¹ÝµµÃ¼ Ư¼ö°¡½º Àü¹®±â¾÷ ƼÀÌ¿¥¾¾(425040)°¡ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¾ç´ë ÃàÀÎ »ï¼ºÀüÀÚ¿Í SKÇÏÀ̴нº¿¡ ¸®»çÀÌŬ¸µ(ÀçÈ°¿ë) ³×¿Â(Ne)°¡½º¸¦ °ø±ÞÇÏ´Â º»°è¾àÀ» ÀÕ´Þ¾Æ Ã¼°áÇÑ °ÍÀ¸·Î È®ÀεƴÙ. ±×°£ ƼÀÌ¿¥¾¾´Â ¾ç»ç¿Í ÇÔ²² ³×¿Â°¡½º ÀçÈ°¿ë ±â¼úÀ» °øµ¿ °³¹ßÇÏ°í ÆÄÀÏ·µ Å×½ºÆ® ´Ü°è±îÁö ÁøÇàÇØ ¿Ô´Ù. ÇØ´ç °úÁ¤µéÀ» ÅëÇØ °³¹ßÇÑ ÀçÈ°¿ë ³×¿Â°¡½º ÀÚü¸¦ ±¹³» ÃÖ¼±´Ü ¹ÝµµÃ¼ ´ë·® ¾ç»ê ÆÕ(Fab)¿¡ Àü°Ý ÅõÀÔÇÏ´Â °ÍÀº À̹øÀÌ Ã³À½ÀÌ´Ù. 

9¿ù21ÀÏ ÇÑ ÅõÀÚÀºÇà (IB) ¾÷°è °ü°èÀÚ´Â "ƼÀÌ¿¥¾¾´Â ¿ÃÇØ 2ºÐ±â »ï¼ºÀüÀÚ, SKÇÏÀ̴нº¿Í °¢°¢ ÀçÈ°¿ë ³×¿Â°¡½º Àå±â °ø±Þ °è¾àÀ» È®Á¤ Áö¾úÀ¸¸ç, ÇöÀç ¼¼ºÎ Àû¿ë ¶óÀΰú ³³Ç° ÀÏÁ¤À» Á¶À² Áß"À̶ó¸ç "À̹ø °è¾àÀº ¾ç»ç¿ÍÀÇ ±â¼ú Çù·ÂÀ» ÅëÇØ °ËÁõÇÑ °í¼øµµ Á¤Á¦ ¼öÀ²°ú °ø±Þ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» °ø½Ä ÀÎÁ¤¹Þ¾Æ ¼º»çµÈ °Í"À̶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.ƼÀÌ¿¥¾¾ ÃøÀº "°í°´»ç¿Í °ü·ÃÇÑ »ç¾ÈÀº ºñ¹ÐÀ¯Áö°è¾à(NDA) µîÀ¸·Î ÀÎÇØ ÀÚ¼¼ÇÏ°Ô ¾ð±ÞÇϱâ Èûµé´Ù"¸é¼­µµ "ÇâÈÄ °í°´»çµéÀÌ °í°¡ÀÇ Æ¯¼ö°¡½ºµéÀ» ´ëüÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀçÈ°¿ë Ư¼ö°¡½º µµÀÔÀ» Á¡Á¡ È®´ëÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇ´Â ¸¸Å­, ´õ¿í µ·µ¶ÇÑ °ü°è¸¦ À¯ÁöÇÏ´Â ¸Å°³Ã¼°¡ µÉ °Í"À̶ó°í ´äÇß´Ù.À̾î "³×¿Â°¡½º ¿Ü¿¡µµ ¶Ç ´Ù¸¥ ÀçÈ°¿ë Ư¼ö°¡½º¸¦ °ø±ÞÇÏ°Ô µÉ °æ¿ì, ±âÁ¸ ¾Ó»ê ÆÕ¿¡ Àû¿ëµÈ ½Ã¼³°ú À¯Åë¸Á ·¹ÆÛ·±½º µîÀ» ÅëÇØ Å« ÅõÀÚ ºñ¿ë ¾øÀ̽ÃÀåÀ» ¼±Á¡ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °Í"À̶ó°í µ¡ºÙ¿´´Ù.  

