ÁÖ½ÄÁ¾ÇÕÅä·Ð

¿ì¸®³ª¶ó ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒºÎÀå ±â¾÷ÀÌ ³×´ú¶õµå ASMLÀÇ ÇÙ½É °ø±Þ¸Á¿¡ ¼ÓÇÑ ºÎǰ»ç¸¦ ÀμöÇÏ¸ç ¡®±â¼ú Áֱǡ¯ È®º¸¿¡ ¼º°øÇß´Ù.
2¿ù26ÀÏ ¿ÀÀü 8½Ã ·±´ø IB ¼Ò½ÄÅë¿¡ µû¸£¸é, ÄÚ½º´Ú »óÀå»ç ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼(FST)°¡ ³×´ú¶õµå ¼ÒÀçÀÇ Á¤¹Ð ±¤ÇÐ ºÎǰ Àü¹® ±â¾÷À» ¾à 800¾ï ¿ø¿¡ ÀμöÇÏ´Â °è¾àÀ» ÃÖÁ¾ ¸¶¹«¸®Çß´Ù. ÀÌ´Â Àå±âÀûÀ¸·Î Â÷¼¼´ë EUV Àåºñ ±¹»êÈÀ²À» ȹ±âÀûÀ¸·Î ³ôÀÏ '°ÔÀÓ Ã¼ÀÎÀú' ±Þ µô·Î Æò°¡¹Þ°í ÀÖ´Ù.
Àμö ±Ý¾×Àº ÇØ´ç ±â¾÷ÀÇ Æ¯Çã °¡Ä¡¸¦ Æ÷ÇÔÇØ ÀûÁ¤ ¼öÁØÀ¸·Î Æò°¡µÊ. ƯÈ÷ ASML µ¶Á¡ °ø±Þ¸Á ÁøÀÔÀ̶ó´Â 'ÇÁ¸®¹Ì¾ö'ÀÌ ½ÇÁú °¡Ä¡¸¦ »óȸÇÑ´Ù.
À̹ø Àμö·Î ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»çµéÀº ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ´ø ³ë±¤Àåºñ ÇÙ½É ºÎǰÀ» ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î Á¶´ÞÇÒ ¼ö ÀÖ´Â '¼öÁ÷ °è¿È' ü°è¸¦ °®Ãß°Ô µÆ´Ù.
±¹³» À¯ÀÏÀÇ ±ØÀڿܼ±(EUV) ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ±â¾÷ À̼ÖÀÌ ±â¾÷°ø°³(IPO)¿¡ º»°Ý µ¹ÀÔÇß´Ù. À̼ÖÀº EUV ±¤¿øºÎÅÍ ±¤ÇÐ, ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î, ³ª³ë ½Ã½ºÅÛ±îÁö ÇÙ½É ¿ä¼Ò¸¦ ÀÚü °³¹ßÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼ú ±â¾÷À¸·Î ¾÷°è¿¡¼´Â Çѱ¹ÀÇ 'ASML'·Î ºÒ¸°´Ù. ÃÖ±Ù ½ÃÀå¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñȸ»ç »óÀå¿¡ ´ëÇÑ ±â´ë°¨ÀÌ ³ô¾ÆÁö¸é¼ À̼ÖÀÇ ¼ºÀå ÀáÀç·Âµµ ³ô°Ô Æò°¡µÇ°í ÀÖ´Ù.
2¿ù6ÀÏ ÅõÀÚÀºÇà(IB) ¾÷°è¿¡ µû¸£¸é À̼ÖÀº ÃÖ±Ù IPO ÁÖ°ü»ç ¼±Á¤À» À§ÇÑ ÇÁ·¹Á¨Å×À̼Ç(PT)À» ¸¶Ä¡°í ÃÖÁ¾ °á°ú¸¦ ±â´Ù¸®°í ÀÖ´Ù. ¹Ì·¡¿¡¼ÂÁõ±Ç, KBÁõ±Ç µî ÁÖ¿ä Áõ±Ç»çµéÀÌ Âü¿©ÇØ °æÀï ±¸µµ°¡ Çü¼ºµÆ´Ù. À̼ÖÀº ¼ÒÇü ¹æ»ç±¤°¡¼Ó±â ±â¹Ý EUV ±â¼ú ºÐ¾ß¿¡¼ ±¹³»¿¡¼´Â À¯ÀÏÇϰí, ±Û·Î¹ú ±âÁØÀ¸·Îµµ ³× ¹øÂ°·Î ²ÅÈ÷´Â ±â¾÷ÀÌ´Ù. ÀÌ ºÐ¾ß¿¡¼´Â 'ASML'¶ó´Â ³×´ú¶õµåÀÇ ´ëÇü ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Àåºñ Á¦Á¶ ±â¾÷ÀÌ À¯¸íÇÏ´Ù. À̼ÖÀº Çѱ¹ÀÇ ASML·Î ºÒ¸®¸ç ¼ÒÇü ¹æ»ç±¤°¡¼Ó±â ºÐ¾ß¿¡¼ µ¶º¸ÀûÀÎ ±â¼ú·ÂÀ» °¡Áø ±¹³» À¯ÀÏ, ¼¼°è ³× ¹øÂ° ±ØÀڿܼ±(EUV) ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ȸ»ç·Î ÀÚ¸®¸Å±è Çß´Ù.
