÆµÑ ±âȸ·Î º¸À̸ç ÀÌÈÄ Àü¸Á ¹× ´ëÀÀÀü·«. 2024/04/29 11:21
°³¹Ì½Å»ç



¿ÍÀ̾¾ÄÍÀÌ °­¼¼´Ù. ±ØÀڿܼ±(EUV) Æ÷Å×·¹Áö½ºÆ®(PR)¿ë ¸°½º »ó¿ëÈ­ ±â´ë°¡ ÁÖ°¡¿¡ ¿µÇâÀ» ÁÖ´Â °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.

4¿ù29ÀÏ ¿ÀÀü 10½Ã53ºÐ ¿ÍÀ̾¾ÄÍÀº Àü °Å·¡ÀÏ ´ëºñ 24.48% ¿À¸¥ 3¸¸¿ø¿¡ °Å·¡µÇ°í ÀÖ´Ù. 

¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤Àç·á °³¹ß¾÷ü ¿ÍÀ̾¾ÄÍÀº ÀÚü °³¹ßÇÑ EUV ³ë±¤ °øÁ¤¿ë ¸°½º Á¦Ç°ÀÇ ±Û·Î¹ú °í°´»ç ¾ç»ê¶óÀÎ Æò°¡°¡ ½ÃÀÛµÆ´Ù°í ¹àÇû´Ù. 

¿ÍÀ̾¾ÄÍÀÇ EUV PR¿ë ¸°½º´Â ÀÌ´ÞºÎÅÍ ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ °í°´ ±â¾÷ÀÇ ¾ç»ê ¶óÀο¡¼­ Å×½ºÆ® °úÁ¤À» ÁøÇà ÁßÀÌ´Ù. ¾ç»êÅ×½ºÆ® Æò°¡°¡ Åë°úµÇ¸é À̸£¸é ¿ÃÇØ ÇϹݱ⿡ º»°ÝÀûÀÎ ¾ç»ê ¹× °ø±ÞÀÌ °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.

¿ÍÀ̾¾ÄÍÀÇ ±ØÀڿܼ± Æ÷Å×·¹Áö½ºÆ®¿ë ¸°½º´Â ¹ÝµµÃ¼ EUV ³ë±¤ °øÁ¤¿¡¼­ °¨±¤¾× µµÆ÷ ÈÄ¿¡ »ç¿ëµÇ¸ç, EUV °øÁ¤¿¡¼­ ªÀº ±¤¿ø ÆÄÀåÀ¸·Î »ý±â´Â ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ÆÐÅÏ°áÇÕÀ̳ª ºØ±«¸¦ ¹æÁöÇϸ鼭 ÇØ»óµµ¿Í °ÅÄ¥±â, °¨µµ µîÀ» °³¼±ÇÏ´Â ¿ªÇÒÀ» ÇÑ´Ù.ÇöÀç ±¹³» EUV PR¿ë ¸°½º ½ÃÀåÀº µ¶ÀÏ ±â¾÷ÀÌ µ¶Á¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¿ÍÀ̾¾ÄÍÀÌ »ó¿ëÈ­¿¡ ¼º°øÇÏ¸é ±¹»êÈ­ ù »ç·Ê°¡ µÈ´Ù. ½ÃÀåÁ¶»ç¾÷ü ´õÅ×Å©(TECHCET)¿¡ µû¸£¸é, EUV PR¿ë ¸°½º ¼¼°è½ÃÀå ±Ô¸ð´Â 2021³â 5000¸¸ ´Þ·¯ ±Ô¸ð¿¡¼­ ¹ÝµµÃ¼ ³ª³ë °øÁ¤ÀÌ ±Þ¼ÓÈ÷ ÁøÇàµÇ¸é¼­ 2025³â¿¡´Â 2¾ï ´Þ·¯ ±Ô¸ð·Î ¼ºÀåÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù.

2001³â ¼³¸³ÇÑ ¿ÍÀ̾¾ÄÍÀº ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç °³¹ß¾÷ü´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç °³¹ß¿¡¼­ ÃÖÃÊÀÇ ÀÌ·ÂÀ» ´Ù¼ö °¡Áö°í ÀÖ´Ù. 2004³â ºÒÈ­¾Æ¸£°ï(ArF) ¹× ºÒÈ­Å©¸³Åæ(KrF) Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¿ë ¸°½º¸¦ ¼¼°è óÀ½À¸·Î °³¹ßÇß´Ù. 2015³â¿¡´Â Ư¼ö¸ñÀû¿ë ArF À̸ÓÀü °øÁ¤¿ë ¸°½ºµµ ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î ¼±º¸¿´´Ù. ¿ÍÀ̾¾ÄÍÀº ÇöÀç ´Ù¾çÇÑ EUV ±¤¿ø¿ë ¼ÒÀç °³¹ßÀ» ÁøÇà ÁßÀ̸ç, EUV Thinner, Developer ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇß´Ù. EUV PR, EUV Underlayer Á¦Ç°µµ °³¹ßÇÏ°í ÀÖ´Ù.



ÀΰøÁö´É(AI) ¹ÝµµÃ¼ ¼öÇýÁÖ·Î À¯¸®±âÆÇ ¾÷Á¾ÀÌ ºÎ°¢µÇ¸ç 4¿ù8ÀÏ À¯¸®±âÆÇ ¾÷Á¾ Àü¹ÝÀÌ °­¼¼´Ù.  

¸¶ÄÏÆ÷ÀÎÆ®¿¡ µû¸£¸é 8ÀÏ ¿ÀÀü 9½Ã 6ºÐ ÇöÀç ÄÍÆ®·Î´Ð½º(089010)´Â Àü °Å·¡ÀÏ ´ëºñ 10.13% ¿À¸¥ 2¸¸8800¿ø¿¡ °Å·¡µÇ°í ÀÖµû. °°Àº ½Ã°£ ÇÊ¿Éƽ½º(161580)(7.31%), SKC(011790)(5.29%), HBÅ×Å©³î·¯Áö(078150)(4.02%), ¿ÍÀ̾¾ÄÍ(112290)(2.43%) µî À¯¸®±âÆÇ °ü·ÃÁÖ°¡ ÀÏÁ¦È÷ »ó½Â¼¼¸¦ º¸ÀÌ°í ÀÖ´Ù.  

