À¯ÁøÅõÀÚÁõ±Ç Ä¿¹Â´ÏƼ

ÁÖ½ÄÁ¾ÇÕÅä·Ð

¸ñ·Ï À­±Û ¾Æ·¡±Û
¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö(322310)ÀúÁ¡¿¡¼± ¹°·® ¸ð¾ÆµÑ ±âȸ·Î º¸À̸ç, ÀÌÈÄ Àü¸Á ¹× ´ëÀÀÀü·«. 2024/04/29 07:55
°³¹Ì½Å»ç



À̺£½ºÆ®ÅõÀÚÁõ±ÇÀº 3¿ù27ÀÏ ¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö(322310)¿¡ ´ëÇØ °í´ë¿ªÆø¸Þ¸ð¸®(HBM) °Ë»ç¡¤°èÃø Àåºñ ±¹»êÈ­ È®´ë¿¡ µû¸¥ ¼öÇý°¡ ±â´ëµÈ´Ù°í Æò°¡Çß´Ù. À̺£½ºÆ®ÅõÀÚÁõ±Ç¿¡ µû¸£¸é ¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö´Â ³ë±¤ °øÁ¤¿¡¼­ ÀûÃþµÈ ȸ·Î ÆÐÅÏµé °£ÀÇ Á¤·Äµµ(Overlay¡¤¿À¹ö·¹ÀÌ) °èÃø Àåºñ¸¦ ³³Ç°ÇÏ´Â ¾÷ü´Ù. °í°´»ç·Î´Â Áß±¹ ¹× ±¹³» ¸Þ¸ð¸® ¾÷üµéÀ» È®º¸ÇßÀ¸¸ç ÁÖ¿ä °æÀï»ç·Î´Â ³×´ú¶õµåÀÇ ASML, ¹Ì±¹ÀÇ KLA°¡ Á¸ÀçÇÑ´Ù. ¿À¹ö·¹ÀÌ °èÃø ÀåºñÀÇ ±¹»êÈ­ ¹× ¹ÌÁß ±ÔÁ¦ ¼öÇý ¹Ý»ç ÀÌÀÍÀ¸·Î ÀÎÇØ Áö³­ÇØ ¸ÅÃâ¾×°ú ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº Àü³â ´ëºñ °¢°¢ 31% ´Ã¾î³­ 465¾ï¿ø, ÈæÀÚÀüȯÇÑ 24¾ï¿ø(¿µ¾÷ÀÌÀÍ·ü 5.1%)À» ±â·ÏÇß´Ù.¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ¾÷üµéÀº ¹Ì¼¼ÆÐÅÏ ³ë±¤À» À§Çؼ­ ±ØÀڿܼ±(EUV)À» ÁÖ·Î »ç¿ëÇÏÁö¸¸ ³ôÀº ºñ¿ë ¹× ³­À̵µ·Î ÀÎÇØ ¸ÖƼÆÐÅÍ´×À» »ç¿ëÇϱ⵵ ÇÑ´Ù. ƯÈ÷ Áß±¹ ¾÷üµéÀº EUV ¹ÝÀÔÀÌ ºÒ°¡´ÉÇØ ¼±´Ü °øÁ¤ Ĩ Á¦Á¶¸¦ À§ÇØ ¸ÖƼÆÐÅÍ´×À» Àû±ØÀûÀ¸·Î äÅÃÇÏ°í ÀÖ´Ù. Â÷¿ëÈ£ À̺£½ºÆ®ÅõÀÚÁõ±Ç ¿¬±¸¿øÀº "µ¿»ç´Â ¹ÌÁß ¼öÃâ ±ÔÁ¦ ¼Ó¿¡¼­ ASML, KLA µî °æÀï»ç ´ëºñ ³ôÀº ¼öÇý¸¦ ¹Þ°í ÀÖ´Ù"¸ç "°¡°Ý °æÀï·ÂÀ¸·Î ÀÎÇØ ±¹³» ¸Þ¸ð¸® °ø±Þ»çµéµµ Àåºñ ±¹»êÈ­¸¦ Àû±ØÀûÀ¸·Î ÁøÇàÇÏ°í ÀÖ´Ù"°í Á¶¾ðÇß´Ù.Â÷ ¿¬±¸¿øÀº "ÃÖ±Ù ±¹³» ¸Þ¸ð¸® °ø±Þ¾÷üµéÀÇ HBM »ý»ê ¼öÀ²À» Çâ»ó½ÃÅ°±â À§ÇÑ °Ë»ç¡¤°èÃø Àåºñ ¼ö¿ä°¡ Áõ°¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù"°í °­Á¶Çß´Ù.À̾î "µ¿»ç´Â ½Ç¸®ÄÜ°üÅëÀü±Ø(TSV) ¿À¹ö·¹ÀÌ Àåºñ¿Í HBM Warpage(ÈÚÇö»ó) °Ë»çÀåºñ¸¦ ±¹³»°í°´»ç¿¡°Ô ³³Ç°Çß´Ù"¸ç "½ºÅÃ(Stack) ¼ö Áõ°¡·Î ÀÎÇØ ÄÚ¾î ´ÙÀÌ(Core Die)°¡ ¾ã¾ÆÁö°í ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ´Â ÈÚÇö»ó Á¦¾î¸¦ ´õ¿í ¾î·Æ°Ô ÇÒ °ÍÀÌ´Ù. ÀÌ¿¡ Warpage °Ë»çÀåºñ¿¡ ´ëÇÑ ¼ö¿ä°¡ Áõ°¡ÇÒ °Í"À̶ó°í µ¡ºÙ¿´´Ù.¶ÇÇÑ "µ¿»ç´Â ¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ(um) ´ÜÀ§ÀÎ ÈÄ°øÁ¤ ´ëºñ ´õ¿í ¹Ì¼¼ÇÑ ³ª³ë¹ÌÅÍ(nm)´ÜÀ§ÀÎ Àü°øÁ¤ °èÃø ±â¼úÀ» º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ¾î °æÀï·ÂÀ» °®Ãè´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.