³×¿ÂÀº ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡¼­ ¿¢½Ã¸Ó ·¹ÀÌÀú(Excimer Laser)ÀÇ ÇÙ½É ±¸¼º °¡½º·Î »ç¿ëµÈ´Ù. ¿þÀÌÆÛ À§¿¡ ¹Ì¼¼È¸·Î¸¦ Çü¼ºÇÏ´Â ³ë±¤ °øÁ¤ÀÇ ¾ÈÁ¤¼º°ú Á¤¹Ðµµ¸¦ À¯ÁöÇÏ´Â ¿ªÇÒÀ» ¼öÇàÇÑ´Ù. ´ë±â Áß ³óµµ°¡ 0.0018%¿¡ ºÒ°úÇØ ´ëÇü Á¦Ã¶¼ÒÀÇ °ø±âºÐ¸®ÀåÄ¡(ASU) ºÎ»ê¹°·Î¸¸ ±Ø¼Ò·® ÃßÃâµÈ´Ù. ÀÌ °øÁ¤Àº ´ëü°¡ ¾î·Æ°í, ³×¿Â °ø±ÞÀÌ ºÒ¾ÈÁ¤ÇØÁú °æ¿ì ºñ¿ë »ó½ÂÀÌ ¾Æ´Ï¶ó »ý»ê °øÁ¤ ÀÚüÀÇ Áß´ÜÀ¸·Î À̾îÁú ¼ö ÀÖ´Ù´Â Á¡ µîÀ¸·Î ÀÎÇØ ³×¿ÂÀº ÀÏ¹Ý ¿øÀÚÀç¿Í ´Ù¸¥ Àü·«Àû ¼º°ÝÀ» °¡Áø´Ù. ´Ü¼øÈ÷ '»ç¿ëµÇ´Â °¡½º'°¡ ¾Æ´Ï¶ó, '°øÁ¤ÀÌ ÀÛµ¿Çϱâ À§ÇÑ Á¶°ÇÀ» ±¸¼ºÇÏ´Â ¹°Áú'ÀÎ °ÍÀÌ´Ù.

ƯÈ÷ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ÀÌ 10³ª³ë¹ÌÅÍ(nm) ÀÌÇÏ Ã·´Ü D·¥ ¹× 300´Ü ÀÌ»óÀÇ °í´ÜÈ­ ³½µåÇ÷¡½Ã·Î ÁøÈ­ÇÏ°í, °í´ë¿ªÆø¸Þ¸ð¸®(HBM) »ý»êÀÌ ±ÞÁõÇϸ鼭 ¸ÖƼ ÆÐÅʹ׿¡ µû¸¥ ³ë±¤ ½ºÅÜ ¼ö°¡ ´Ã¾î ³×¿Â ¼Ò¸ð·® ¿ª½Ã ±¸Á¶ÀûÀÎ Áõ°¡¼¼¸¦ º¸ÀÌ°í ÀÖ´Ù.´õ¿íÀÌ ³×¿ÂÀº ·¹ÀÌÀú ¹ßÁø ½Ã ¹°¸®Àû Ãæµ¹¸¸ ÀÏÀ¸Å³ »Ó È­ÇÐÀûÀ¸·Î ºÐÇصǰųª ¼ºÁúÀÌ º¯ÇÏÁö ¾Ê´Â ºñÈ°¼º ±âü´Ù. ÀÌ·ÐÀûÀ¸·Î Àç»ç¿ë ÀáÀç·ÂÀÌ ¹«ÇÑÇÔ¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í, ¹èÃâ °¡½º ³» ¹Ì¼¼ ºÒ¼ø¹°À» Á¦¾îÇÏ°í ±ØÀú¿Â »óÅ¿¡¼­ ³×¿Â¸¸ ¼ø¼ö ºÐ¸®ÇØ ³»´Â ±â¼úÀû ³­µµ ¶§¹®¿¡ ±×µ¿¾È ³ë±¤ °øÁ¤ ÈÄ Àü·® ´ë±â·Î ¹æÃâµÅ ¿Ô´Ù.