À¯¸®±âÆÇÀº ±âÁ¸ ±âÆÇ¿¡ ¾²ÀÎ ¿¡Æø½Ã µî À¯±â ¼ÒÀç ´ë½Å À¯¸®¸¦ ä¿ëÇÑ ±âÆÇÀ» ¸»ÇÑ´Ù. À¯±â±âÆǺ¸´Ù µ¥ÀÌÅÍ Ã³¸®·®ÀÌ ¾à 8¹è ¸¹Áö¸¸ Àü·Â ¼Òºñ´Â Àý¹Ý°¡·® ³·°í, ¿­°ú ÈÖ¾îÁü¿¡ °­Çϴٴ Ư¡ÀÌ ÀÖ´Ù. ´Ù¸¸ À¯¸® Ư¼º»ó ¾Ð·Â°ú ¿ÜºÎ Ãæ°Ý¿¡ ¾àÇØ ¼öÀ²ÀÌ ³·°í ºñ½Î¸ç ±×¸¸Å­ ±â¼ú À庮ÀÌ ³ô´Ù.  

°íÀÇ¿µ ÇÏÀÌÅõÀÚÁõ±Ç ¿¬±¸¿øÀº À̳¯ ¡°ÁÖ¿ä ¹ÝµµÃ¼ ¾÷ü°¡ 2026~2027³â ÀÌÈÄ µµÀÔÀ» °èȹÇÏ°í ÀÖÀ¸¹Ç·Î °ü·Ã °ø±Þ¸ÁÀÇ ÀÌÀÍ ±â¿©¸¦ ³íÇϱâ À̸¥ ½ÃÁ¡ÀÌ°í, µû¶ó¼­ ´º½º¿¡ µû¶ó ÁÖ°¡ º¯µ¿¼ºµµ Ŭ ¼ö ÀÖ´Ù¡±¸ç ¡°´Ù¸¸ ¿ª»çÀûÀ¸·Î ±âÆÇ ¼ÒÀç´Â º¯È­ÇØ¿Ô°í, »õ·Î¿î º¯°îÁ¡ÀÌ °¡±î¿öÁ³´Ù´Â ¡®¹æÇ⼺¡¯¿¡ ÁÖ¸ñÇÑ´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù.  



¿ÍÀ̾¾ÄÍÀÌ 2°Å·¡ÀÏ Â° °­¼¼´Ù. ¹ÝµµÃ¼ À¯¸®±âÆÇ Àü¿ë ÇÙ½É ¼ÒÀç 3Á¾À» °³¹ß ¿Ï·áÇÏ°í ¾ç»ê Å×½ºÆ®¿¡ Âø¼öÇß´Ù´Â ¼Ò½Ä¿¡ °­¼¼´Ù.

4¿ù4ÀÏ ¿ÀÀü 9½Ã 32ºÐ ÇöÀç ¿ÍÀ̾¾ÄÍÀº Àü °Å·¡ÀÏ ´ëºñ 18.54% ¿À¸¥ 2¸¸6850¿ø¿¡ °Å·¡ ÁßÀÌ´Ù.

ÀüÀÏ È¸»ç¿¡ µû¸£¸é, Áö³­ÇØ °³¹ßÀ» ¿Ï·áÇÑ ¿ÍÀ̾¾ÄÍÀº ¹ÝµµÃ¼ À¯¸®±âÆÇ Àü¿ë ÇÙ½É ¼ÒÀç 3Á¾(Photoresist, Stripper, Developer)ÀÌ °í°´»ç ¿¬±¸°³¹ß Æò°¡¸¦ °ÅÃÄ ¾ç»ê ÀÎÁõ Æò°¡¿¡ µé¾î°¬´Ù°í ¹àÇû´Ù.

¿¬±¸°³¹ß Çù¾÷ ´Ü°è¸¦ ¶Ù¾î³Ñ¾î ¾ç»ê Áغñ ´Ü°è·Î °í°´»ç ¾ç»ê ÀÏÁ¤¿¡ ¸ÂÃç ¿ÃÇØ ÇϹݱâºÎÅÍ ¼ÒÀç °ø±ÞÀÌ °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î ȸ»çÃøÀº ÆÇ´ÜÇÏ°í ÀÖ´Ù.

¶ÇÇÑ, ¼¼°è óÀ½À¸·Î °³¹ß¿¡ ¼º°øÇÑ Æ¯¼ö ¸ñÀû¿ë À¯¸® ÄÚÆÃÁ¦µµ ¼º´É ¾÷±×·¹À̵带 ÅëÇØ ¿ÃÇØ ¾È¿¡ »ó¿ëÈ­¸¦ ¸ñÇ¥·Î ÇÏ°íÀÖ´Ù. ÀÌ Á¦Ç°Àº ¹ÝµµÃ¼ ¿¡Äª À¯¸® ±âÆÇÀÇ ±Õ¿­À» º¸È£Çϴ Ư¼ö Æú¸®¸Ó À¯¸® ÄÚÆÃÁ¦´Ù. 2014³âºÎÅÍ µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿Í Å¾籤 ±âÆÇ¿ëÀ¸·Î °³¹ßÇß´ø ³ëÇÏ¿ì°¡ ¹ÝµµÃ¼ ¿¡Äª À¯¸®±âÆÇ º¸È£¿¡ Àû¿ëµÆ´Ù.



¿ÍÀ̾¾ÄÍ(112290)ÀÌ Ãʹ̼¼ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ÀÇ Â÷¼¼´ë ÇÙ½É ¼ÒÀç·Î °³¹ßÇÑ ±ØÀڿܼ±(EUV) ±¤¿ø¿ë ¼ÒÀç 2Á¾ÀÌ º»°ÝÀûÀÎ »ó¾÷ »ý»ê¿¡ µé¾î°£´Ù°í 3¿ù27ÀÏ ¹àÇû´Ù. 