¾Æ¿ï·¯ ¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁöÀÇ ¿ÃÇØ ¿¹»ó ¸ÅÃâ¾×°ú ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº Áö³­ÇØ ´ëºñ °¢°¢ 43% »ó½ÂÇÑ 667¾ï¿ø, 333% Áõ°¡ÇÑ 104¾ï¿ø(¿µ¾÷ÀÌÀÍ·ü 15.6%)À¸·Î ¼ºÀåÀ» ÀÌ¾î ³ª°¥ °ÍÀ¸·Î ³»´Ùº¸¸é¼­ "Çö ÁÖ°¡´Â ¿ÃÇØ ½ÇÀû ÄÁ¼¾¼­½º ±âÁØ 34¹è·Î ³ôÀº ¹ë·ù¿¡À̼ÇÀ» ¹Þ°í ÀÖÁö¸¸ HBMÇâ °èÃø ÀåºñÀÇ ½ÇÀû ±â¿©¸¦ ÅëÇØ ½ÇÀûÀÇ »óÇâ Á¶Á¤ÀÌ °¡´ÉÇÒ °Í"À̶ó°í ¤¾ú´Ù.



KBÁõ±ÇÀº 3¿ù4ÀÏ °í´ë¿ªÆø¸Þ¸ð¸®(HBM) Àåºñ °ü·ÃÁÖ¿¡ ´ëÇØ "HBM3E ¾ç»ê °æÀïÀ» º»°ÝÈ­Çϸ鼭 Ãß°¡ ¸ð¸àÅÒÀ» ±â´ëÇغ¼ ¼ö ÀÖ´Â ¾÷üµéÀ» °¡·Á³»´Â °Ô Áß¿äÇÏ´Ù"¸ç Å×Å©À®, ¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö, Çѹ̹ݵµÃ¼, ÀÎÅØÇ÷¯½º, Á¦¿ì½º, ÀÌ¿ÀÅ×Å©´Ð½º, µð¾ÆÀÌ, ³Ø½ºÆ¾ µîÀ» ¼öÇýÁÖ·Î ²Å¾Ò´Ù.ÀÌ Áõ±Ç»ç ¹ÚÁÖ¿µ ¿¬±¸¿øÀº "HBM »ý»ê¿¡¼­ Áß¿äÇÑ È­µÎ´Â '¼öÀ²'ÀÌ°í ¼öÀ² Çâ»óÀ» À§ÇÑ Å×½ºÆ®, °Ë»ç¡¤°èÃø, ¼¼Á¤, ¾î´Ò¸µÀåºñ ¼ö¿ä´Â Áö¼ÓÀûÀ¸·Î Áõ°¡ÇÒ ¿¹Á¤"À̶ó¸ç "°ü·Ã Å×½ºÆ® Àåºñ ¾÷ü·Î´Â Å×Å©À®, µð¾ÆÀÌ, ¿ÍÀ̾ÆÀÌÄÉÀÌ°¡ ÀÖ°í °Ë»ç°èÃø Àåºñ ¾÷ü´Â ¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö, ÀÎÅØÇ÷¯½º, ³Ø½ºÆ¾, °í¿µÀÌ ÀÖ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.±×´Â "¼¼Á¤Àåºñ´Â TSV ½Ä°¢°øÁ¤À» ÅëÇØ Çü¼ºµÈ 1024°³ Via Ȧ¿¡ ³²Àº ÀÜ·ù¹°À» Á¦°ÅÇØÁÖ´Â Àåºñ"¶ó¸ç "°Ç½Ä¼¼Á¤Àº ¹Ì¼¼°øÁ¤¿¡¼­ ÁÖ·Î »ç¿ëµÇ°í Via Ȧ ¾È¿¡ ÀÜ·ù¹°À» Á¦°ÅÇÏ°í ½À½Ä¼¼Á¤À» ÅëÇØ ¸¶¹«¸®ÇØÁØ´Ù"°í ºÎ¿¬Çß´Ù. °ü·Ã ¼¼Á¤Àåºñ ¾÷ü·Î´Â PSKȦµù½º(°Ç½Ä), Á¦¿ì½º(½À½Ä), ¿¤Æ¼¾¾(½À½Ä)¸¦ ²Å¾Ò´Ù.¹Ú ¿¬±¸¿øÀº "¾î´Ò¸µ Àåºñ´Â ¿þÀÌÆÛ Ç¥¸éÀÇ °è¸é°áÇÔÀ» °³¼±ÇØÁÜÀ¸·Î½á ¼öÀ² Çâ»ó¿¡ ±â¿©ÇÏ°í ÀÖ´Ù"¸ç "¾î´Ò¸µ Àåºñ´Â ÇâÈÄ ÇÏÀ̺긮µå º»µù¿¡µµ Áß¿äÇØÁú °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇ´Âµ¥ ¹üÇÁ¸¦ ÅëÇÏÁö ¾Ê°í ±¸¸®¿Í ±¸¸®¸¦ Á÷Á¢ ¿¬°áÇÏ´Â ÇÏÀ̺긮µå º»µù Ư¼º»ó ±¸¸® ¾È¿¡ »ý¼ºµÇ´Â ³»ºÎ ±â°øÀ» ¾î´Ò¸µÀ» ÅëÇØ Á¦°ÅÇØÁà¾ß Çϱ⠶§¹®"À̶ó°í Çß´Ù.±×·¯¸é¼­ "°ü·Ã ¾î´Ò¸µ Àåºñ ¾÷ü´Â HPSP, ÀÌ¿ÀÅ×Å©´Ð½º, µð¾ÆÀÌƼ, ¿øÀÍIPS°¡ ÀÖ´Ù"°í ¼Ò°³Çß´Ù.