Áö³ÇØ¿¡´Â °¿ø ¿øÁֽ÷κÎÅÍ ¼ÒÇü ¹æ»ç±¤°¡¼Ó±â¿Í ÷´Ü EUV ¹ÝµµÃ¼ °Ë»çÀåºñ ¿¬±¸¡¤»ý»ê½Ã¼³ ±¸ÃàÀ» À§ÇØ ÃÑ 505¾ï¿ø ±Ô¸ðÀÇ ÅõÀÚ¸¦ À¯Ä¡ÇÏ¸é¼ »ç¾÷ ÀÎÇÁ¶óµµ °ÈÇß´Ù. Áö³ÇØ 7¿ù¿¡´Â 740¾ï¿ø ±Ô¸ðÀÇ ½Ã¸®ÁîB ÅõÀÚ¸¦ À¯Ä¡ÇØ ¾à 3000¾ï¿ø ÀÌ»óÀÇ ±â¾÷°¡Ä¡¸¦ ÀÎÁ¤¹Þ¾Ò´Ù.
À̼ÖÀÇ ÇÙ½É Á¦Ç°Àº EUV¿ë Æ÷Å丶½ºÅ© ¹Ì¼¼ °áÇÔÀ» °ËÁõÇÏ´Â ¸®ºä ÀåºñÀÎ FREM(FLEX-RAY EUV Microscope)ÀÌ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ Æ÷Å丶½ºÅ©´Â ¹Ì¼¼ ȸ·Î ÆÐÅÏÀÌ »õ°ÜÁø ¿øÆÇÀ¸·Î, °áÇÔÀÌ ÀÖÀ¸¸é ±×´ë·Î ¿þÀÌÆÛ¿¡ Àü»çµÅ ¼öÀ²¿¡ Á÷Á¢ÀûÀΠŸ°ÝÀ» ÁØ´Ù. FREMÀº ¸¶½ºÅ©¸¦ ³ë±¤±â¿¡ ÅõÀÔÇϱâ Àü °áÇÔ À¯¹«¸¦ ÃÖÁ¾ ÆÇÁ¤ÇÏ´Â Àåºñ´Ù. EUV ±¤¿ø, ÀԻ簢, ¼öÄ¡°³±¸¼ö(NA) µî ÁÖ¿ä º¯¼ö¸¦ ½ÇÁ¦ ³ë±¤ ȯ°æ°ú µ¿ÀÏÇÏ°Ô ±¸ÇöÇØ ½ÇÁ¦ Àμ⠰á°ú¸¦ »çÀü¿¡ È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÌ Àåºñ´Â Áö³ÇØ ÀϺ» ÃÖ´ë Æ÷Å丶½ºÅ© Á¦Á¶¾÷ü¿Í °ø±Þ °è¾àÀ» ü°áÇÏ¸ç »ó¿ëÈ ¼º°ú¸¦ ³Â´Ù. Àåºñ °¡°ÝÀº ¼ö¹é¾ï¿ø´ë´Ù. À̹ø ¼öÁÖ´Â ±Û·Î¹ú ÃÖ°í ¼öÁØÀÇ °æÀï»ç¸¦ Á¦Ä¡°í ÀÌ·ïÁ³´Ù´Â Á¡¿¡¼ Àǹ̰¡ Å©´Ù. À̼ÖÀº ¾à 1³â 6°³¿ù°£ÀÇ °í°´»ç Æò°¡¸¦ °ÅÃÄ µ¶ÀÏ Ä®ÀÚÀÌÁî¿Í ¹Ì±¹ EUV Àåºñ ¾÷ü¿ÍÀÇ °æÀï¿¡¼ ÃÖÁ¾ÀûÀ¸·Î ¼±ÅõƴÙ. ¸¶½ºÅ© ¸®ºä Àåºñ ½ÃÀåÀº ±×µ¿¾È 'Ä®ÀÚÀÌÁî'°¡ »ç½Ç»ó µ¶Á¡ÇؿԴÙ.
À̼ÖÀº ¾Õ¼ »ï¼ºÀüÀÚ¿¡ FREM°ú À¯»çÇÑ ±â´ÉÀ» ¼öÇàÇÏ´Â 'SREM'À» °ø±ÞÇϱ⵵ Çß´Ù. FREMÀº SREMÀÇ ±¤¿ø°ú ±¤Çа踦 Àü¸é Àç¼³°èÇÑ Â÷¼¼´ë ¸ðµ¨·Î Æò°¡¹Þ°í ÀÖ´Ù.
À̼ÖÀº ¹ÝµµÃ¼¸¦ ³Ñ¾î ÀÇ·á, ¹ÙÀÌ¿À, ÷´Ü ¼ÒÀç µî ´Ù¾çÇÑ »ê¾÷À¸·ÎÀÇ ÀÀ¿ë °¡´É¼ºµµ °®Ãè´Ù. ¿¬Æò±Õ 22% ¼ºÀå¼¼¸¦ º¸ÀÌ´Â EUV Àåºñ ½ÃÀå¿¡¼ ±Û·Î¹ú ¸¶½ºÅ© ȸ»çµé¿¡ ³³Ç° ½ÇÀûÀ» ½×À¸¸é¼ À¶ÇÕÇü ÀåÄ¡»ê¾÷ÀÇ ÇÙ½É ±â¾÷À¸·Î ÀÚ¸®¸Å±èÇϰí ÀÖ´Ù´Â Æò°¡´Ù.