¿ÍÀ̾¾ÄÍÀÌ ¾ç»ê °ø±ÞÇÏ´Â ¼ÒÀç´Â MOR Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® Àü¿ë ½Å³Ê(Thinner)¿Í µðº§·ÎÆÛ(Developer)·Î ÃÖ±Ù ±¹³» °í°´»çÀÇ ¾ç»ê Æò°¡¸¦ Åë°úÇØ ¿À´Â 4¿ùºÎÅÍ º»°ÝÀûÀÎ °ø±ÞÀÌ ½ÃÀ۵ȴÙ.EUV MOR(Metal oxide resist)´Â ±âÁ¸¿¡ »ç¿ëµÇ´Â À¯±â ŸÀÔ ±ØÀڿܼ±(EUV) Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ ´ëüÇÒ ¹«±â ŸÀÔ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®·Î Â÷¼¼´ë °øÁ¤¿ë ¼ÒÀçÀÌ´Ù. ½Å³Ê´Â Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ½ºÇÉÄÚÆà ÈÄ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ °¡ÀåÀÚ¸®¿¡ ºÒÇÊ¿äÇÑ À̹°ÁúÀ» Á¦°ÅÇϴµ¥ »ç¿ëµÇ´Â ¼ÒÀç´Ù. µðº§·ÎÆÛ´Â ÀÏÁ¾ÀÇ Çö»ó¾×À¸·Î ÀÏÁ¤ ºÎÀ§ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(PR. Photo Resist)¸¦ Á¦°ÅÇØ ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇϴµ¥ »ç¿ëµÈ´Ù.¿ÍÀ̾¾ÄÍÀº EUV MOR ¼ÒÀç 2Á¾À» ¾ç»êÇØ ¿ÃÇØ ±¹³» ù °ø±ÞÀ» Áغñ ÁßÀÌ´Ù. À̷νá, ¿ÍÀ̾¾ÄÍÀº MOR ½Å³Ê¿Í µðº§·ÎÆÛÀÇ °³¹ß ¹× ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÀ¸·Î ´Ù¾çÇÑ EUV °ü·Ã »ç¾÷À¸·Îµµ Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ È®´ëÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.2001³â ¼³¸³µÈ ¿ÍÀ̾¾ÄÍÀº ÃÖ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç °³¹ßÀ» ÅëÇØ 2022³â ÄÚ½º´Ú ½ÃÀå¿¡ »óÀåÇß´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç °øÁ¤¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¿Í ¸°½º, SOC(Spin On Carbon), Wet chemical, CMP °øÁ¤¿ë ½½·¯¸® µî ´Ù¾çÇÑ ¼ÒÀç ºÐ¾ß¿¡¼­ µ¶º¸Àû ±â¼úÀ» È®º¸ÇÑ ±â¾÷ÀÌ´Ù.



»ï¼º, SK, ÀÎÅÚ µî ±½Á÷ÇÑ ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µéÀÌ ¾Õ´ÙÅý À¯¸® ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ °³¹ß¿¡ ¸ÅÁøÇÏ°í ÀÖ´Â °¡¿îµ¥ ¿ÍÀ̾¾ÄÍÀÌ ÀÌ¹Ì À¯¸® ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ °ü·Ã ÄÚÆÃÁ¦¿Í Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ °³¹ß ¿Ï·áÇØ ÁÖ¸ñÀ» ²ø°í ÀÖ´Ù.ÇâÈÄ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°èÀÇ °ÔÀÓüÀÎÀú°¡ µÉ À¯¸® ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇÀÌ È°¼ºÈ­ µÉ °æ¿ì ¿ÍÀ̾¾ÄÍÀÇ µ¶ÀÚÀûÀÎ ±â¼ú·ÂÀÌ Å©°Ô µÎ°¢À» ³ªÅ¸³¾ °ÍÀ¸·Î ±â´ë°¡ ¸ð¾ÆÁö°í ÀÖ´Ù.

3¿ù11ÀÏ °ú±âºÎ¿¡ µû¸£¸é Á¤ºÎ´Â ¡âÀΰøÁö´É(AI)°ú °°Àº Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼¸¦ ±¸ÇöÇÒ '2.5D¿Í 3D ÆÐŰ¡' ¡â¹Ì·¡ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇÀ¸·Î ÁÖ¸ñ¹Þ´Â 'À¯¸®±âÆÇ' °³¹ß¿¡ 2028³â±îÁö ÃÑ 553¾ï¿øÀ» ÅõÀÚÇÑ´Ù. ÀÌ¿Í°ü·Ã, °ú±âºÎ´Â °ø°í¸¦ ³»°í ÃÑ 12°³ °úÁ¦¸¦ ´ÙÀ½´ÞºÎÅÍ ½ÃÀÛÇÑ´Ù. 2.5D¡¤3D ÀûÃþ ÆÐŰ¡ ¡âÀ¯±â±âÆÇ ¼ÒÀ硤°øÁ¤ ¡âÇÏÀ̵åºê¸®µå º»µù ¡â÷´Ü ÆÐŰ¡¿ë ÀÎÅÍÆ÷Àú ¼ÒÀ硤°øÁ¤ ±â¼ú °³¹ßÀÌ ÇÙ½ÉÀÌ´Ù.À¯¸®±âÆÇÀº ±âÁ¸ Çöó½ºÆ½ ±â¹Ý ±âÆÇÀÇ ÇÑ°è ±Øº¹À» À§ÇØ ³ª¿Â ½Å±â¼úÀÌ´Ù. AI µî °í¼º´É ¹ÝµµÃ¼ ±¸ÇöÀ» À§ÇØ ¼¼°è ÃÖ´ë ¹ÝµµÃ¼ ¾÷üÀÎ ÀÎÅÚÀÌ 1Á¶¿øÀ» ÅõÀÔÇØ °ü·Ã ±â¼ú°³¹ß¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù.»ï¼ºÀü±â ¿ª½Ã À¯±â ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇÀ» ¹Ì·¡ ¸Ô°Å¸®·Î Á¡Âï¾ú´Ù. À¯¸® ±âÆÇÀº AI ¹ÝµµÃ¼ÀÇ µîÀå°ú ÇÔ²² Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼¿ë ÆÐÅ°Áö ±âÆÇÀ¸·Î ¶°¿À¸£°í ÀÖ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅ°Áö ±âÆÇÀº ¹ÝµµÃ¼ Ĩ°ú ±âÆÇÀ» Àü±âÀûÀ¸·Î ¿¬°áÇϸç, ¿ÜºÎ ȯ°æÀ¸·ÎºÎÅÍ º¸È£ÇÏ´Â ¿ªÇÒÀ» ÇÑ´Ù.À¯¸®±âÆÇÀº ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÀÇ ¹Ì·¡ ±â¼ú·Î ¿©°ÜÁö´Â Ĩ·¿(Chiplet) ÆÐŰ¡ Àû¿ë¿¡µµ °¡Àå ÀûÇÕÇÑ ±â¼ú·Î ²ÅÈ÷°í ÀÖ´Ù. Ĩ·¿Àº ÇϳªÀÇ Ä¨¿¡ ¼­·Î ´Ù¸¥ Á¾·ù, ´Ù¾çÇÑ ±â´ÉÀÇ Ä¨À» ÀÚÀ¯·Ó°Ô ºÙÀÌ´Â ±â¼ú·Î½á ¿¡³ÊÁö È¿À²ÀÌ ³ôÀ» »Ó ¾Æ´Ï¶ó °í¼º´É ĨÀ» ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.¾÷°èÀÇ ÇÑ °ü°èÀÚ´Â "À¯¸®±âÆÇÀ» »ç¿ëÇÒ °æ¿ì ¿Âµµ »ó½Â¿¡ µû¸¥ ÆÐÅÏ ¿Ö°î Çö»óÀÌ 50% ÁÙ¾îµç´Ù"¸ç "±Øµµ·Î ¹Ì¼¼ÇÑ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ °øÁ¤ÀÇ ±íÀ̸¦ Çâ»óÇϱâ À§ÇÑ Æò´Üµµ, À¯¸®ÀÇ ±â°èÀû Ư¼ºÀÌÇâ»óµÇ¸é¼­ ÃÊ´ëÇü ÆûÆÑÅÍ ÆÐŰ¡µµ °¡´ÉÇØÁö¸ç ¼öÀ²µµ ³ô¾ÆÁø´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.ÀÌó·³ ¾ÆÁ÷ »ó¿ëÈ­µÇÁö ¾ÊÀº À¯¸®±âÆÇ ½ÃÀåÀÌ ÈIJö ´Þ¾Æ¿À¸£°í ÀÖ´Â °¡¿îµ¥ ¹ÝµµÃ¼ Á¤¹ÐÈ­Çбâ¾÷ ¿ÍÀ̾¾ÄÍÀÇ ±â¼úÀÌ ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖ´Ù. ¿ÍÀ̾¾ÄÍÀÇ ºÐ±âº¸°í¼­¿¡ µû¸£¸é Áö³­ÇØ 6¿ù À¯¸® ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ ¼ÒÀç 2Á¾À» °³¹ß¿¡ ¼º°øÇØ »ó¿ëÈ­¸¦ ¾ÕµÎ°í ÀÖ´Ù.¿ÍÀ̾¾ÄÍÀº ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î ¹ÝµµÃ¼ ¿¡Äª °úÁ¤¿¡¼­ À¯¸® ±âÆÇ ±Õ¿­À» º¸È£Çϴ Ư¼ö Æú¸®¸Ó À¯¸®ÄÚÆÃÁ¦¸¦ °³¹ßÇß´Ù. ¶ÇÇÑ À¯¸® ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ °³¹ßÇØ ±¹³»¿Ü ±â¾÷µéÀÇ À¯¸® ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ »ç¾÷¿¡¼­ Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ë°¡ ¸ð¾ÆÁö°í ÀÖ´Ù.¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è °ü°èÀÚ´Â "ÀÎÅÚÀ» ºñ·ÔÇØ »ï¼º, TSMC µî ±¹³»¿Ü ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µéÀÌ ¾Õ´ÙÅý À¯¸®±âÆÇ »ó¿ëÈ­¿¡ ³ª¼­°í ÀÖ¾î ÇâÈÄ ÀÌ ±â¼úÀÌ º»°ÝÀûÀ¸·Î Àû¿ëµÈ´Ù¸é ¿ÍÀ̾¾ÄͶÇÇÑ ¼öÇý¸¦ ÀÔÀ» °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.



¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç±â¾÷ ¿ÍÀ̾¾ÄÍÀº°³¹ßÇÑ  5¼¼´ë °í´ë¿ªÆø¸Þ¸ð¸®(HBM, HBM3E)¿¡¼­ »ç¿ëµÇ´Â Â÷¼¼´ë ½ºÇÉ ÄÚÆÃ¿ë ¼ÒÀç(½ºÇÉ¿Â Çϵ帶½ºÅ©. SOC)ÀÇ  ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷ÀÇ ¾ç»êÆò°¡¸¦ ÁøÇà ÁßÀ̶ó°í 2¿ù23ÀÏ ¹àÇû´Ù.  

°³¹ßÇÑ ½ºÇÉ¿Â Çϵ帶½ºÅ©(SOC)´Â ¿ì¼öÇÑ ¿­¾ÈÁ¤¼ºÀ» º¸ÀåÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ Çϵ帶½ºÅ© Àç·á´Ù. ÇÏµå ¸¶½ºÅ©´Â Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ÇϺο¡ Àû¿ëµÇ´Â ¸·Áú·Î ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ¼Ó ¿¡Äª°øÁ¤¿¡¼­ ÀûÀýÇÑ ¹æ¾î¸· ¿ªÇÒÀ» ¼öÇàÇÑ´Ù. ¶Ç ¹Ì¼¼ ÆÐÅÏÀÇ Á¤È®µµ¸¦ ±¸ÇöÇϱâ À§ÇØ È¸·Î°¡ ¿øÇÏ´Â ¸·Áú¿¡ Àß Àü»çµÇµµ·Ï µ½´Â´Ù.  

ȸ»ç Ãø °ü°èÀÚ´Â "ÇöÀç ¾ç»êÆò°¡°¡ ÁøÇàµÇ°í ÀÖ´Â Çϵ帶½ºÅ©´Â ¿ì¼öÇÑ ³»¿¡Äª ¼º´É°ú È­ÇÐÀû ¾ÈÁ¤¼º, °íÇ°Áú, ÄÚÆà ±ÕÀϵµ µîÀÇ ÀåÁ¡À» ¹ÙÅÁÀ¸·Î HBM3E¿¡ Àû¿ëµÇ´Â Â÷¼¼´ë ¼ÒÀç"¶ó°í ¼³¸íÇß´Ù. À̾î "¿ÃÇØ »ó¹Ý±âÁß º»°ÝÀûÀÎ ¾ç»ê°ú °ø±ÞÀÌ ±â´ëµÇ¸ç, ÀÌ¿¡ µû¸¥ ½ÇÀû°³¼±ÀÌ °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇÏ°í ÀÖ´Ù"°í µ¡ºÙ¿´´Ù. 