ƼÀÌ¿¥¾¾´Â ³×¿Â°¡½º ¿ÏÀü ±¹»êÈ­ ±â¼úÀ» ¼±Á¦ È®º¸ÇÑ ¿ª·®À» ¹ÙÅÁÀ¸·Î, ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»çµé°ú ÇÔ²² ½ºÅ©·¯¹ö(Scrubber) ÈÄ´Ü¿¡¼­ ¹èÃâµÇ´Â Æó°¡½º¸¦ Æ÷Áý¡¤Á¤Á¦ÇÏ´Â ½Ã½ºÅÛÀ» °³¹ßÇØ ¿Ô´Ù.³ë±¤ °øÁ¤ ÈÄ ¹èÃâµÇ´Â Àú¼øµµ È¥ÇÕ °¡½º¸¦ ¼öÁý ÅÊÅ©¿¡ Æ÷ÁýÇÑ µÚ, ƼÀÌ¿¥¾¾ÀÇ µ¶ÀÚÀûÀÎ ±ØÀú¿Â ¹Ì¼¼ ºÐ¸® ¹× ºÒ¼ø¹° Á¦°Å °øÁ¤À» °ÅÃÄ ½Å±Ô °¡½º(Virgin Gas)¿Í µ¿µîÇÑ ¼øµµ 99.999%(5N)ÀÇ ¹ÝµµÃ¼¿ë ³×¿ÂÀ¸·Î Àçź»ý½ÃÅ°´Â ÇÁ·Î¼¼½º´Ù.°øµ¿ °³¹ß °úÁ¤¿¡¼­ ¹èÃâ·®, Æ÷Áý·®, Á¤Á¦ ¼öÀ²À» Á¾ÇÕÇÑ ÃÖÁ¾ ³×¿Â ȸ¼öÀ²Àº ¾ç»ê ±âÁØÄ¡ÀÎ 70%´ë¸¦ »óȸÇÏ´Â 72.7%¸¦ ±â·ÏÇßÀ¸¸ç, ÇâÈÄ °øÁ¤ ÃÖÀûÈ­¸¦ ÅëÇØ 77% ÀÌ»ó±îÁö ²ø¾î¿Ã¸®´Â °ÍÀ¸·Î °ËÁõÀ» ¸¶ÃÆ´Ù. ´ë·® ¾ç»ê ÆÕ¿¡ Áï½Ã Àû¿ë °¡´ÉÇÑ Ã¤»ê¼º°ú °øÁ¤ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» µ¿½Ã¿¡ ÀÔÁõÇÑ °ÍÀÌ´Ù.

¾÷°è¿¡¼­´Â À̹ø ƼÀÌ¿¥¾¾ÀÇ ´ë±Ô¸ð ¾ç»ê °ø±Þ °è¾àÀ» ±âÁ¡À¸·Î ¹ÝµµÃ¼ ÆÕÀÌ 'ÀÚ¿ø ¼øȯÇü ¿¡ÄÚ ÆÕ(Eco Fab)'À¸·Î ÀüȯµÇ´Â ¼Óµµ°¡ ÇÑÃþ °¡¼ÓÈ­µÉ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇÏ°í ÀÖ´Ù.ƯÈ÷ ÆÕ ³»ºÎ Æ÷Áý ÀåÄ¡¿Í ¿ÜºÎ Á¤Á¦ Ç÷£Æ®¸¦ ÀÕ´Â ³×¿Â ¼øȯ »ýÅ°èÀÇ ¼º°øÀûÀÎ ±¸ÃàÀº °í°¡ÀÇ Å¸ Èñ±Í°¡½º·Î È®»êµÉ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼úÀû ±³µÎº¸¸¦ ¸¶·ÃÇß´Ù´Â Æò°¡¸¦ ¹Þ´Â´Ù.¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ¾÷°è °ü°èÀÚ´Â "À̹ø °ø±Þ °è¾àÀº ´Ü¼øÇÑ ¿øÀÚÀç Àý°¨À» ³Ñ¾î ±Û·Î¹ú ESG ±ÔÁ¦¿¡ ¸Â¼± ¹ÝµµÃ¼ ¹ë·ùüÀÎÀÇ Àü·«Àû ÀüȯÁ¡"À̶ó¸ç "³×¿ÂÀ» ÅëÇØ °ËÁõµÈ Æ÷Áý¡¤Á¤Á¦ ÀÎÇÁ¶ó´Â ÇâÈÄ ½Ä°¢(Etching) °øÁ¤¿¡ ÇʼöÀûÀ¸·Î ¾²ÀÌ´Â °í°¡ Èñ±Í°¡½ºÀÎ Á¦³í(Xe), Å©¸³Åæ(Kr) ¹× Áß¼ö¼Ò(D2) ÀçÈ°¿ë °øÁ¤À¸·Î ºü¸£°Ô È®´ë Àû¿ëµÉ °Í"À̶ó°í °­Á¶Çß´Ù.

¿Ã »ó¹Ý±â ¿¬°á±âÁØ ¸ÅÃâ¾×Àº 1359.76¾ïÀ¸·Î Àü³âµ¿±â´ëºñ 2.43% °¨¼Ò. ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 60.00¾ïÀ¸·Î 56.03% °¨¼Ò. ´ç±â¼øÀÌÀÍÀº 73.94¾ïÀ¸·Î 19.43% Áõ°¡. 