À۳⠿¬°á±âÁØ ¸ÅÃâ¾×Àº 455.29¾ïÀ¸·Î Àü³â´ëºñ 28.6% Áõ°¡. ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 23.70¾ïÀ¸·Î 32.92¾ï ÀûÀÚ¿¡¼­ ÈæÀÚÀüȯ. ´ç±â¼øÀÌÀÍÀº 33.79¾ïÀ¸·Î 29.78¾ï ÀûÀÚ¿¡¼­ ÈæÀÚÀüȯ.



¹ÝµµÃ¼ ¸ðÀÓÀÎ Çʶóµ¨ÇÇ¾Æ ¹ÝµµÃ¼Áö¼ö°¡ ¿ª»ç»ó ÃÖ°íÁ¡À» °¥¾ÆÄ¡¿î °¡¿îµ¥ ±¹³» Áõ½Ã¿¡¼­µµ ¹ÝµµÃ¼ ÀåºñÁÖµéÀÌ µ¿¹Ý °­¼¼¸¦ º¸ÀδÙ.  

1¿ù25ÀÏ ¿ÀÀü 10½Ã1ºÐ ±âÁØ Áõ½Ã¿¡¼­ ÄÚ¼¼½º´Â Àü °Å·¡ÀÏ ´ëºñ 4150¿ø(26.50%) ¿À¸¥ 1¸¸9810¿ø¿¡ °Å·¡ ÁßÀÌ´Ù. °í¿µ(9.36%), ¾ÆÀÌ¿¥Æ¼(9.15%), ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µ(7.59%), HPSP(6.19%), ¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö(5.92%), SFA¹ÝµµÃ¼(4.68%) µîµµ µ¿¹Ý ¿À¸§¼¼¸¦ º¸Àδ٠ 

°£¹ã ¹Ì Áõ½Ã¿¡¼­ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è ½´ÆÛ À»(ëà)·Î ºÒ¸®´Â ASMLÀÌ 8% »ó½Â ¸¶°¨Çß°í, ÀÌ¿Ü¿¡µµ KLA, ·¥ ¸®¼­Ä¡ µîÀÌ µ¿¹Ý »ó½ÂÇÏÀÚ Çʶóµ¨ÇÇ¾Æ Áö¼ö´Â Àü °Å·¡ÀÏ ´ëºñ 1.54% ¿À¸¥ 4483.33¿¡ ÀåÀ» ¸¶ÃÆ´Ù. ÀÌ´Â ¿ª»ç»ó ÃÖ°íÁ¡¿¡ ÇØ´çÇÑ´Ù.  



¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö°¡ °­¼¼´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß ±¹°¡Àü·«±â¼ú ¹üÀ§¿¡ °í´ë¿ªÆø¸Þ¸ð¸®(HBM) °ü·Ã ±â¼úÀÌ µé¾î°£´Ù´Â ¼Ò½ÄÀÌ ÁÖ°¡¿¡ ¿µÇâÀ» ÁÖ´Â °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ. ¿À¹ö·¹ÀÌ Àåºñ´Â ÁÖ·Î Àü°øÁ¤(³ë±¤)¿¡¼­ »ç¿ëµÇ°í ÀÖÀ¸³ª ÃÖ±Ù¿¡´Â HBM °øÁ¤ ÅõÀÚÈ®´ë ±âÁ¶¿¡ µû¶ó ÈÄ°øÁ¤(ÆÐŰ¡)À¸·Î Àåºñ µµÀÔÀÌ È®´ëµÇ°í ÀÖ´Ù. 

1¿ù24ÀÏ ¿ÀÀü 10½Ã1ºÐ ¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö´Â Àü³¯º¸´Ù 13.32% ¿À¸¥ 3¸¸3600¿ø¿¡ °Å·¡µÇ°í ÀÖ´Ù.

±âȹÀçÁ¤ºÎ°¡ ¹ßÇ¥ÇÑ ¡®2023³â °³Á¤¼¼¹ý ÈÄ¼Ó ½ÃÇà·É °³Á¤¾È¡¯¿¡ µû¸£¸é R&D ÅõÀÚ¿¡ ¼¼¾×°øÁ¦ ÇýÅÃÀ» ÁÖ´Â ±¹°¡Àü·«±â¼ú ¹üÀ§°¡ È®´ëµÆ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß´Â HBM µî Â÷¼¼´ë ¸Þ¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼ ¼³°è¡¤Á¦Á¶ ±â¼úÀÌ Ãß°¡µÆ´Ù. HBMÀº ÀΰøÁö´É(AI) ºÐ¾ß¿¡¼­ ÁÖ·Î È°¿ëµÇ´Â ¸Þ¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼´Ù. ¼ö¿ä°¡ ºü¸£°Ô ´Ã°í ÀÖ´Ù.

À±Ã¶È¯ Çѱ¹ÅõÀÚÁõ±Ç ¿¬±¸¿øÀº "¿À¹ö·¹ÀÌ ½ÃÀåÀº ±Û·Î¹ú K»ç¿Í A»ç°¡ °úÁ¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù"¸ç "IBO(Image Based Overlay) ¹æ½ÄÀº K»ç°¡ µ¶Á¡ÇÏ´ø ½ÃÀåÀ¸·Î ¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö°¡ ±¹³» ÃÖÃÊÀÌÀÚ À¯ÀÏÇÏ°Ô ±¹»êÈ­¿¡ ¼º°øÇß´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.