ÇÑÆí ¿ÍÀ̾¾ÄÍÀº ÃÖ±Ù HBM Àü¿ë TSV Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ±¹»êÈ­¿¡ ¼º°øÇØ ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ °í°´ ±â¾÷µé¿¡°Ô °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¶Ç  2028³â ¿Ï°øÀ» ¸ñÇ¥·Î ¿ëÀÎ ¹ÝµµÃ¼ Ŭ·¯½ºÅÍ¿¡ ½Å±Ô ¼³ºñ ±¸ÃàÀ» ÃßÁø ÁßÀÌ´Ù. ½Ç¸®ÄÜ°üÅëÀü±ØÀ¸·Î ºÒ¸®´Â TSV´Â ¼öÁ÷ÇüÅ·ΠD·¥À» ½×¾Æ Á÷Á¢ ¿¬°áÇÑ´Ù. ÀûÀº °ø°£¿¡ ´ë¿ë·® µ¥ÀÌÅ͸¦ ºü¸£°Ô ó¸®ÇÒ ¼ö ÀÖ¾î HBM Çʼö °øÁ¤ Àåºñ·Î ²ÅÈ÷°í ÀÖ´Ù.  



SKÇÏÀ̴нº°¡ ÀÌ´Þ 16´ÜÀ¸·Î ½×¾Æ¿Ã¸° HBM3E Ĩ ±â¼úÀ» ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î °ø°³ÇÑ´Ù´Â ¼Ò½Ä¿¡ °í´ë¿ªÆø¸Þ¸ð¸®(HBM) »ý»êÀÇ Çʼö °øÁ¤À¸·Î ²ÅÈ÷´Â ½Ç¸®ÄÜ°üÅëÀü±Ø(TSV)¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸® °øÁ¤À» óÀ½ ±¹»êÈ­ÇÑ ¿ÍÀ̾¾ÄÍ ÁÖ°¡°¡ °­¼¼´Ù. 2¿ù14ÀÏ ¿ÀÈÄ 1½Ã53ºÐ ±âÁØ ¿ÍÀ̾¾ÄÍ ÁÖ°¡´Â ÀüÀÏ ´ëºñ 660¿ø(5.19%) ¿À¸¥ 1¸¸3380¿ø¿¡ °Å·¡µÇ°í ÀÖ´Ù.

SKÇÏÀ̴нº´Â ¿À´Â 20ÀÏ ±¹Á¦°íüȸ·ÎÇÐȸ(ISSCC) 2024 ÄÁÆÛ·±½º¿¡¼­ 16´ÜÀ¸·Î ½×¾Æ¿Ã¸° HBM3E Ĩ ±â¼úÀ» ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î °ø°³ÇÑ´Ù. ÇÐȸ ¿ÀÀü¿¡ ¿­¸®´Â ¸Þ¸ð¸® ¼¼¼ÇÀ» ÅëÇØ ´ÜÀÏ ½ºÅÿ¡¼­ 1280GB/s¸¦ ó¸®ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â 16´Ü 48±â°¡¹ÙÀÌÆ®(GB) HBM3E¸¦ ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î ¼±º¸ÀÏ °èȹÀÌ´Ù.

16´ÜÀº ÇöÁ¸ÇÏ´Â ÃÖ°íÃþ 12´Ü HBM3E º¸´Ù ÇÑ ´Ü°è ´õ ÁøÈ­ÇÑ ±â¼úÀÌ´Ù. HBMÀº D·¥ ĨÀ» ½×À»¼ö·Ï ¿ë·®ÀÌ È®´ëµÇ´Âµ¥ 16´ÜÀÇ °æ¿ì 12´Ü°ú °°Àº ³ôÀÌ¿¡ ´õ ¸¹Àº D·¥À» žÀçÇØ¾ß Çϱ⠶§¹®¿¡ D·¥ µÎ²²¸¦ ´õ ¾ã°Ô ¸¸µå´Â ÃֽŠ°ø¹ýÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. SKÇÏÀ̴нº´Â À̹ø¿¡ °ø°³ÇÏ´Â 16´Ü HBM3E¿¡ ´ëÇØ ÀûÃþÀ» ÃÖÀûÈ­Çϱâ À§ÇØ ÀúÀü·ÂÀ» °­È­ÇÑ TSV ¼³°è¸¦ »õ·Ó°Ô Àû¿ëÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù. ƯÈ÷ º»°ÝÀûÀÎ ÀΰøÁö´É(AI) ½Ã´ë °³È­·Î HBM ¼ö¿ä°¡ ´ëÆø ´Ã¾î³¯ °ÍÀ» ´ëºñÇØ Á¦ÀÛ Çʼö °øÁ¤À¸·Î ²ÅÈ÷´Â TSV ÅõÀÚ¸¦ ´ë´ëÀûÀ¸·Î È®´ëÇÒ °ÍÀ̶ó°í ¿¹°íÇß´Ù.

±è¿ìÇö SKÇÏÀ̴нº ºÎ»çÀå(CFO)Àº Áö³­´Þ ¸» 2023³â 4ºÐ±â ÄÁÆÛ·±½ºÄÝ¿¡¼­ "ÃÖ±Ù ±â¾÷µéÀÇ AI µµÀÔ°ú °³ÀÎÀÇ AI ¼ö¿ëµµ Áõ°¡·Î ÁßÀå±â HBM ¼ö¿ä´Â ¿¬Æò±Õ 60% ¼öÁØÀÇ ¼ºÀåÀ» ¿¹»óÇÑ´Ù"¸ç "¿ÃÇØ AI ¼ö¿ä Áõ°¡ ´ëÀÀÀ» À§ÇÑ ¼±´Ü °øÁ¤ Á¦Ç°ÀÇ ¾ç»ê È®´ë¿Í ÇÔ²² À۳⠴ëºñ ¿ÃÇØ TSV ijÆĸ¦ ¾à 2¹è È®´ëÇÒ °Í"À̶ó°í ¹àÇû´Ù.

ÀÌ°°Àº ¼Ò½Ä¿¡ ±¹³»¿¡¼­´Â óÀ½À¸·Î TSV¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸® ±¹»êÈ­¿¡ ¼º°øÇÑ ¿ÍÀ̾¾ÄÍÀÌ ÁÖ¸ñ¹ÞÀ¸¸ç ¸Å¼ö¼¼°¡ ¸ô¸®°í ÀÖ´Ù.½ÇÁ¦ ¿ÍÀ̾¾ÄÍÀº Â÷¼¼´ë D·¥À¸·Î ¼Õ²ÅÈ÷´Â °í´ë¿ªÆø¸Þ¸ð¸®(HBM) ½ÃÀåÀÇ ¼ºÀå¿¡ ¹ß¸ÂÃç TSV¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ ±¹»êÈ­ÇØ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷¿¡ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù.»ï¼ºÀüÀÚ¿Í SKÇÏÀ̴нº¸¦ ¸ðµÎ °í°´»ç·Î µÎ°í ÀÖÀ¸¸ç ¸ÅÃâÀÇ 70% ÀÌ»óÀÌ SKÇÏÀ̴нº¿¡¼­ ³ª¿Â´Ù.TSV °øÁ¤Àº ¼öÁ÷ ÇüÅ·ΠÁ÷Á¢ ĨÀ» ¿¬°áÇÒ ¼ö Àֱ⠶§¹®¿¡ °ø°£ È®º¸¿¡ À¯¸®ÇÏ°í Å©±âµµ ÀÛ¾Æ ¹æ´ëÇÑ ¾çÀÇ µ¥ÀÌÅ͸¦ ºü¸£°Ô ÇнÀ, ó¸®ÇÒ ¼ö ÀÖ¾î HBM Á¦ÀÛ¿¡ Çʼö °øÁ¤À¸·Î ²ÅÈ÷°í ÀÖ´Ù.