6¿ù11ÀÏ ±ÝÀ¶°¨µ¶¿ø ÀüÀÚ°ø½Ã¿¡ µû¸£¸é À¯¿ø¾ç ´ëÇ¥ÀÌ»çÀÇ Æ¼ÀÌ¿¥¾¾ ÁÖ½Ä 3¸¸ÁÖ°¡  ´Ã¾ú´Ù°í °ø½ÃÇß´Ù.¾Õ¼­ Áö³­ 2026³â 3¿ù 3ÀÏ ¹ßÇ¥ÇÑ Á÷Àüº¸°í¼­¿¡¼­´Â  Áֽļö 515¸¸6186ÁÖ,  Áֽļö ºñÀ² 24.17% ¿´´Ù.ÀÌ¿¡ µû¶ó À¯¿ø¾ç ´ëÇ¥ÀÌ»çÀÇ Áֽļö´Â 518¸¸6186ÁÖ,  Áֽļö ºñÀ²Àº 23.66%·Î 0.51%p º¯µ¿Çß´Ù.

ÄÚ½º´Ú »óÀå»ç ƼÀÌ¿¥¾¾[425040]´Â ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ¹× ºÎÇ° Á¦Á¶°¡°ø, ÆǸŠ¾÷ü ¿¡ÀÌÅؼַç¼ÇÀÇ ÁÖ½Ä 310¸¸6õ824ÁÖ¸¦ 350¾ï¿ø¿¡ ÃëµæÇÑ´Ù°í 5¿ù22ÀÏ °ø½ÃÇß´Ù. ÁÖ½Ä Ãëµæ µÚ ƼÀÌ¿¥¾¾ÀÇ ¿¡ÀÌÅؼַç¼Ç ÁöºÐÀ²Àº 31.2%°¡ µÈ´Ù. ÁÖ½Ä Ãëµæ ¿¹Á¤ÀÏÀº ´ÙÀ½ ´Þ 5ÀÏÀÌ´Ù. ƼÀÌ¿¥¾¾´Â À̹ø ÁÖ½Ä ÃëµæÀÇ ¸ñÀûÀ» "½Å±Ô»ç¾÷ È®Àå ¹× »ç¾÷´Ù°¢È­"¶ó°í ¹àÇû´Ù. 

ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ÀÇ Ãʹ̼¼È­°¡ °¡¼ÓÈ­µÇ°í, µð½ºÇ÷¹ÀÌ, ÀÇ·á ¹× ¾çÀÚÄÄÇ»ÅÍ »ê¾÷ÀÌ Ã·´ÜÈ­µÇ¸é¼­ ¡®µ¿À§¿ø¼Ò¡¯ ¼ÒÀç°¡ ÇÙ½É °æÀï·ÂÀ¸·Î ±ÞºÎ»óÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ½ÃÀå È帧 ¼Ó¿¡¼­ µ¶º¸ÀûÀÎ µ¿À§¿ø¼Ò »ý»ê ¹× °ø±Þ ±â¼úÀ» È®º¸ÇÑ Æ¼ÀÌ¿¥¾¾°¡ ¾÷°èÀÇ ÁÖ¸ñÀ» ¹Þ°í ÀÖ´Ù.

4¿ù27ÀÏ Æ¼ÀÌ¿¥¾¾ °ü°èÀÚ´Â ¡°2023³â ±¹³» ÃÖÃÊ·Î Áß¼ö¼Ò(D2)¿ë ¾ç¼ºÀÚ À̿±³È¯¸· ±â¼úÀ» ±¹»êÈ­ÇÏ¸ç µ¿À§¿ø¼Ò »ç¾÷ÀÇ Åä´ë¸¦ ´Û¾Ò´Ù¡±¸ç ¡°ÇöÀç´Â ÀÚü »ý»êÇÑ Áß¼ö¼Ò(D2)¸¦ ¹ÝµµÃ¼ ÃÊ°í¼øµµ ¼öÁØÀ¸·Î Á¤Á¦ÇÏ¿© ¿­Ã³¸®(Annealing) °øÁ¤¿¡ ¾ç»ê °ø±Þ Áß¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù.