Áö¹è±¸Á¶ Ãø¸é¿¡¼´Â ÄÚ½º´Ú »óÀå»ç ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼°¡ ÃÖ´ëÁÖÁÖ·Î, ÀÌ¼Ö ÁöºÐ 38.14%¸¦ º¸À¯Çϰí ÀÖ´Ù. À̼ÖÀº EUV Æç¸®Å¬°ú Ä¥·¯ µîÀ» ´Ù·ç´Â ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ÀÇ °è¿»ç´Ù. 2018³â ¼³¸³µÈ À̼ÖÀº »ï¼ºÀüÀÚ ¸¶½ºÅ© ºÐ¾ß Àü¹®°¡ÀÎ ±èº´±¹ ´ëÇ¥¿Í À̵¿±Ù ÃÖ°í±â¼úÃ¥ÀÓÀÚ(CTO)°¡ À̲ø°í ÀÖ´Ù.
±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀ硤Àåºñ ±â¾÷ ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼(FST)°¡ »ï¼ºÀüÀÚÀÇ Â÷¼¼´ë 2³ª³ë¹ÌÅÍ(§¬) ¹ÝµµÃ¼ »ý»êÀ» À§ÇÑ °ø±Þ¸Á¿¡ ÁøÀÔÇß´Ù. ±×°£ ÀϺ» ¹Ì¾²ÀÌÈÇÐÀÌ µ¶Á¡Çؿ ±ØÀڿܼ±(EUV) °øÁ¤ÀÇ ÇÙ½É ¼ÒÀçÀÎ Æç¸®Å¬ Àåºñ¸¦ »ï¼ºÀüÀÚ¿¡ °ø±ÞÇÏ´Â °è¾àÀ» µû³Â´Ù. »ï¼ºÀüÀÚÀÇ 2³ª³ë °øÁ¤ ¼º°øÀ» Á¿ìÇÒ ÇÙ½É ¼ÒÀç °ø±Þ»ç·Î ºÎ»óÇß´Ù´Â ºÐ¼®ÀÌ´Ù.
ÀÌ ½ÃÀåÀº ±×°£ ÀϺ» ¹Ì¾²ÀÌÈÇÐÀÌ µ¶Á¡ÇØ¿ÔÁö¸¸, 2³ª³ë ÀÌÇÏ °øÁ¤¿¡¼ ÀϺ»»ê ¼ÒÀç°¡ °í¿¿¡ ³ì¾Æ¹ö¸®´Â Ä¡¸íÀû °áÇÔÀ» µå·¯³»¸ç ÆÇµµ°¡ µÚ¹Ù²î°í ÀÖ´Ù. ¹Ý¸é ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ÀÇ CNT Æç¸®Å¬Àº Ź¿ùÇÑ ¿ÀüµµÀ²À» ¹ÙÅÁÀ¸·Î °í°¡ÀÇ ³ë±¤ ¸¶½ºÅ© ¼ö¸íÀ» ºñ¾àÀûÀ¸·Î ¿¬Àå½ÃŲ´Ù. °øÁ¤ Á¤¹Ðµµ¸¦ ³ô¿© ¼öÀ²À» °³¼±ÇÏ´Â µ¿½Ã¿¡ ¼öõ¸¸¿ø¿¡ ´ÞÇÏ´Â ¸¶½ºÅ© ±³Ã¼ ºñ¿ëÀ» Àý°¨ÇÏ´Â Á÷Á¢ÀûÀÎ È¿°ú·Î À̾îÁø´Ù´Â ºÐ¼®ÀÌ´Ù.
1¿ù22ÀÏ ÅõÀÚÀºÇà(IB) ¾÷°è¿¡ µû¸£¸é ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â ÃÖ±Ù »ï¼ºÀüÀڷκÎÅÍ ¾à 240¾ï¿ø ±Ô¸ðÀÇ ±ØÀڿܼ±(EUV) ÀÎÇÁ¶ó Àåºñ¸¦ ¼öÁÖÇß´Ù. °ø±Þ ´ë»óÁö´Â »ï¼ºÀüÀÚ ÆÄ¿îµå¸®ÀÇ ÃÖ÷´Ü ÀüÃʱâÁöÀÎ ¹Ì±¹ Å×ÀÏ·¯ °øÀåÀ¸·Î ÆÄ¾ÇµÆ´Ù.