»ï¼º°ú SK¸¦ ºñ·ÔÇØ ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µéÀÌ ÃÖ±Ù À¯¸® ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ »ç¾÷ ÁøÃâ¿¡ ¼Óµµ¸¦ ³»°í ÀÖ´Ù. ÀÌ¿Í °ü·ÃÇØ ¼¼°è ÃÖÃÊ ¹ÝµµÃ¼ ¿¡Äª À¯¸® ±âÆÇ ±Õ¿­À» º¸È£Çϴ Ư¼ö Æú¸®¸Ó À¯¸®ÄÚÆÃÁ¦¸¦ °³¹ßÇÑ ¿ÍÀ̾¾ÄÍ ÁÖ°¡°¡ °­¼¼´Ù.

1¿ù29ÀÏ ¿ÀÈÄ 12½Ã57ºÐ ±âÁØ ¿ÍÀ̾¾ÄÍ ÁÖ°¡´Â Àü °Å·¡ÀÏ ´ëºñ 1290¿ø(11.31%) ¿À¸¥ 1¸¸2700¿ø¿¡ °Å·¡µÇ°í ÀÖ´Ù.À̳¯ °ü·Ã¾÷°è¿¡ µû¸£¸é »ï¼º¿¡¼­´Â ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ »ç¾÷À» ÇÏ°í ÀÖ´Â »ï¼ºÀü±â°¡ À¯¸® ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇÀ» ½Å»ç¾÷À¸·Î ³«Á¡ÇÏ°í »ó¿ëÈ­ ÀÛ¾÷¿¡ µ¹ÀÔÇß´Ù.Áö³­ 10ÀÏ ¹Ì±¹ ¶ó½ºº£À̰Žº¿¡¼­ ¿­¸° CES 2024¿¡¼­ Àå´öÇö »ï¼ºÀü±â »çÀåÀº "ÇöÀç ¼¼Á¾ »ç¾÷Àå¿¡ ±Û¶ó½º ±âÆÇ ½ÃÁ¦Ç° »ý»ê ¶óÀÎÀ» ±¸ÃàÇÏ°í ÀÖ´Ù"¸ç "³»³â¿¡ ±Û¶ó½º ±âÆÇ ½ÃÁ¦Ç°À» ¸¸µé°í 2026³â ÀÌÈÄ ¾ç»ê¿¡ ³ª¼³ °èȹ"À̶ó°í ¹àÇû´Ù. 

SK´Â ´õ ¹ß ºü¸¥  Çຸ¸¦ º¸ÀÌ°í ÀÖ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç »ç¾÷À» ÁÖ·ÂÀ¸·Î µÎ°í ÀÖ´Â SKC´Â ÀÌ¹Ì Áö³­ 2021³â ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î °³¹ßÇÑ '°í¼º´É ÄÄÇ»ÆÃ(HPC)¿ë ±Û¶ó½º ±âÆÇ'À» ½Å¼ºÀå µ¿·ÂÀ¸·Î Á¡ ÂïÀ¸¸ç ÀÏÂġ ÁøÃâÀ» ¼±¾ðÇß´Ù. ½ÇÁ¦ SKC ÀÚȸ»ç ¾Û¼Ö¸¯½º´Â Áö³­ÇØ ¹Ì±¹ Á¶Áö¾ÆÁÖ¿¡ ±Û¶ó½º ±âÆÇ °øÀåÀ» ¿Ï°øÇϸ鼭 ¾ç»ê üÁ¦ ±¸ÃàÀ» ¿Ï·áÇß´Ù.

±Û·Î¹ú ±â¾÷µéµµ À¯¸® ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ »ç¾÷¿¡ ¶Ù¾îµé°í ÀÖ´Ù.Áö³­ÇØ 9¿ù ¹Ì±¹ ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷ ÀÎÅÚÀº 2030³â ³»·Î ±Û¶ó½º ±âÆÇ ±â¹ÝÀÇ ¹ÝµµÃ¼¸¦ ¼±º¸ÀÏ °ÍÀ̶ó°í ¹àÈù ¹Ù ÀÖ°í ÀϺ»¿¡¼± ´ÙÀÌ´ÖÆùÇÁ¸°ÆÃ(DNP)ÀÌ Áö³­ÇØ 3¿ù ±Û·¡½º ±âÆÇÀ» °³¹ßÇß´Ù°í ¹ßÇ¥Çϸç 2027³â ¾ç»êÀ» ¸ñÇ¥·Î Áغñ ÁßÀÎ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. À¯¸® ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇÀÇ °¡Àå Å« °­Á¡Àº Çöó½ºÆ½ ±âÆÇ ´ëºñ ´õ ¸¹Àº ¹ÝµµÃ¼ ĨÀ» žÀçÇÒ ¼ö ÀÖ°í ÆÐŰ¡ µÎ²²µµ ÁÙ¿©ÁÖ´Â Á¡ÀÌ´Ù. À¯¸® ±âÆÇÀÇ ÆòÆòÇÑ Ç¥¸éÀ¸·Î ÀÎÇØ Áß¾Óó¸®ÀåÄ¡(CPU)¡¤±×·¡ÇÈó¸®ÀåÄ¡(GPU)¡¤¸Þ¸ð¸® µî ¿©·¯ ¹ÝµµÃ¼µé°ú ÀûÃþ¼¼¶ó¹ÍÄܵ§¼­(MLCC)¸¦ ÇϳªÀÇ ±âÆÇ¿¡ ¹è¿­ÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸é¼­ Çöó½ºÆ½ ±âÆÇ¿¡ ¾²ÀÌ´Â ½Ç¸®ÄÜÀÌ ÇÊ¿äÇÏÁö ¾Ê±â ¶§¹®¿¡ µÎ²²µµ ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀÌ´Ù. ±×·¯´Ùº¸´Ï GPU¿Í °í´ë¿ªÆø¸Þ¸ð¸®(HBM) µîÀ» ÇϳªÀÇ ÆÐÅ°Áö·Î ±¸ÇöÇØ ¼º´ÉÀ» ±Ø´ëÈ­ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌó·³ ¾ÆÁ÷ »ó¿ëÈ­µÇÁö ¾ÊÀº À¯¸®±âÆÇ ½ÃÀåÀÌ ¹ú½áºÎÅÍ ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µéÀÇ »õ·Î¿î °ÝÀüÁö·Î ±ÞºÎ»óÇϸ鼭 ¹ÝµµÃ¼ Á¤¹ÐÈ­ÇÐ ±â¾÷ ¿ÍÀ̾¾ÄÍÀÌ ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖ´Ù.