°ú°Å ¾î´Ò¸µ °øÁ¤¿¡´Â ÀϹÝÀûÀ¸·Î ¼ö¼Ò°¡ ÁÖ·Î ¾²¿´À¸³ª, ȸ·Î ÁýÀûµµ°¡ ±ØÇÑÀ¸·Î Ä¡´Ý´Â Ãʹ̼¼ °øÁ¤¿¡¼­´Â ¸¶ÀÌÅ©·Î ĨÀÇ ¼ö¸í ¿¬Àå°ú °í¹Ðµµ »ý»ê¿¡ ÃÖÀûÈ­µÈ Áß¼ö¼Ò°¡ ÇʼöÀç·Î ÀÚ¸® Àâ¾Ò´Ù. ±Û·Î¹ú ½ÃÀåÁ¶»ç¾÷üµé¿¡ µû¸£¸é, Áß¼ö¼Ò ½ÃÀåÀº »ê¾÷ ÷´ÜÈ­¿¡ ÈûÀÔ¾î ¿¬Æò±Õ 8% ÀÌ»óÀÇ ¼ºÀåÀ» °ÅµìÇØ 2029³â 6¾ï7000 ´Þ·¯ ±Ô¸ð¿¡ À̸¦ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù.

¶Ç ƼÀÌ¿¥¾¾´Â ¹ÝµµÃ¼ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ µµÇÎÀÇ ÇÙ½ÉÀÎ PÇü µµÆÝÆ® ¡®»ïºÒÈ­ºØ¼Ò(11BF3)¡¯¸¦ °í°´ ¸ÂÃãÇüÀ¸·Î »ý»êÇØ ±¹³»»Ó¸¸ÀÌ ¾Æ´Ï¶ó ÇØ¿Ü ¸ÞÀÌÀú ¸Þ¸ð¸® °í°´»ç¿¡µµ ¾ç»ê°ø±ÞÀ» ½ÃÀÛÇß´Ù. ƯÈ÷ ÀÚü °³¹ßÇÑ Æ¯Çã ±â¼úÀÎ SCV(Safety Block Cylinder Valve)¸¦ µµÀÔÇØ °¡½º ´©Ãâ °¡´É¼ºÀ» ¿øõ Â÷´ÜÇÏ¸ç ¾ÈÀü¼º°ú ½Å·Ú¼ºÀ» µ¿½Ã¿¡ È®º¸Çß´Ù. SCV´Â ÇÊÅÍ, ·¹±Ö·¹ÀÌÅÍ, ¹ëºê¸¦ ÀÏüȭÇÑ ±¸Á¶·Î Á¤¹Ð ¾Ð·Â Á¦¾î°¡ °¡´ÉÇÏ°í, ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤Á¶°ÇÀÎ Áø°ø»óÅ¿¡¼­¸¸ À¯Ã¼°¡ È帣µµ·Ï °í¾ÈÇÑ ÀåÄ¡·Î ÀÌ¿ÂÁÖÀÔ °øÁ¤ÀÇ ÇÙ½É ¾ÈÀüÀåÄ¡·Î Æò°¡¹Þ´Â´Ù.

ƼÀÌ¿¥¾¾ÀÇ µ¿À§¿ø¼Ò ±â¼úÀº ¹ÝµµÃ¼ ¿µ¿ªÀ» ³Ñ¾î µð½ºÇ÷¹ÀÌ, ÀÇ·á ¹× Â÷¼¼´ë ÄÄÇ»Æà ½ÃÀåÀ¸·Î ¹üÀ§¸¦ ³ÐÈ÷°í ÀÖ´Ù. µð½ºÇ÷¹ÀÌÀÇ ¹ß±¤È¿À² ¹× ¼ö¸íÀ» °³¼±Çϱâ À§Çؼ­ ÀÌ¹Ì Áß¼ö(D2O)¸¦ ÇٽɰøÁ¤¿¡ »ç¿ë ÁßÀ̸ç, Á¦¾à ¹× ÀÇ·á¿ë °Ë»çÀåºñ ºÐ¾ß¿¡µµ ´Ù¾çÇÏ°Ô Àû¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù.

ƼÀÌ¿¥¾¾´Â Áß¼ö(D2O) »ý»ê±â¼úÀ» È®´ë Àû¿ëÇØ °í¼øµµ D2O Á¤Á¦±â¼ú, C6D6 ÇÕ¼º±â¼ú µî ´Ù¾çÇÑ µ¿À§¿ø¼Ò ¿¬°ü±â¼úÀ» °³¹ßÇÏ°í Á¦Ç°È­¸¦ ÁغñÇÏ´Â µî ÇâÈÄ µ¿À§¿ø¼Ò ½ÃÀåÀÇ ¾ÈÁ¤Àû °ø±Þ¸Á ±¸Ãà¿¡µµ ÁßÃßÀûÀÎ ¿ªÇÒÀ» ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.