¼öÁÖ Ç°¸ñÀº ¡âEPMD(Æç¸®Å¬ ÀÚµ¿ Å»ºÎÂø Àåºñ) ¡âEPIS(Æç¸®Å¬ ¸·¡¤ÇÁ·¹ÀÓ À̹°Áú °Ë»ç Àåºñ) ¡âEPODIS(ÀÌ¼Û ¿ë±â °Ë»ç Àåºñ) µî ÃÑ 3Á¾ÀÌ´Ù. ÀÌ ÀåºñµéÀº ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼°¡ »ï¼º°ú °øµ¿ °³¹ß ÁßÀÎ Â÷¼¼´ë ¼ÒÀç 'CNT(ź¼Ò³ª³ëÆ©ºê) Æç¸®Å¬'ÀÇ °Ë»ç¿Í ÀåÂøÀ» À§ÇØ ¼³°èµÈ Àü¿ë ¼³ºñµéÀÌ´Ù.
½ÃÀå¿¡¼´Â À̹ø ¼öÁÖ ±Ô¸ð¸¦ °¨¾ÈÇÒ ¶§ °ø½Ã°¡ ÀÌ·ç¾îÁöÁö ¾ÊÀº ¹è°æ¿¡ ÁÖ¸ñÇϰí ÀÖ´Ù. IB¾÷°è °ü°èÀÚ´Â "ÇØ´ç ¼öÁÖ °ÇÀº Áö³ÇØ 12¿ù°ú ¿ÃÇØ 1¿ù¿¡ °ÉÃÄ °ø½Ã ±âÁØ¿¡ ¹Ì´ÞÇÏ´Â ¼öÁØÀ¸·Î ºÐÇÒ ¹ßÁÖµÈ °ÍÀ¸·Î ÆÄ¾ÇµÈ´Ù"¸ç "»ï¼ºÀüÀÚ°¡ º¸¾ÈÀ» À¯ÁöÇϸ鼵µ ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î °ø±Þ¸ÁÀ» È®º¸ÇÏ·Á´Â Àü·«Àû Á¶Ä¡·Î ÇØ¼®µÈ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.
À۳⠿¬°á±âÁØ ¸ÅÃâ¾×Àº 2802.63¾ïÀ¸·Î Àü³â´ëºñ 18.1% Áõ°¡. ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 4.67¾ï ÀûÀÚ·Î 22.87¾ï¿¡¼ ÀûÀÚÀüȯ. ´ç±â¼øÀÌÀÍÀº 144.15¾ï ÀûÀÚ·Î 16.38¾ï ÀûÀÚ¿¡¼ ÀûÀÚÆø È®´ë. ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â ¸ÅÃâ Áõ°¡ ¿äÀÎÀ¸·Î DUV Æç¸®Å¬ ÆÇ¸Å È®´ë¿Í ¿¬°áȸ»ç ½Å±Ô °í°´ È®º¸¿¡ µû¸¥ ¸ÅÃâ Áõ°¡¸¦ Á¦½ÃÇß´Ù. ¹Ý¸é ¿¬±¸°³¹ß È®´ë¿¡ µû¸¥ ¿¬±¸°³¹ßºñ Áõ°¡¿Í Ä¥·¯Àåºñ ÇØ¿Ü CS ±¸Ãà, ¹Ì±¹ Taylor Àåºñ ³³Ç° Áغñ¿¡ µû¸¥ °íÁ¤ºñ Áõ°¡·Î ¿µ¾÷¼Õ½Ç·Î ÀüȯµÆ´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù.
´ç±â¼ø¼Õ½ÇÀº 144¾ï1525¸¸1698¿øÀ¸·Î Àü³â ´ëºñ 780.2% È®´ëµÆ´Ù. ȸ»ç´Â °ü°è±â¾÷ ÀûÀÚ·Î ÀÎÇÑ ÁöºÐ¹ý¼Õ½ÇÀ» ´ç±â¼ø¼Õ½Ç È®´ëÀÇ ÁÖ¿ä ¹è°æÀ¸·Î µé¾ú´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ ÁÖ°¡°¡ »ó½Â¼¼´Ù. 1¿ù4ÀÏ Çѱ¹°Å·¡¼Ò¿¡ µû¸£¸é Àü °Å·¡ÀÏ 3.43% ¿Ã¶ó 3¸¸ 1700¿ø¿¡ °Å·¡µÇ°í ÀÖ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ¹Ì¼¼È °æÀïÀÌ ±Ø´ÜÀ¸·Î Ä¡´ÝÀ¸¸é¼, ±â¼ú ÁÖµµ±ÇÀº ´Ü¼øÇÑ Àåºñ ¼º´ÉÀ» ³Ñ¾î ¡®°øÁ¤ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» ´©°¡ È®º¸ÇÏ´À³Ä¡¯·Î À̵¿, ÁÖ°¡¿¡ ±àÁ¤Àû ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ÇØ¼®µÈ´Ù.