¿ÍÀ̾¾ÄÍÀº Áö³­ÇØ 6¿ù À¯¸® ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ ¼ÒÀç 2Á¾À» °³¹ßÇØ »ó¿ëÈ­¸¦ ¾ÕµÎ°í ÀÖ´Ù°í ¹àÇû´Ù. ¼¼°è ÃÖÃÊ ¹ÝµµÃ¼ ¿¡Äª °úÁ¤¿¡¼­ À¯¸® ±âÆÇ ±Õ¿­À» º¸È£Çϴ Ư¼ö Æú¸®¸Ó À¯¸®ÄÚÆÃÁ¦¸¦ °³¹ßÇÑ °¡¿îµ¥ ±¹³»¿Ü ±â¾÷µéÀÌ º»°ÜÀûÀ¸·Î À¯¸® ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ »ç¾÷¿¡ ¶Ù¾îµé¸é¼­ ½ÃÀåÀÇ °ü½ÉÀ» ¹Þ´Â °ÍÀ¸·Î Ç®À̵ȴÙ. 



À۳⠰³º°±âÁØ ¸ÅÃâ¾×Àº 622.71¾ïÀ¸·Î Àü³â´ëºñ 24.38% °¨¼Ò. ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 76.10¾ï ÀûÀÚ·Î 53.14¾ï¿¡¼­ ÀûÀÚÀüȯ.  ´ç±â¼øÀÌÀÍÀº 58.87¾ï ÀûÀÚ·Î 41.64¾ï¿¡¼­ ÀûÀÚÀüȯ.



¿ÍÀ̾¾ÄÍ(¿¾ ¿µÃ¢ÄɹÌÄ®)ÀÇ ÁÖ°¡°¡ ÁֽĽÃÀå¿¡¼­ ¿À¸§¼¼¸¦ º¸ÀÌ°í ÀÖ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ¹Ì±¹ AI ¼­¹ö½ÃÀå Á¡À¯À²À» ¿Ã¸®±â À§ÇØ HBM ¼³ºñÅõÀÚ ±Ô¸ð¸¦ 2.5¹è ÀÌ»ó ´Ã¸®±â·Î Çß´Ù´Â ¼Ò½Ä¿¡ HBM¿¡ Çʼö ¿ä¼ÒÀÎ ½Ç¸®ÄÜ °üÅëÀü±Ø(TSV) Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® °øÁ¤À» ±¹³»¿¡¼­ óÀ½ ±¹»êÈ­¿¡ ¼º°øÇÑ ¿ÍÀ̾¾ÄÍÀÌ Á¶¸íÀ» ¹Þ°í Àֱ⠶§¹®À¸·Î Çؼ®µÈ´Ù.

1¿ù12ÀÏ ÁֽĽÃÀå°ú »ï¼ºÀüÀÚ¿¡ µû¸£¸é ÀÌ´Þ 11ÀÏ(ÇöÁö½Ã°£) »ï¼ºÀüÀÚ ÇÑÁø¸¸ DSAºÎ»çÀåÀº "¿ÃÇØ °í´ë¿ªÆø¸Þ¸ð¸®(HBM)¿¡ ´ëÇÑ ¼³ºñÅõÀÚ¸¦ Áö³­Çغ¸´Ù 2.5¹è ÀÌ»ó ´Ã¸± °èȹ"À̶ó¸ç "Áö³­ÇØ °æÀï»çµéÀÌ ÅõÀÚ¸¦ ÁÙÀÌ´Â ±â°£¿¡µµ »ï¼ºÀº ÅõÀÚ¸¦ À¯ÁöÇØ¿Ô°í ±× °ÝÂ÷°¡ ¿ÃÇغÎÅÍ º»°ÝÈ­ÇÒ °Í"À̶ó°í ¿ª¼³Çß´Ù.¶ÇÇÑ, "¼±´Ü °øÁ¤ Àüȯ °¡¼ÓÈ­¸¦ ÅëÇØ ¹Ì±¹ ¼­¹ö ½ÃÀå Á¡À¯À² 50% ÀÌ»ó ÇÏ°Ú´Ù´Â ³»ºÎÀûÀÎ ¸ñÇ¥°¡ ÀÖ´Ù"¸ç "HPC(°í¼º´É ÄÄÇ»ÆÃ), »ý¼ºÇü AI ½Ã´ë¿¡ ÆÄ¿îµå¸®¿Í ¸Þ¸ð¸®ÀÇ À¶ÇÕÀ» ÅëÇÑ ½ÃÀå Á¡À¯À²À» ¼±Á¡ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °Í"À̶ó¸ç ÀڽۨÀ» °Åµì ³»ºñÃÆ´Ù.

ƯÈ÷, HBM»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó °í°´»çµé°ú LPDDR(ÀúÀü·Â D·¥), CXL(ÄÄǻƮÀͽºÇÁ·¹½º¸µÅ©) µî Ãʱ⠳íÀǸ¦ ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ¿©·¯°¡Áö ÇüÅÂÀÇ ¾ÆÀ̵ð¾îµéÀ» Á¢¸ñÇØ  Æз¯´ÙÀÓ º¯È­¸¦ ÁÖµµÇÏ°Ú´Ù°íµµ Çß´Ù.ÀÌ·¯ÇÑ ¼Ò½Ä¿¡ ±¹³» ÃÖÃÊ·Î TSV Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ ±¹»êÈ­ÇÑ ¿ÍÀ̾¾ÄÍÀÌ ÁֽĽÃÀå¿¡¼­ Á¶¸íÀ» ¹ÞÀ¸¸é¼­ ÁÖ°¡»ó½ÂÀ¸·Î À̾îÁö°í ÀÖ´Â ¸ð½ÀÀÌ´Ù.