¶Ç µ¿À§¿ø¼Ò´Â ¾çÀÚÄÄÇ»ÅÍ ºÐ¾ß¿¡¼­ÀDZâ´ë°¡ ³ô´Ù. ¾çÀÚÄÄÇ»ÅÍÀÇ ¿¬»ê ¼º´ÉÀ» ±Ø´ëÈ­Çϱâ À§Çؼ­´Â ¼ÒÀç ³»ºÎÀÇ ¹°¸®Àû Ư¼ºÀ» Á¤¹ÐÇÏ°Ô Á¦¾îÇÏ´Â °ÍÀÌ Áß¿äÇѵ¥, À̶§ µ¿À§¿ø¼Ò ±â¼úÀÌ ÇÙ½ÉÀûÀÎ ¿ªÇÒÀ» ÇÑ´Ù. ƼÀÌ¿¥¾¾´Â ÀÌ·¯ÇÑ µ¿À§¿ø¼Ò ¿øõ ±â¼úÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î Â÷¼¼´ë ¾çÀÚ ÄÄÇ»Æà ȯ°æÀ» ±¸ÇöÇÏ´Â Çʼö ¼ÒÀç ÆÄÆ®³Ê·Î¼­ ÀÔÁö¸¦ °­È­ÇÒ °èȹÀ» °¡Áö°í ÀÖ´Ù.

ƼÀÌ¿¥¾¾´Â ÇöÀç SCV ±â¼úÀ» Àû¿ëÇÑ °Ô¸£¸¶´½ ¼ö¼ÒÈ­¹°(72GeH4) µî ½ÅÁ¦Ç° ¶óÀξ÷ È®´ë¸¦ Áغñ ÁßÀÌ´Ù.

ƼÀÌ¿¥¾¾ °ü°èÀÚ´Â ¡°3D DRAM ¹× 2³ª³ë ÀÌÇÏ °øÁ¤ µµÀÔÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ Àü±âÀû Ư¼ºÀ» Á¦¾îÇÏ´Â µ¿À§¿ø¼ÒÀÇ Á߿伺Àº ±× ¾î´À ¶§º¸´Ù ³ô´Ù¡±¸ç ¡°¹ÝµµÃ¼¸¦ ³Ñ¾î ´Ù¾çÇÑ Â÷¼¼´ë »ê¾÷ Àü¹Ý¿¡¼­ µ¿À§¿ø¼Ò°¡ ¡®Çʼö ¼ÒÀ硯·Î ºÐ·ùµÇ´Â ¸¸Å­, ´Ùº¯È­µÈ »ç¾÷ Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ ÅëÇØ ±Û·Î¹ú ¼ÒÀç °ø±Þ¸ÁÀÇ ÇÙ½É ÆÄÆ®³Ê·Î µµ¾àÇÒ °Í¡±À̶ó°í ¸»Çß´Ù.

µ¶¸³¸®¼­Ä¡ ¹ë·ùÆÄÀδõ´Â 3¿ù30ÀÏ Æ¼ÀÌ¿¥¾¾(425040)¿¡ ´ëÇØ ¸Þ¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼ °¡°Ý »ó½Â¿¡ µû¸¥ ¼öÇý¿Í Ư¼ö°¡½º ½ÇÀû °³¼±¿¡ ÁÖ¸ñÇØ¾ß ÇÒ ½Ã±â¶ó°í Æò°¡Çß´Ù.

¹ë·ùÆÄÀδõ¿¡ µû¸£¸é ±Û·Î¹ú ¸Þ¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼ ¾÷ȲÀÌ È¸º¹ ±¹¸é¿¡ ÁøÀÔÇϸ鼭 °í°´»çÀÇ ³½µå(NAND) Ç÷¡½Ã °¡µ¿·üÀÌ ÀÇ¹Ì ÀÖ°Ô »ó½ÂÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ ÀΰøÁö´É(AI) ½ÃÀåÀÇ Æø¹ßÀû ¼ºÀå¿¡ µû¶ó µð·¥(DRAM) ¹× ·ÎÁ÷(Logic) ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º ¼ö¿äµµ ºü¸£°Ô È®´ëµÇ°í ÀÖ´Ù. 