À̾î "¿À¹ö·¹ÀÌ °èÃø Àåºñ´Â ³ë±¤ °øÁ¤ Áß È¸·ÎÆÐÅÏ Çü¼º°ú ÀûÃþ °úÁ¤¿¡¼­ ¼öÁ÷ ÀûÃþ Á¤·Äµµ¿Í ¿ÀÁ¤·ÄÀ» ÃøÁ¤ ¹× Á¦¾îÇÏ´Â Àåºñ"¶ó¸ç "¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ »ý»ê ½Ã ¼öÀ²°ú Á÷°áµÇ´Â Çʼö Àåºñ"¶ó°í µ¡ºÙ¿´´Ù.

°í´ë¿ªÆø¸Þ¸ð¸®(HBM)¸¦ ¸¸µé ¶§ ¾²´Â ½Ç¸®ÄÜ°üÅëÀü±Ø(TSV) °øÁ¤¿¡µµ ¿À¹ö·¹ÀÌ Àåºñ°¡ È°¿ëµÈ´Ù.

±×´Â "¸Þ¸ð¸® ¼öÁ÷ÀûÃþ °úÁ¤¿¡¼­ TSV ¹× ¸¶ÀÌÅ©·Î ¹üÇÁ ÀÌ¿ë ½Ã ÇϺΠÆÐÅÏ°ú ¹üÇÁ ÆÐÅÏÀÇ Á¤·Ä°ú Å©±â ÃøÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â'OL-900 NW' ¿Âµµ Â÷¿¡ ÀÇÇÑ ¿þÀÌÆÛÀÇ ÈÚ Á¤µµ¸¦ °Ë»çÇÏ´Â ¿ÍÇÇÁö ÀνºÆå¼ÇÀåºñÀÎ 'WaPIS-30' µîÀÌ ÀÖ´Ù"°í ¼Ò°³Çß´Ù. ¾Æ¿ï·¯ "ÇöÀç ÁÖ·Â Á¦Ç°ÀÎ OL-900nÀÇ Â÷¼¼´ë Á¦Ç°ÀÎ OL-1000nÀº ¿ÃÇØ 1ºÐ±â¿¡ Ãâ½ÃÇÒ °Í"À̶ó¸ç "´Ê¾îµµ »ó¹Ý±â¿¡´Â °í°´»ç·Î ÀεµµÇ±â ½ÃÀÛÇØ ±¹³» °í°´»ç ´ë»óÀ¸·Î Â÷¼¼´ë Á¦Ç° ºñÁßÀ» ´Ã·Á³ª°¥ °Í"À̶ó°í ³»´ÙºÃ´Ù.

¿ÃÇØ ¸ÅÃâ¾× 659¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 111¾ï¿øÀ» ´Þ¼ºÇÒ °ÍÀ¸·Î ÃßÁ¤Çß´Ù. Áö³­ÇØ ´ëºñ °¢°¢ 54.1%, 1336.1% ´Ã¾î³­ ±Ô¸ð´Ù. À± ¿¬±¸¿øÀº "ÁÖ·Â Á¦Ç°ÀÇ °íµµÈ­¿¡ µû¸¥ ¼öÀͼº °³¼±, ÈÄ°øÁ¤ ¶óÀξ÷ È®´ë¿¡ µû¸¥ ¸ÅÃâ Áõ°¡¿Í ÀÌ¿¡ µû¸¥ ¿µ¾÷·¹¹ö¸®Áö È¿°ú°¡ ±Ø´ëÈ­µÉ °Í"À̶ó°í ºÐ¼®Çß´Ù.

SKÇÏÀ̴нº ÀÇÁ¸µµ°¡ ³ô¾Ò´ø ¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö´Â Áö³­ÇØ ¸»ºÎÅÍ »ï¼ºÀüÀÚ¸¦ ½Å±Ô °í°´»ç·Î ²ø¾îµé¿´´Ù. Áö³­ÇØ 10¿ù°ú 11¿ù °¢°¢ 21¾ï¿ø, 80¾ï¿ø ±Ô¸ðÀÇÀåºñ¸¦ »ï¼ºÀüÀÚ¿¡ °ø±ÞÇÏ´Â °è¾àÀ» ü°áÇß´Ù. ¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö´Â 2022³â Àü°øÁ¤¿ë ¿À¹ö·¹ÀÌ Àåºñ µÎ ´ë¸¦ »ï¼ºÀüÀÚ¿¡ °ø±ÞÇÏ¸ç ½Å±Ô °Å·¡ ¹°²¿¸¦ ÅÕ´Ù. ÆÐÅ°Áö¿ë Àåºñ ½Å±Ô °ø±Þ °è¾àÀ» ü°áÇϸ鼭 ¾ÕÀ¸·Î ¾ç»ç °£ °Å·¡°¡ ´Ã °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.

¿ÀÇöÁø Å°¿òÁõ±Ç ¿¬±¸¿øÀº "ÃÖ±Ù HBM °øÁ¤ ÅõÀÚ È®´ë µîÀ¸·Î ÷´Ü ÆÐŰ¡ ±â¼úÀÌ Áß¿äÇØÁö¸é¼­ ÈÄ°øÁ¤ ³» ¿À¹ö·¹ÀÌ Àåºñ µµÀÔÀÌ ºü¸£°Ô Áõ°¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù"¸ç "¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö´Â ÆÐŰ¡ ¿À¹ö·¹ÀÌ Àåºñ ¡®OL-900nw¡¯ ¿Ü¿¡ ÃÖ±Ù ÁÖ¿ä °í°´»ç ´ë»óÀ¸·Î ¿þÀÌÆÛ ÈÚ Çö»ó µîÀ» °Ë»çÇÏ´Â ¡®WaPIS-30¡¯ ¼öÁÖ¸¦ ÁøÇàÇϸ鼭 ÈÄ°øÁ¤ Àåºñ ¶óÀξ÷À» È®´ëÇÏ°í ÀÖ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.