ÀÌ °úÁ¤¿¡¼ ƯÁ¤ ¼ÒÀ硤ºÎǰ ±â¾÷ÀÌ Àü·«Àû °¡Ä¡°¡ ±Þ°ÝÈ÷ »ó½ÂÇÏ´Â ±¹¸éÀÌ ³ªÅ¸³´Ù°í º¸°í ÀÖ´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â ÃÖ±Ù »ï¼ºÀüÀÚ¿ÍÀÇ CNT(ź¼Ò³ª³ëÆ©ºê) Æç¸®Å¬ °øµ¿°³¹ß ¼º°øÀ» °è±â·Î, Â÷¼¼´ë ³ë±¤ °øÁ¤ÀÇ ÇÙ½É °ø±Þ¸ÁÀ¸·Î ºÎ»óÇϰí ÀÖ´Ù´Â Æò°¡¸¦ ¹Þ°í ÀÖ´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿ë ÇÙ½É ¼ÒÀ硤ºÎǰ ±â¾÷À¸·Î, ³ë±¤ °øÁ¤¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â Æç¸®Å¬ ºÐ¾ß¿¡¼ ±â¼ú·ÂÀ» ÃàÀûÇØ¿Ô´Ù. Æç¸®Å¬Àº EUV(±ØÀڿܼ±) ³ë±¤ °úÁ¤¿¡¼ ¸¶½ºÅ©¸¦ ¿À¿°À¸·ÎºÎÅÍ º¸È£ÇÏ´Â Çʼö ºÎǰÀ¸·Î, °øÁ¤ ¼öÀ²°ú Á÷°áµÈ´Ù. ±âÁ¸ ½Ç¸®ÄÜ °è¿ Æç¸®Å¬Àº Åõ°úÀ²°ú ³»±¸¼º¿¡¼ ÇѰ踦 µå·¯³»¿Ô°í, ¹Ì¼¼ °øÁ¤ÀÌ ÁøÈÇÒ¼ö·Ï ´ëü ±â¼úÀÇ Çʿ伺ÀÌ Ä¿Á®¿Ô´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼°¡ »ï¼ºÀüÀÚ¿Í °øµ¿À¸·Î °³¹ßÇÑ CNT Æç¸®Å¬Àº ±â¼úÀû ÀüȯÁ¡À¸·Î Æò°¡µÈ´Ù. CNT ±â¹Ý Æç¸®Å¬Àº ±âÁ¸ ´ëºñ ³ôÀº ±¤ Åõ°úÀ²°ú ¿ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» µ¿½Ã¿¡ È®º¸ÇÒ ¼ö ÀÖ¾î, Â÷¼¼´ë ¹Ì¼¼ °øÁ¤¿¡ ÀûÇÕÇÑ ¼Ö·ç¼ÇÀ¸·Î ²ÅÈù´Ù.
´Ü¼øÇÑ ¼ÒÀç °³¼±ÀÌ ¾Æ´Ï¶ó, EUV °øÁ¤ÀÇ º´¸ñÀ» ±¸Á¶ÀûÀ¸·Î ÇØ¼ÒÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼úÀ̶ó´Â Á¡¿¡¼ ½ÃÀåÀÇ °ü½ÉÀÌ ÁýÁߵǰí ÀÖ´Ù.
À̹ø °øµ¿°³¹ß ¼º°øÀÌ ´Ü¹ß¼º ¼º°ú°¡ ¾Æ´Ï¶ó´Â Á¡¿¡ ÁÖ¸ñÇÑ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ°¡ °ú°Å ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼¿¡ ¾à 430¾ï ¿ø ±Ô¸ðÀÇ ÅõÀÚ¸¦ ´ÜÇàÇÑ ÀÌ·ÂÀº, ÇØ´ç ±â¼úÀÌ ´Ü¼ø Çù·Â ¼öÁØÀ» ³Ñ¾î Àå±âÀûÀÎ °øÁ¤ Àü·«°ú ¿¬°áµÅ ÀÖÀ½À» ½Ã»çÇÑ´Ù. ÀÌ´Â °í°´»ç¿ÍÀÇ °ü°è°¡ ¡®³³Ç°¾÷ü¡¯¿¡¼ ¡®°øÁ¤ ÆÄÆ®³Ê¡¯·Î °Ý»óµÆ´Ù´Â ÀÇ¹Ì·Î ÇØ¼®µÈ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ÀÇ È¸º¹ ±¹¸é°ú ¸Â¹°¸®¸ç, ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ÀÇ Àü·«Àû À§Ä¡´Â ´õ¿í ºÎ°¢µÇ°í ÀÖ´Ù. ÆÄ¿îµå¸® °æÀïÀÌ 2³ª³ë ÀÌÇÏ °øÁ¤À¸·Î ÁøÀÔÇÒ¼ö·Ï EUV Ȱ¿ëµµ´Â ³ô¾ÆÁö°í, Æç¸®Å¬ÀÇ ¼º´ÉÀº »ý»ê¼º¿¡ Á÷Á¢ÀûÀÎ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ£´Ù. ¿©±â¿¡ HBM4 ¾ç»êÀÌ º»°ÝȵǸé, Ãʹ̼¼ °øÁ¤¿¡¼ÀÇ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ ³ë±¤ ±â¼ú È®º¸´Â Çʼö Á¶°ÇÀÌ µÈ´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â ÀÌ·¯ÇÑ º¯È ¼Ó¿¡¼ °øÁ¤ È®Àå¿¡ µû¶ó ÀÚ¿¬½º·´°Ô ¼ö¿ä°¡ Áõ°¡ÇÏ´Â ±¸Á¶¸¦ °®Ãè´Ù.