¿©±â¿¡ ´õÇØ SKÇÏÀ̴нº M15X ÈÄ¼Ó ÇÁ·ÎÁ§Æ®¿Í ¿ëÀÎ ¹ÝµµÃ¼ Ŭ·¯½ºÅÍ 1Â÷ ¹°·® ¼öÁÖ µî ´ëÇü Àåºñ ¼öÁÖ ¸ð¸àÅÒ±îÁö °ãÄ¡¸ç, ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀ硤Àåºñ ¹ë·ùüÀÎ Àü¹Ý¿¡ °ÉÄ£ ½ÇÀû °³¼±ÀÌ ±â´ëµÇ´Â »óȲÀÌ´Ù.

ƼÀÌ¿¥¾¾´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤¿¡ ÇʼöÀûÀΠƯ¼ö°¡½ºÀÇ °³¹ß¡¤Á¦Á¶¡¤°ø±ÞºÎÅÍ ÀÚȸ»ç ƼÀÌ¿¥¾¾¾¾¿£¿¡½º¸¦ ÅëÇÑ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ »ç¾÷±îÁö ¿µÀ§ÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀ硤Àåºñ ±â¾÷ÀÌ´Ù. 

2025³â ¿¬°á ±âÁØ ¸ÅÃâ¾× 2797¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 248¾ï¿øÀ¸·Î ¸ÅÃâ¾×Àº Àü³â µ¿±â ´ëºñ 10.9% °¨¼ÒÇßÀ¸³ª, ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 25.9% Áõ°¡Çß´Ù. 

ÀÌÃæÇå ¹ë·ùÆÄÀδõ ¿¬±¸¿øÀº "µ¿»ç´Â ±¹³» ÃÖÃÊ·Î ³×¿Â°¡½º ±¹»êÈ­¿¡ ¼º°øÇÑ ÃÊÀú¿Â ±â¼úÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î °í¼øµµ Çï·ý°¡½ºÀÇ »ó¹Ý±â ¾ç»êÀ» °èȹÇÏ°í ÀÖ´Ù"¸ç "3D µð·¥ µî Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ ±¸Á¶º¯°æ¿¡ ÇʼöÀûÀÎ Àú¸ÞÀÎ(GeH4) µî µµÆÝÆ®(Dopants) ½ÃÀå¿¡¼­µµ Çѱ¹À» ³Ñ¾î ¹ÌÁÖ ½ÃÀå±îÁö °í°´À» È®´ëÇÏ°í ÀÖ´Ù"

À̾î "µ¿»çÀÇ º°µµ ±âÁØ ¸ÅÃâÀº ÀÌ¹Ì 4ºÐ±âºÎÅÍ ³½µå °¡µ¿·ü ȸº¹ È¿°ú°¡ ¹Ý¿µµÇ±â ½ÃÀÛÇß°í, 484¾ï¿ø ±Ô¸ðÀÇ SKÇÏÀ̴нºÇâ ÄɹÌÄ® °ø±ÞÀåÄ¡ ³³Ç°ÀÌ 2ºÐ±âºÎÅÍ ½ÃÀ۵ȴÙ"¸ç "¿ëÀÎ ¹ÝµµÃ¼ Ŭ·¯½ºÅÍ 1Â÷ ¹°·® ¼öÁÖ¿¡ µû¸¥ Àåºñ ¸ÅÃâ±îÁö ÀÎ½ÄµÇ¸é ¿¬°£ ½ÇÀûÀÇ Ãß°¡ ¼ºÀåÀÌ °¡´ÉÇÒ °Í"À̶ó°í Áø´ÜÇß´Ù.

ÀÌ ¿¬±¸¿øÀº "Áßµ¿ÀüÀï ¿µÇâÀ¸·Î ±Û·Î¹ú Çï·ý ¼ö±Þ¹®Á¦°¡ ¾ß±âµÇ°í ÀÖ´Â °¡¿îµ¥ µ¿»çÀÇ °í¼øµµ Çï·ý ¾ç»êÀº »õ·Î¿î ¼ºÀ嵿·ÂÀÌ µÉ ¼ö ÀÖ´Ù"¸ç "AI ¼ö¿ä ÆøÁõ¿¡ µû¸¥ µð·¥¡¤·ÎÁ÷¿ë µµÆÝÆ® ½ÃÀå È®´ë¿Í 3D µð·¥ ±¸Á¶º¯°æ µî ¹ÝµµÃ¼ ±â¼ú Æз¯´ÙÀÓ ÀüȯÀÇ ¼öÇý±îÁö ±â´ëµÈ´Ù"°í Á¶¾ðÇß´Ù.