HBMÀº ³­À̵µ°¡ ³ôÀº TSV °øÁ¤ÀÌ ÇʼöÀûÀÌ´Ù. TSV´Â D·¥ »óÃþ°ú ÇÏÃþ Ĩ¿¡ ¼öõ °³ÀÇ ¹Ì¼¼ÇÑ ±¸¸ÛÀ» ¶Õ¾î Àü±ØÀ¸·Î ¿¬°áÇÏ´Â ÀûÃþ °øÁ¤ÀÌ´Ù. ¹«¾ùº¸´Ù TSV Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(Photoresist)´Â ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ À§¿¡ ¹Ì¼¼È¸·Î Çü¼ºÀ» À§ÇØ »ç¿ëµÇ´Â ¼ÒÀçÀε¥, ´ëºÎºÐ ¿Ü»ê Á¦Ç°À¸·Î »ç¿ëµÆÀ¸³ª, ¿ÍÀ̾¾ÄÍÀÌ ±¹»êÈ­¿¡ ¼º°øÇØ ÇöÀç ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µé¿¡ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù.ÁÖ¿ä°í°´»ç·Î´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¾ÇÕ ¼ÒÀç ±â¾÷À¸·Î SKÇÏÀ̴нº, »ï¼ºÀüÀÚ, SK½ÇÆ®·Ð, ±Û·Î¹úÆÄ¿îµå¸®½º µîÀ» ÁÖ¿ä °í°´»ç·Î µÎ°í ÀÖ´Ù.



¹ÝµµÃ¼ µî ÃÊÁ¤¹Ð »ê¾÷¿ë ÄɹÌÄà ¼ÒÀç Àü¹®¾÷ü. 2004³â ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î KrF ¹× ArF Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¿ë ¸°½º¾×À» °³¹ß ¹× »ó¿ëÈ­ÇÏ¿© º»°ÝÀûÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ½ÃÀå¿¡ ÁøÀÔÇßÀ¸¸ç, 2009³â¿¡´Â ±¹³» ¾÷üÃÖÃÊ·Î I-Line Negative Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® °³¹ß ¹× »ó¿ëÈ­¸¦ ÅëÇØ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ½ÃÀå¿¡µµ ¼º°øÀûÀ¸·Î ÁøÀÔÇÏ´Â µî Á¦Ç°±º ´Ùº¯È­ Áß. ÁÖ¿ä Á¦Ç°À¸·Î´Â Photo ¼ÒÀç(YPP-T6K YHS-140), Wet Chemical(YND-B100 CUSOL), PR¿ë Rinse(LST-2000PC PLECT-230) µîÀÌ ÀÖÀ½. ÃÖ´ëÁÖÁÖ´Â À̼ºÀÏ ¿Ü(40.09%), ÁÖ¿äÁÖÁÖ´Â ÄÉÀ̾ؼ¼ÄÁ´õ¸®3È£ÅõÀÚÁ¶ÇÕ(8.84%).  »óÈ£º¯°æ : ¿µÃ¢ÄɹÌÄ® -> ¿ÍÀ̾¾ÄÍ(23³â4¿ù).


2022³â °³º°±âÁØ ¸ÅÃâ¾×Àº 823.50¾ïÀ¸·Î Àü³â´ëºñ 23.97% Áõ°¡. ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 53.15¾ïÀ¸·Î 137.70% Áõ°¡. ±â¼øÀÌÀÍÀº 41.65¾ïÀ¸·Î 8.14¾ï ÀûÀÚ¿¡¼­ ÈæÀÚÀüȯ.


ÀÛ³â 10¿ù27ÀÏ 8310¿ø¿¡¼­ ÃÖÀúÁ¡À» ÂïÀº ÈÄ µî¶ôÀ» º¸ÀÌ´Â °¡¿îµ¥ ÀúÁ¡°ú °íÁ¡À» ³ôÇô¿À´Â ¸ð½À¿¡¼­ ¿Ã 4¿ù5ÀÏ 35400¿ø¿¡¼­ ÃÖ°í°¡¸¦ Âï°í ¹Ð·ÈÀ¸³ª 26ÀÏ 22900¿ø¿¡¼­ ÀúÁ¡À» Âï°í ÀúÁ¡À» ³ôÈ÷´Â ÁßÀ¸·Î, ÀÌÁ¦ºÎÅÏ ¹Ð¸±¶§¸¶´Ù ¹°·® ¸ð¾ÆµÑ ±âȸ·Î º¸¿©Áý´Ï´Ù.


¼ÕÀýÁ¡Àº 22900¿øÀ¸·Î º¸½Ã°í ÃÖ´ëÇÑ ÀúÁ¡À» ³ë¸®½Ã¸é µÇ°Ú½À´Ï´Ù. 23850¿ø ÀüÈÄ¸é ¹«³­ÇØ º¸ÀÌ¸ç ºÐÇҸżöµµ °í·ÁÇØ º¼¼ö ÀÖ°Ú½À´Ï´Ù.¸ñÇ¥°¡´Â 1Â÷·Î  26250¿ø ºÎ±Ù¿¡¼­ Çѹø Â÷ÀͽÇÇöÀ» °í·ÁÇØ º¸½Ã°í ÀÌÈÄ ´­¸±½Ã ÁöÁöµÇ´Â ÀúÁ¡¿¡¼­ Àç°ø·« ÇÏ½Ã¸é µÇ°Ú½À´Ï´Ù. 2Â÷´Â 28800¿ø ÀÌ»óÀ» ±â´ë ÇÕ´Ï´Ù.


°¨»çÇÕ´Ï´Ù. 

¸ñ·Ï À­±Û ¾Æ·¡±Û
À­±Û
ÇÊ¿Éƽ½º(161580)¹Ð¸±¶§¸¶´Ù ¹°·® ¸ð¾ÆµÑ ±âȸ·Î º¸À̸ç ÀÌÈÄ Àü¸Á ¹× ´ëÀÀÀü·«.
¾Æ·§±Û
ºñ¿Ã(335890)¹Ð¸±¶§¸¶´Ù ¹°·® ¸ð¾ÆµÑ ±âȸ·Î º¸À̸ç ÀÌÈÄ Àü¸Á ¹× ´ëÀÀÀü·«.