 

¹ÝµµÃ¼ °èÃø Àåºñ Àü¹®¾÷ü ¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö°¡ ºÒȲ ¼Ó¿¡¼­ Áö³­ÇØ ¿¬°£ ¸ÅÃâ »ç»ó ÃÖ´ëÄ¡¸¦ °ÅµÐ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ. ¿ÃÇØ´Â Áַ»ç¾÷ÀÎ ¿À¹ö·¹ÀÌ(Overlay) °èÃø Àåºñ¿¡¼­ ½ÅÁ¦Ç° ÆǸŠºñÁßÀ» ´Ã¸®´Â ÇÑÆí, ±âÁ¸ Àü°øÁ¤ Á¦Ç° À§ÁÖ¿¡¼­ ÈÄ°øÁ¤ ¿µ¿ªÀ¸·Î ¿ª·®À» È®´ëÇØ ¸ÅÃâ ´Ùº¯È­¸¦ ³ë¸®¸ç ²ÒÇÑ´Ù.

1¿ù16ÀÏ ±ÝÀ¶Á¤º¸¾÷ü ¿¡ÇÁ¾Ø°¡À̵忡 µû¸£¸é ¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö Áö³­ÇØ ¸ÅÃâÀº Àü³â(354¾ï¿ø) ´ëºñ 20.6% Áõ°¡ÇÑ 427¾ï¿øÀ¸·Î, »ç»ó ÃÖ´ëÄ¡¸¦ ±â·ÏÇÒ °ÍÀ¸·Î ÃßÁ¤µÈ´Ù. ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 9¾ï¿øÀ¸·Î 33¾ï¿ø ÀûÀÚ¸¦ ±â·ÏÇÑ Àü³â°ú ºñ±³ÇØ ÈæÀÚÀüȯ¿¡µµ ¼º°øÇÒ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ. ¿ÃÇØ´Â ¸ÅÃâ 637¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 95¾ï¿øÀ¸·Î Àü³â ´ëºñ °¢°¢ 49.2%, 955%°¡·® ´õ ¼ºÀåÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.

¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö´Â ¿À¹ö·¹ÀÌ °èÃø ±â¼ú¿¡¼­ ±¹³» ÃÖÃÊ·Î Àåºñ ±¹»êÈ­¿¡ ¼º°øÇÑ ¾÷ü´Ù. SKÇÏÀ̴нº ¸ÅÃâ ºñÁßÀÌ ³ôÀº ÆíÀ̸ç, ÃÖ±Ù »ï¼ºÀüÀÚ¿¡µµ Àåºñ¸¦ °ø±ÞÇß´Ù. YMTC, CXMT µî Áß±¹ÀÇ ÁÖ¿ä ¸Þ¸ð¸® È¸»çµéÀ» °Å·¡¼±À¸·Î È®º¸Çϸç ÇØ¿Ü ¸ÅÃâ ºñÁßµµ Áö¼ÓÇؼ­ ´Ã¸®´Â Ãß¼¼´Ù.

¿À¹ö·¹ÀÌ °èÃø Àåºñ´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤»ó ȸ·Î ÆÐÅÏÀÌ ¼ö¾øÀÌ ÀûÃþÇÏ´Â °úÁ¤¿¡¼­ ÇϺΠÆÐÅÏ°ú »óºÎ ÆÐÅÏ °£ÀÇ Á¤·Ä »óŸ¦ Á¤¹ÐÇÏ°Ô °èÃøÇÏ´Â Àåºñ·Î, 12ÀÎÄ¡ ¿þÀÌÆÛ Ç¥ÁØÈ­ ÀÌÈÄ D·¥ÀÇ ¹Ì¼¼È­ ¹× ³½µåÇ÷¡½ÃÀÇ °íÃþÈ­ Ãß¼¼°¡ Áö¼ÓµÇ¸é¼­ ±â¼ú ³­À̵µ°¡ ±Þ°ÝÈ÷ ³ô¾ÆÁö´Â Ãß¼¼´Ù. 

¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö´Â ±âÁ¸ 8ÀÎÄ¡¿¡¼­ 12ÀÎÄ¡ Á¦Ç°À¸·Î Àåºñ ¶óÀξ÷À» ÀüȯÇØ ¼ö¿ä¿¡ ´ëÀÀÇß´Ù. Áö³­ÇØ 3ºÐ±â ±âÁØ È¸»çÀÇ OL-12ÀÎÄ¡ Àåºñ ¸ÅÃâ ºñÁßÀº Àüü ¸ÅÃâ ´ëºñ 80.1%¿¡ ´ÞÇÑ´Ù.

10³ª³ë±Þ  4¼¼´ë(1a) ÀÌÇÏ D·¥°ú 128´Ü ÀÌ»ó ³½µå µî ÃÖ¼±´Ü °øÁ¤¿¡ ÅõÀÔ °¡´ÉÇÑ °èÃø Àåºñµµ °³¹ßÇß´Ù. ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ Àü°øÁ¤¿¡ ÅõÀԵǴ ½Å±Ô ¿À¹ö·¹ÀÌ °èÃø Àåºñ 'OL-1000n'¸¦ Ãâ½ÃÇÏ°í, ¿ÃÇØ ÆǸŸ¦ º»°ÝÈ­ÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ½ÅÁ¦Ç°Àº ÀüÀÛÀÎ OL-900n ´ëºñ¼Óµµ¿Í Á¤È®¼º, ½º·çDz(throughput, ó¸®À²) µî ¼º´ÉÀ» °³¼±Çß´Ù.

¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö °ü°èÀÚ´Â "³ëµå(¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ ±¸¼ºÇÏ´Â Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ ¼±Æø)°¡ °è¼Ó ÀÛ¾ÆÁö´Â Ãß¼¼¿¡¼­ °èÃø Àåºñ°¡ ¾ó¸¶³ª ¹Ì¼¼ÇÑ ³ª³ë ´ÜÀ§±îÁö ÃøÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´ÂÁö ±â¼úÀÌ °è¼Ó Áøº¸ÇÑ´Ù°í º¸¸é µÉ °Í"À̶ó¸ç "ÀÌ·± Ãß¼¼¿¡ ¸Â°Ô Àåºñ °³¹ßÀ» Áö¼ÓÇÏ¸ç ½ÅÁ¦Ç°À» ¼±º¸ÀÌ°í ÀÖ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.

½ÃÀåÁ¶»ç¾÷ü ±Û·Î¹úÀÎÆ÷¸ÞÀ̼ǿ¡ µû¸£¸é ¹ÝµµÃ¼ °èÃø ¹× °Ë»ç Àåºñ ½ÃÀå ±Ô¸ð´Â Áö³­ÇØ 99¾ï5000¸¸´Þ·¯(¾à 13Á¶ 2255¾ï¿ø)¿¡¼­ 5.2%ÀÇ ¿¬Æò±Õ¼ºÀå·ü(CAGR)À» ±â·ÏÇØ 2028³â 128¾ï2000¸¸´Þ·¯(¾à 17Á¶403¾ï¿ø)±îÁö ¼ºÀåÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù. ÀÌÁß ¿À¹ö·¹ÀÌ °èÃø Àåºñ ½ÃÀåÀº ¹Ì±¹ KLA¿Í ³×´ú¶õµå ASMLÀÌ °¢°¢ 65%, 30% Á¡À¯À²·Î ¼øÀ§±ÇÀ» µ¶Â÷ÁöÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö´Â 5% ¼öÁØ¿¡ ¸Ó¹°·¶´Ù.

¹ÝµµÃ¼¾÷°è °ü°èÀÚ´Â "¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁöÀÇ ±Û·Î¹ú ½ÃÀå Á¡À¯À² ÃßÁ¤Ä¡´Â ³·Àº ÆíÀÌÁö¸¸, °èÃø Àåºñ ½ÃÀå ±Ô¸ð ÀÚü°¡ Ä¿Áö°í ÀÖ¾î ȸ»ç ¸ÅÃâÀÌ ´Ã°í ÀÖ´Â »óȲ"À̶ó¸ç, "±¹³»¿¡´Â ´çÃÊ °èÃø »ç¾÷À» ÇÏ´Â ¾÷ü°¡ ¿ª»çÀûÀ¸·Î ¾ø¾ú´Âµ¥ ¹Ì±¹ÀÇ KLA, ¿ÂÅõÀ̳뺣ÀÌ¼Ç µî ±Û·Î¹ú °èÃø Àåºñ Àü¹®±â¾÷ Ãâ½Å ¿¬±¸°³¹ß(R&D) ÀηµéÀÌ Àåºñ¸¦ °³¹ßÇÒ ¼ö Àִ ȸ»ç¸¦ ¼³¸³ÇÏ°Ô µÈ °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.

Áõ±Ç¾÷°è´Â ¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö°¡ ½Å±Ô Àåºñ ÆǸŸ¦ Áß½ÉÀ¸·Î ±¹³» ¹× Áß±¹ ¸ÅÃâ ¼ºÀåÀ» ´Ã¸± °ÍÀ¸·Î ³»´ÙºÃ´Ù.

¾öÅ¿õ ºÎ±¹Áõ±Ç ¿¬±¸¿øÀº "¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö´Â 2024³â ¼³ºñÅõÀÚ °³¼±¿¡ µû¶ó ºü¸¥ ½ÇÀû ¼ºÀåÀÌ ¿¹»óµÈ´Ù"¶ó¸ç "ÇöÀç ÁÖ·Â Àåºñ(OL-900n)ÀÇ ´ÙÀ½ ¹öÀüÀÎ ½ÅÁ¦Ç°(OL-1000n) ¿À¹ö·¹ÀÌ Àåºñ ºñÁß È®´ë¿¡ µû¸¥ ¸ÅÃâ ¼ºÀåÀÌ Àü¸ÁµÇ¸ç ÇϹݱâ·Î °¥¼ö·Ï ±¹³» ÁÖ¿ä °í°´»çÇâ Àåºñ ¸ÅÃâÀÌ È®´ëµÇ°í Áö³­ÇØ 50% ÀÌ»óÀÇ ¸ÅÃâ ºñÁßÀ» ±â·ÏÇÑ Áß±¹ °í°´»çÇâ ¸ÅÃâ ¼ºÀå ¿ª½Ã ¿ÃÇØ Áö¼ÓµÉ Àü¸Á"À̶ó°í ºÐ¼®Çß´Ù.

¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö´Â Àü°øÁ¤¿¡ Àû¿ëµÇ´Â ¿À¹ö·¹ÀÌ °èÃø Àåºñ ¿Ü¿¡µµ ÆÐŰ¡ ¿À¹ö·¹ÀÌ Àåºñ µî ÈÄ°øÁ¤ Àåºñ ¶óÀξ÷À» È®´ëÇÏ°í ÀÖ´Ù. 2025³â ¸ÅÃ⠹߻ýÀ» ¸ñÇ¥·Î ³ë±¤, ½Ä°¢, ÁõÂø µî ´Ù¾çÇÑ °øÁ¤¿¡¼­ »ç¿ëµÇ´Â ¹Ú¸· °èÃø Àåºñ R&Dµµ ÁøÇà ÁßÀÌ´Ù.¿ÀÇöÁø Å°¿òÁõ±Ç ¿¬±¸¿øÀº "ÃÖ±Ù °í´ë¿ªÆø¸Þ¸ð¸®(HBM) °øÁ¤ ÅõÀÚ È®´ë µîÀ¸·Î ÷´Ü ÆÐŰ¡ ±â¼úÀÌ Áß¿äÇØÁö¸é¼­ ÈÄ°øÁ¤ ³» ¿À¹ö·¹ÀÌ Àåºñ µµÀÔÀÌ ºü¸£°Ô Áõ°¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù"¶ó¸ç, "¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö´Â ÆÐŰ¡ ¿À¹ö·¹ÀÌ Àåºñ 'OL-900nw' ¿Ü¿¡ ÃÖ±Ù ÁÖ¿ä °í°´»ç ´ë»óÀ¸·Î ¿þÀÌÆÛ ÈÚ Çö»ó µîÀ» °Ë»çÇÏ´Â 'WaPIS-30' ¼öÁÖµµ ÁøÇàÇÏ°í ÀÖ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.