 

¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿ë Ư¼ö°¡½º Àü¹® ¾÷ü. °¡½º ÇÕ¼º ¹× ¼öÀüÇØ ±â¼ú, Èñ±Í°¡½º¸¦ ÃßÃâ ¹× ºÐ¸®ÇÏ´Â ±â¼ú, Ư¼ö°¡½º¸¦ Á¤Á¦¤ýÈ¥ÇÕ¤ýÃæÀüÇÏ´Â ±â¼úÀ» ºñ·ÔÇÏ¿© Ư¼ö°¡½º Á¦Á¶ÀÇ ¸ðµç °øÁ¤À» ³»ÀçÈ­ÇÑ ±â¼úÀ» º¸À¯. Ư¼ö°¡½º »ý»ê¿¡ ÇÊ¿äÇÑ Total ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼­ »ç¿ëÇϴ Ư¼ö°¡½º Á¦Á¶¸¦ ±¹»êÈ­ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, SKÇÏÀ̴нºÀÇ Á¤½Ä Çù·Â»çÀÓ. ÁÖ¿ä Á¦Ç°À¸·Î´Â Èñ±Í°¡½º(Excimer Laser(Ne), Kr, Xe µî), Ư¼ö°¡½º(C4F6, CO, COS, CHF3, C4F8 µî) µîÀÌ ÀÖÀ½. ÃÖ´ëÁÖÁÖ´Â À¯¿ø¾ç ¿Ü(32.65%), ÁÖ¿äÁÖÁÖ´Â ¿¡½ººêÀ̾ÆÀ̾¾52È£ ½Å±â¼ú»ç¾÷ÅõÀÚÁ¶ÇÕ(8.33%), Æ÷½ºÄÚ GEM 1È£ Æݵå(9.54%), ±¹¹Î¿¬±Ý°ø´Ü(7.58%), KBÀÚ»ê¿î¿ë(5.23%), ¿¡¼ÂÇ÷¯½ºÀÚ»ê¿î¿ë(5.02%). 

2024³â ¿¬°á±âÁØ ¸ÅÃâ¾×Àº 3102.35¾ïÀ¸·Î Àü³â´ëºñ 54.51% Áõ°¡. ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 197.01¾ïÀ¸·Î 6.72% °¨¼Ò. ´ç±â¼øÀÌÀÍÀº 170.73¾ïÀ¸·Î 25.05% °¨¼Ò. 

ÀÛ³â 4¿ù9ÀÏ  5920¿ø¿¡¼­ ÃÖÀúÁ¡À» ÂïÀº ÈÄ ¿Ã 5¿ù21ÀÏ 30300¿ø¿¡¼­ °íÁ¡À» Âï°í ¹Ð·ÈÀ¸³ª 7¿ù30ÀÏ 6300¿ø¿¡¼­ ÀúÁ¡À» ÂïÀº ÈÄ µî¶ôÀ» º¸ÀÌ´Â °¡¿îµ¥ Á¡Â÷ ÀúÁ¡°ú °íÁ¡À» ³ôÇô¿À´Â ÁßÀ¸·Î, ÀÌÁ¦ºÎÅÏ ¹Ð¸±¶§¸¶´Ù ¹°·® ¸ð¾ÆµÑ ±âȸ·Î º¸¿©Áý´Ï´Ù.

¼ÕÀýÁ¡Àº 13060¿øÀ¸·Î º¸½Ã°í ÃÖ´ëÇÑ ÀúÁ¡À» ³ë¸®½Ã¸é µÇ°Ú½À´Ï´Ù. 13600¿ø ÀüÈÄ¸é ¹«³­ÇØ º¸ÀÌ¸ç ºÐÇҸżöµµ °í·ÁÇØ º¼¼ö ÀÖ°Ú½À´Ï´Ù. ¸ñÇ¥°¡´Â 1Â÷·Î 15000¿ø ºÎ±Ù¿¡¼­ Çѹø Â÷ÀͽÇÇöÀ» °í·ÁÇØ º¸½Ã°í ÀÌÈÄ ´­¸±½Ã ÁöÁöµÇ´Â ÀúÁ¡¿¡¼­ Àç°ø·« ÇÏ½Ã¸é µÇ°Ú½À´Ï´Ù. 2Â÷´Â 16500¿ø ÀÌ»óÀ» ±â´ë ÇÕ´Ï´Ù.

°¨»çÇÕ´Ï´Ù.