ƯÁ¤ Á¦Ç° ÆÇ¸Å Áõ°¡º¸´Ù, °í°´»çÀÇ °øÁ¤ ·Îµå¸ÊÀÌ ÁøÈÇÒ¼ö·Ï äÅà °¡´É¼ºÀÌ ³ô¾ÆÁö´Â ±¸Á¶´Ù. ÀÌ´Â ¹ÝµµÃ¼ ¾÷Ȳ º¯µ¿¼º°ú º°°³·Î ±â¼ú °¡Ä¡°¡ ´©ÀûµÇ´Â »ç¾÷ ¸ðµ¨À̶ó´Â Á¡¿¡¼ ÅõÀÚ ¸Å·ÂÀ» ³ôÀÌ´Â ¿äÀÎÀ¸·Î ÀÛ¿ëÇÑ´Ù.
½ÃÀå¿¡¼´Â CNT Æç¸®Å¬ÀÇ ¾ç»ê Àû¿ë ¿©ºÎ¿Í Àû¿ë ¹üÀ§ È®´ë¸¦ ÁßÀå±â °üÀü Æ÷ÀÎÆ®·Î º¸°í ÀÖ´Ù.
±â¼ú °ËÁõÀ» Åë°úÇÑ ¼ÒÀç´Â °øÁ¤ º¯°æÀÌ ½±Áö ¾ÊÀº ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ Ư¼º»ó Àå±â°£ °ø±Þ ÁöÀ§¸¦ À¯ÁöÇÒ °¡´É¼ºÀÌ ³ô´Ù. ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼°¡ »ï¼ºÀüÀÚ¿ÍÀÇ Çù¾÷À» ¹ßÆÇÀ¸·Î ±Û·Î¹ú ÆÄ¿îµå¸® °ø±Þ¸Á¿¡¼ Á¸Àç°¨À» Ű¿ï ¼ö ÀÖÀ»Áö ÁÖ¸ñµÈ´Ù.
¹ÙÀÌ¿ÀÀνÄ(»ýüÀνÄ) °ü·ÃÁÖ ¿¢½ºÆä¸¯½º ¾Ëü¶ó µ¿¿î¾Æ³ªÅØ ½ÃÅ¥¼¾ ¶ó¿Â½ÃÅ¥¾î ÆÄ¿ö·ÎÁ÷½º À¯´ÏÄù½ºÆ® ÆÄÆ®·Ð µå¸²½ÃÅ¥¸®Æ¼ ÇØ¼º¿Éƽ½º À¯´Ï¿ÂÄ¿¹Â´ÏƼ ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ ¿¥¾¾³Ø½º ½ÃÅ¥ºê µå¸²ÅØ ¿¢½ºÆä¸¯½º ¾¾À¯¹Ú½ºµµ ÀÖ´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ÀÇ ÅõÀÚ ³í¸®´Â ´Ü±â ½ÇÀû °¡½Ã¼ºº¸´Ù, ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼È °æÀïÀÇ ¹æÇ⼺°ú ¸Â´ê¾Æ ÀÖ´Ù. EUV ÀÌÈĸ¦ ÁغñÇÏ´Â °øÁ¤¼ÒÀç ±â¾÷, »ï¼º ÆÄ¿îµå¸® Àü·«ÀÇ ÇÙ½É ÃàÀ¸·Î ÀÚ¸® ÀâÀ» ¼ö ÀÖ´ÂÁö ¿©ºÎ°¡ ÇâÈÄ ±â¾÷°¡Ä¡ÀÇ º¯°îÁ¡À» °¡¸¦ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼(FST)°¡ "±ØÀڿܼ±(EUV) Æç¸®Å¬(Pellicle)Àº ÇöÀç ¹ÝµµÃ¼ ÆÄ¿îµå¸® ÂÊ¿¡¼ ÁÖ·Î ¾²À̰í ÀÖÀ¸³ª, EUV ³ë±¤ ±â¼ú(EUVT) ¾ÈÁ¤¼º°ú Æç¸®Å¬ ¼ö¸íÀÌ ÀÏÁ¤ ¼öÁØ¿¡ µµ´ÞÇÒ °æ¿ì ¸Þ¸ð¸®¿¡¼µµ ä¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
ÃÖÀçÇõ FST ºÎ»çÀåÀº Áö³ 12¿ù11ÀÏ ¼¿ï °³² Æ÷½ºÄÚŸ¿ö ¿ª»ï¿¡¼ ¿¸° µðÀÏ·º ÁÖÃÖ '2026³â ¹ÝµµÃ¼ 3´ë ±â¼ú Æ®·»µå ÄÜÆÛ·±½º'¿¡¼ "±Û·Î¹ú EUV Æç¸®Å¬ ½ÃÀåÀº 2024³â ±âÁØ 7200¸¸~5¾ï5800¸¸´Þ·¯ ±Ô¸ð·Î ÃßÁ¤µÇ¸ç°í, 2033³â±îÁö ¿¬Æò±Õ(CAGR) 14.2% ¼ºÀåÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù"¸ç À̰°ÀÌ ¸»Çß´Ù.