Å°¿òÁõ±ÇÀº ÀÛ³â 12¿ù15ÀÏ ¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁöÀÇ °èÃø Àåºñ ±â¼ú·Â¿¡ ÁÖ¸ñÇØ¾ß ÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù.¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö´Â ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ(Wafer)ÀÇ MI(Overlay Metrology, Inspection) Àåºñ Á¦Á¶¸¦ ÁÖ·Â »ç¾÷À¸·Î ¿µÀ§ÇÏ°í ÀÖ´Ù.

2011³â ±¹³» ÃÖÃÊ·Î ¿À¹ö·¹ÀÌ(Overlay) °èÃø Àåºñ ±¹»êÈ­¿¡ ¼º°øÇÏ¸ç ±Û·Î¹ú ±â¾÷ÀÌ µ¶Á¡ÇØ¿Â ½ÃÀå ³» Á¡À¯À² ²ÙÁØÈ÷ ³ô¿© ¿Â °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ. Overlay °èÃø Àåºñ´Â ÁÖ·Î ³ë±¤ °øÁ¤ Áß È¸·ÎÆÐÅÏ Çü¼º¡¤ÀûÃþ °úÁ¤¿¡¼­ ¼öÁ÷ ÀûÃþ¿¡ ´ëÇÑ Á¤·Äµµ¿Í ¿ÀÁ¤·ÄÀ» Á¦¾îÇÏ´Â ¿ªÇÒÀ» ¼öÇàÇÑ´Ù.¿ÀÇöÁø Å°¿òÁõ±Ç ¿¬±¸¿øÀº "Áß±¹ ½ÃÀå ³» Overlay °èÃø ÀåºñÀÇ Á¦ÇÑµÈ °ø±Þ ¾÷ü¸¦ °¨¾ÈÇϸé ÁßÈ­±Ç ¾÷üµéÀÇ ¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö¿¡ °üÇÑ ÀÇÁ¸µµ´Â ³ô¾ÆÁú °Í"À̶ó¸ç "±âÁ¸ ³³Ç° ÀÌ·ÂÀÌ ÀÖ´Â CXMT, JHICCÀÇ ÈÄ¼Ó ¼öÁÖ¡¤½Å±Ô °í°´»ç È®º¸¸¦ ÅëÇÑ Ãß°¡ ¼öÁÖ¸¦ ±â´ëÇÑ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.Overlay Àåºñ´Â ¹Ì¼¼ÇÑ Overlay ¿¡·¯ °èÃø¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Ư¼º¿¡ µû¶ó ¿©Å±îÁö Á¦ÇÑµÈ ½ÃÀå Âü¿©ÀÚ(KLA, ASML µî) Áß½ÉÀ¸·Î ÁÖ·Î ³ë±¤ °øÁ¤¿¡ Àû¿ëµÆ´Ù.´Ù¸¸, ÃÖ±Ù HBM(High Bandwidth Memory) °øÁ¤ ÅõÀÚ È®´ë µîÀ¸·Î ÷´Ü ÆÐŰ¡ ±â¼úÀÌ Áß¿äÇØÁö¸é¼­ ÈÄ°øÁ¤ ³» Overlay Àåºñ µµÀÔÀÌ ºü¸£°Ô Áõ°¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù.¿À ¿¬±¸¿øÀº "±Û·Î¹ú Àåºñ ȸ»ç ¿ÂÅä À̺¸º£À̼Ç(Onto Innovation), Ä·ÅØ(Camtek) µîÀ» Áß½ÉÀ¸·Î ÃÖ±Ù ÈÄ°øÁ¤ °èÃø Àåºñ ¼öÁÖ°¡ Áõ°¡ÇÏ°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ÆľǵȴÙ"¸ç "¿À·Î½ºÅ×Å©³î·ÎÁö´Â ÆÐŰ¡ ¿À¹ö·¹ÀÌ Àåºñ 'OL-900nw' ¿Ü¿¡ ÃÖ±Ù ÁÖ¿ä °í°´»ç ´ë»óÀ¸·Î ¿þÀÌÆÛ ÈÚÇö»ó µîÀ» °Ë»çÇÏ´Â 'WaPIS-30' ¼öÁÖ¸¦ ÁøÇàÇϸ鼭 ÈÄ°øÁ¤ Àåºñ ¶óÀξ÷À» È®´ëÇß´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.À̾î "½Å±Ô Àåºñ °³¹ßÀ» ÅëÇÑ ÁßÀå±â ¼ºÀ强µµ ¿©ÀüÈ÷ À¯È¿ÇÏ´Ù"¸ç "¿¬±¸°³¹ßÀÌ ÁøÇà ÁßÀÎ ¹Ú¸·(Thin Film) °èÃøÀåºñ´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤¿¡ ÁõÂøµÇ´Â ¹Ú¸·ÀÇ µÎ²²¸¦ Angstrom(¿øÀÚÀÇ ¼ö½ÊºÐÀÇ ÀÏ) ´ÜÀ§±îÁö ÃøÁ¤ÇÏ´Â ÃÊÁ¤¹Ð °èÃø Àåºñ"¶ó°í °­Á¶Çß´Ù.¹Ú¸· °èÃøÀåºñ´Â ÁõÂø °øÁ¤ »Ó ¾Æ´Ï¶ó, ½Ä°¢, ¼¼Á¤ µî ´Ù¾çÇÑ °øÁ¤¿¡ ´ëÀÀÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.¿ÀÇöÁø ¿¬±¸¿øÀº "¹Ú¸· °èÃøÀåºñ´Â Overlay ´ëºñ Å« ½ÃÀåÀ» Çü¼ºÇÑ °ÍÀ¸·Î ÃßÁ¤µÈ´Ù"¸ç "2024³â °í°´»ç Ä÷ Å×½ºÆ®¸¦ ÅëÇØ 2025³â º»°ÝÀûÀÎ ¸ÅÃ⠹߻ýÀ» ¸ñÇ¥·Î ÇÏ°í ÀÖ´Ù"°í ÀüÇß´Ù.



¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ Àü°øÁ¤ Áß ³ë±¤°øÁ¤ ÀåºñÀÎ ¹ÝµµÃ¼ WaferÀÇ MI(Overlay Metrology, Inspection) Àåºñ Á¦Á¶¸¦ ÁÖ·Â »ç¾÷À¸·Î ¿µÀ§ÇÏ´Â ¾÷ü. ÁÖ·ÂÀ¸·Î °³¹ßÇÏ°í ÀÖ´Â Overlay °èÃø Àåºñ¶õ, ¹ÝµµÃ¼ Àü°øÁ¤»ó ¼³°èµÈ PatternÀ» ³ë±¤±â¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© Wafer»ó¿¡ Çü¼ºÇÏ´Â ³ë±¤(Photo Lithography)°øÁ¤¿¡¼­ ³ë±¤ °øÁ¤ÀÇ ¼º´É¿¡ ¿µÇâÀ» ÁÖ´Â ÁÖµÈ ¿ä¼Ò Áß ÇϳªÀÎ ¼öÁ÷Á¤·Äµµ¸¦ Á¦¾îÇϱâ À§ÇÑ °èÃøÀåºñÀÓ. ÃÖ´ëÁÖÁÖ´Â ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ ¿Ü(53.27%). 


2022³â ¿¬°á±âÁØ ¸ÅÃâ¾×Àº 353.99¾ïÀ¸·Î Àü³â´ëºñ 10.45% °¨¼Ò. ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 32.92¾ï ÀûÀÚ·Î 19.37¾ï¿¡¼­ ÀûÀÚÀüȯ. ´ç±â¼øÀÌÀÍÀº 29.78¾ï ÀûÀÚ·Î 17.97¾ï¿¡¼­ ÀûÀÚÀüȯ. 


2022³â 9¿ù30ÀÏ 9150¿ø¿¡¼­ ¹Ù´ÚÀ» ÂïÀº ÈÄ ÀÛ³â 7¿ù5ÀÏ 30000¿ø¿¡¼­ °íÁ¡À» Âï°í ¹Ð·ÈÀ¸³ª 10¿ù31ÀÏ 16100¿ø¿¡¼­ ÀúÁ¡À» ÂïÀº ¸ð½ÀÀÔ´Ï´Ù. ÀÌÈÄ µî¶ôÀ» º¸ÀÌ´Â °¡¿îµ¥ Á¡Â÷ ÀúÁ¡°ú °íÁ¡À» ³ôÇô¿À´Â ¸ð½À¿¡¼­ ¿Ã 2¿ù27ÀÏ 40750¿ø¿¡¼­ °íÁ¡À» Âï°í ¹Ð·ÈÀ¸³ª 4¿ù23ÀÏ 27000¿ø¿¡¼­ ÀúÁ¡À» Âï°í 26ÀÏ 28800¿ø¿¡¼­ ¹Ð¸®´Â ÁßÀ¸·Î, ÀÌÁ¦ºÎÅÏ ¹Ð¸±¶§¸¶´Ù ¹°·® ¸ð¾ÆµÑ ±âȸ·Î º¼ ¼ö ÀÖ°Ú½À´Ï´Ù.


¼ÕÀýÁ¡Àº 26150¿øÀ¸·Î º¸½Ã°í ÃÖ´ëÇÑ ÀúÁ¡À» ³ë¸®½Ã¸é µÇ°Ú½À´Ï´Ù. 27200¿ø ÀüÈÄ¸é ¹«³­ÇØ º¸ÀÌ¸ç ºÐÇҸżöµµ °í·ÁÇØ º¼¼ö ÀÖ°Ú½À´Ï´Ù.¸ñÇ¥°¡´Â 1Â÷·Î 30000¿ø ºÎ±Ù¿¡¼­ Çѹø Â÷ÀͽÇÇöÀ» °í·ÁÇØ º¸½Ã°í ÀÌÈÄ ´­¸±½Ã ÁöÁöµÇ´Â ÀúÁ¡¿¡¼­ Àç°ø·« ÇÏ½Ã¸é µÇ°Ú½À´Ï´Ù. 2Â÷´Â 33000¿ø ÀÌ»óÀ» ±â´ë ÇÕ´Ï´Ù.


°¨»çÇÕ´Ï´Ù.

¸ñ·Ï À­±Û ¾Æ·¡±Û
À­±Û
ÈÞÁ©(145020)ÀúÁ¡À» ÁÙ¶§¸¶´Ù ¹°·® ¸ð¾ÆµÑ ±âȸ·Î º¸À̸ç ÀÌÈÄ Àü¸Á ¹× ´ëÀÀÀü·«.
¾Æ·§±Û
±â°¡ºñ½º(420770)ÀúÁ¡À» ÁÙ¶§¸¶´Ù ¹°·® ¸ð¾ÆµÑ ±âȸ·Î º¸À̸ç ÀÌÈÄ Àü¸Á ¹× ´ëÀÀÀü·«.