Æç¸®Å¬Àº ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤¿¡¼ Æ÷Å丶½ºÅ©¸¦ º¸È£ÇÏ´Â Ãʹڸ· Çʸ§ÀÌ´Ù. EUV ±¤¿øÀº ±âÁ¸ ºÒȾƸ£°ï(ArF) ´ëºñ ¿¡³ÊÁö°¡ ÈξÀ ³ô´Ù. À̷κÎÅÍ Àå´ç ¼ö¾ï¿ø´ëÀÎ EUV ¸¶½ºÅ©¸¦ º¸È£ÇÏ·Á¸é °í³»¿¡¤°í±â°èÀû ¾ÈÁ¤¼ºÀ» °®Ãá ½Å¼ÒÀç°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.
FST´Â »ï¼ºÀüÀÚ¿Í EUV Æç¸®Å¬ °³¹ßÀ» ¸¶Ä¡°í ¾ç»êÀ» ¾ÕµÐ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁø´Ù. FSTÀÇ EUV Æç¸®Å¬Àº ź¼Ò³ª³ëÆ©ºê(CNT) ¸âºê·¹ÀÎÀ» ¿ÜºÎ ÇÁ·¹ÀÓ¿¡ ºÎÂøÇϰí, ¼ö¼Ò Çö󽺸¶ ȯ°æ¿¡¼ ³»±¸¼ºÀ» ³ôÀ̰íÀÚ Ãß°¡ ÄÚÆÃÀ» ÇÑ ±¸Á¶´Ù.
ÃÖ ºÎ»çÀåÀº "EUV ½ºÄ³³Ê Ãâ·ÂÀÌ ºü¸£°Ô »óÇâ ÁßÀ̰í, 2026~2027³â ¾ç»ê µµÀÔÀÌ ¿¹»óµÇ´Â ÇÏÀÌ NA(High Numerical Aperture) °øÁ¤Àº ¿ ¿¡³ÊÁö¸¦ °ßµô ¼ö ÀÖ´Â ¼ÒÀç°¡ ÇÙ½ÉÀε¥, ÀÌ Á¶°Ç¿¡¼ CNT Æç¸®Å¬ÀÌ ÃÖÀû ´ë¾ÈÀ¸·Î ºÎ»óÇß´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù. ÇÏÀÌ NA EUV Àåºñ´Â ±âÁ¸ EUV º¸´Ù ´õ Å« °³±¸¼ö(NA)¸¦ Àû¿ëÇØ ÇØ»óµµ¸¦ Å©°Ô Çâ»ó½ÃŲ Â÷¼¼´ë ³ë±¤ Àåºñ¸¦ ¶æÇÑ´Ù.
½ÇÁõ Æò°¡µµ Çϰí ÀÖ´Ù. ±×´Â "°í°´»ç EUV ½ºÄ³³Ê¿¡¼ Á÷Á¢ Æò°¡Çß°í, ÇöÀç±îÁö 400W ÀÌ»ó Ãâ·Â Á¶°Ç¿¡¼ Àû¿ë °¡´ÉÇÏ´Ù´Â Á¡À» È®ÀÎÇß´Ù"¸ç "5ų·Î(k) ÀÌ»ó ¶óÀÌÇÁŸÀÓ ¿ª½Ã EUV ½ºÄ³³Ê ȯ°æ¿¡¼ °ËÁõÇß´Ù"°í ¸»Çß´Ù. ÇöÀç´Â 500W±Þ Ãâ·Â Á¶°Ç¿¡¼ Ãß°¡ Æò°¡ ÁßÀÌ´Ù.
ASML ¼³ºñ(µ¦½ºÅÍ)¸¦ Ȱ¿ëÇÑ Æò°¡µµ º´Çà ÁßÀÌ´Ù. ÃÖ ºÎ»çÀåÀº 'µ¦½ºÅÍ¿¡¼´Â ´©Àû 11k ¼öÁرîÁö ³ë±¤ÀÌ °¡´ÉÇÑ °ÍÀ» È®ÀÎÇß°í, ÇöÀç Ãß°¡ Æò°¡ Áß"À̶ó°í Çß´Ù.
ÃÖ ºÎ»çÀåÀº "CNT Æç¸®Å¬ ´Ü°¡ ºÎ´ãÀÌ ÀûÁø ¾Ê´Ù"¸é¼µµ "Æç¸®Å¬ ¹Ì»ç¿ë ½Ã ÇÊ¿äÇÑ °í°¡ °Ë»çÀåºñ ÅõÀÚ, ½ºÄ³³Ê °ü¸®ºñ¿ë, ¸¶½ºÅ© Ãß°¡ Á¦ÀÛ°ú ÆÄ¼Õ À§Çè±îÁö Á¾ÇÕÇϸé, °øÁ¤ ¹Ì¼¼È¿Í ÇÏÀÌ NA EUV µµÀÔÀÌ ÁøÇàµÉ¼ö·Ï Æç¸®Å¬ äÅ÷üÀº ³ô¾ÆÁú ¼ö¹Û¿¡ ¾ø´Â ±¸Á¶"¶ó°í °Á¶Çß´Ù.
¹ÝµµÃ¼ Àç·á/Àåºñ Àü¹®¾÷ü. Æ÷Å丶½ºÅ©¿ë º¸È£¸·ÀÎ Æç¸®Å¬(Pellicle)°ú ¹ÝµµÃ¼°øÁ¤Áß ½Ä°¢°øÁ¤¿¡¼ Process Chamber ³» ¿ÂµµÁ¶ÀýÀåºñÀΠĥ·¯(Chiller)¸¦ ÁÖ·ÂÀ¸·Î »ý»ê. ±¹³» À¯ÀÏÀÇ Æç¸®Å¬(Æ÷Å丶½ºÅ© ¿À¿°¹æÁö ºÎǰ, ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Æç¸®Å¬ M/S 80% ¼öÁØ) Á¦Á¶ ¾÷üÀ̸ç, FPD¿ë Æç¸®Å¬(Pellicle) »ç¾÷µµ ¿µÀ§.
½Å±Ô»ç¾÷À¸·Î EUV °øÁ¤¿¡ ÀûÇÕÇÑ EUV PellicleÀ» ¿¬±¸°³¹ßÁßÀ̸ç, ÀåºñºÎ¹®¿¡¼´Â EUV Pellicle mounter & demounter, EUV Pellicle ¹× EUV Pod °Ë»ç Àåºñ °³¹ßÀ» ¿Ï·á. ÀϺΠÁ¦Ç°Àº 23³â °í°´»ç µ¥¸ð ¿Ï·áÈÄ ÆÇ¸Å Àüȯ.
ÃÖ´ëÁÖÁÖ´Â Àå¸í½Ä ¿Ü(24.26%), ÁÖ¿äÁÖÁÖ´Â »ï¼ºÀüÀÚ(7.00%).
2024³â ¿¬°á±âÁØ ¸ÅÃâ¾×Àº 2374.08¾ïÀ¸·Î Àü³â´ëºñ 20.1% Áõ°¡. ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 22.87¾ïÀ¸·Î 107.82¾ï ÀûÀÚ¿¡¼ ÈæÀÚÀüȯ. ´ç±â¼øÀÌÀÍÀº 32.42¾ï ÀûÀÚ·Î 181.03¾ï ÀûÀÚ¿¡¼ ÀûÀÚÆø ´ëÆø Ãà¼Ò.
2003³â 3¿ù10ÀÏ 510¿ø¿¡¼ ¹Ù´ÚÀ» ÂïÀº ÈÄ 2024³â 6¿ù11ÀÏ 41142¿ø¿¡¼ ÃÖ°í°¡¸¦ Âï°í Á¶Á¤¿¡ µé¾î°£ ¸ð½À¿¡¼ 12¿ù9ÀÏ 13950¿ø¿¡¼ ¸¶¹«¸®ÇÑ ÀÌÈÄ ÀÛ³â 10¿ù24ÀÏ 39966¿ø¿¡¼ °íÁ¡À» Âï°í ¹Ð·ÈÀ¸³ª 12¿ù1ÀÏ 25586¿ø¿¡¼ ÀúÁ¡À» ÂïÀº ¸ð½ÀÀÔ´Ï´Ù. ÀÌÈÄ µî¶ôÀ» º¸ÀÌ´Â °¡¿îµ¥ Á¡Â÷ ÀúÁ¡°ú °íÁ¡À» ³ôÇô¿À´Â ¸ð½À¿¡¼ ¿Ã 1¿ù29ÀÏ 51300¿ø¿¡¼ °íÁ¡À» Âï°í ¹Ð·ÈÀ¸³ª 2¿ù6ÀÏ 38400¿ø¿¡¼ ÀúÁ¡À» ÂïÀº ÈÄ 2¿ù10ÀÏ 46100¿ø¿§¼ °íÁ¡À» Âï°í ¹Ð·ÈÀ¸³ª 26ÀÏ 38700¿ø¿¡¼ ÀúÁ¡À» Âï°í ÀúÁ¡À» ³ôÈ÷´Â ÁßÀ¸·Î, ÀÌÁ¦ºÎÅÏ ¹Ð¸±¶§¸¶´Ù ¹°·® ¸ð¾ÆµÑ ±âȸ·Î º¸¿©Áý´Ï´Ù.
¼ÕÀýÁ¡Àº 41850¿øÀ¸·Î º¸½Ã°í ÃÖ´ëÇÑ ÀúÁ¡À» ³ë¸®½Ã¸é µÇ°Ú½À´Ï´Ù. 43600¿ø ÀüÈÄ¸é ¹«³ÇØ º¸ÀÌ¸ç ºÐÇҸżöµµ °í·ÁÇØ º¼¼ö ÀÖ°Ú½À´Ï´Ù.¸ñÇ¥°¡´Â 1Â÷·Î 48000¿ø ºÎ±Ù¿¡¼ Çѹø Â÷ÀͽÇÇöÀ» °í·ÁÇØ º¸½Ã°í ÀÌÈÄ ´¸±½Ã ÁöÁöµÇ´Â ÀúÁ¡¿¡¼ Àç°ø·« ÇÏ½Ã¸é µÇ°Ú½À´Ï´Ù. 2Â÷´Â 52800¿ø ÀÌ»óÀ» ±â´ë ÇÕ´Ï´Ù.
°¨»çÇÕ´Ï´Ù.


