ÁÖ½ÄÁ¾ÇÕÅä·Ð

±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀ硤Àåºñ ±â¾÷ ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼(FST)°¡ »ï¼ºÀüÀÚÀÇ Â÷¼¼´ë 2³ª³ë¹ÌÅÍ(§¬) ¹ÝµµÃ¼ »ý»êÀ» À§ÇÑ °ø±Þ¸Á¿¡ ÁøÀÔÇß´Ù. ±×°£ ÀϺ» ¹Ì¾²ÀÌÈÇÐÀÌ µ¶Á¡Çؿ ±ØÀڿܼ±(EUV) °øÁ¤ÀÇ ÇÙ½É ¼ÒÀçÀÎ Æç¸®Å¬ Àåºñ¸¦ »ï¼ºÀüÀÚ¿¡ °ø±ÞÇÏ´Â °è¾àÀ» µû³Â´Ù. »ï¼ºÀüÀÚÀÇ 2³ª³ë °øÁ¤ ¼º°øÀ» Á¿ìÇÒ ÇÙ½É ¼ÒÀç °ø±Þ»ç·Î ºÎ»óÇß´Ù´Â ºÐ¼®ÀÌ´Ù.
1¿ù22ÀÏ ÅõÀÚÀºÇà(IB) ¾÷°è¿¡ µû¸£¸é ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â ÃÖ±Ù »ï¼ºÀüÀڷκÎÅÍ ¾à 240¾ï¿ø ±Ô¸ðÀÇ ±ØÀڿܼ±(EUV) ÀÎÇÁ¶ó Àåºñ¸¦ ¼öÁÖÇß´Ù. °ø±Þ ´ë»óÁö´Â »ï¼ºÀüÀÚ ÆÄ¿îµå¸®ÀÇ ÃÖ÷´Ü ÀüÃʱâÁöÀÎ ¹Ì±¹ Å×ÀÏ·¯ °øÀåÀ¸·Î ÆÄ¾ÇµÆ´Ù.
¼öÁÖ Ç°¸ñÀº ¡âEPMD(Æç¸®Å¬ ÀÚµ¿ Å»ºÎÂø Àåºñ) ¡âEPIS(Æç¸®Å¬ ¸·¡¤ÇÁ·¹ÀÓ À̹°Áú °Ë»ç Àåºñ) ¡âEPODIS(ÀÌ¼Û ¿ë±â °Ë»ç Àåºñ) µî ÃÑ 3Á¾ÀÌ´Ù. ÀÌ ÀåºñµéÀº ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼°¡ »ï¼º°ú °øµ¿ °³¹ß ÁßÀÎ Â÷¼¼´ë ¼ÒÀç 'CNT(ź¼Ò³ª³ëÆ©ºê) Æç¸®Å¬'ÀÇ °Ë»ç¿Í ÀåÂøÀ» À§ÇØ ¼³°èµÈ Àü¿ë ¼³ºñµéÀÌ´Ù.
½ÃÀå¿¡¼´Â À̹ø ¼öÁÖ ±Ô¸ð¸¦ °¨¾ÈÇÒ ¶§ °ø½Ã°¡ ÀÌ·ç¾îÁöÁö ¾ÊÀº ¹è°æ¿¡ ÁÖ¸ñÇϰí ÀÖ´Ù. IB¾÷°è °ü°èÀÚ´Â "ÇØ´ç ¼öÁÖ °ÇÀº Áö³ÇØ 12¿ù°ú ¿ÃÇØ 1¿ù¿¡ °ÉÃÄ °ø½Ã ±âÁØ¿¡ ¹Ì´ÞÇÏ´Â ¼öÁØÀ¸·Î ºÐÇÒ ¹ßÁÖµÈ °ÍÀ¸·Î ÆÄ¾ÇµÈ´Ù"¸ç "»ï¼ºÀüÀÚ°¡ º¸¾ÈÀ» À¯ÁöÇϸ鼵µ ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î °ø±Þ¸ÁÀ» È®º¸ÇÏ·Á´Â Àü·«Àû Á¶Ä¡·Î ÇØ¼®µÈ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ ÁÖ°¡°¡ »ó½Â¼¼´Ù. 1¿ù4ÀÏ Çѱ¹°Å·¡¼Ò¿¡ µû¸£¸é Àü °Å·¡ÀÏ 3.43% ¿Ã¶ó 3¸¸ 1700¿ø¿¡ °Å·¡µÇ°í ÀÖ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ¹Ì¼¼È °æÀïÀÌ ±Ø´ÜÀ¸·Î Ä¡´ÝÀ¸¸é¼, ±â¼ú ÁÖµµ±ÇÀº ´Ü¼øÇÑ Àåºñ ¼º´ÉÀ» ³Ñ¾î ¡®°øÁ¤ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» ´©°¡ È®º¸ÇÏ´À³Ä¡¯·Î À̵¿, ÁÖ°¡¿¡ ±àÁ¤Àû ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ÇØ¼®µÈ´Ù.
ÀÌ °úÁ¤¿¡¼ ƯÁ¤ ¼ÒÀ硤ºÎǰ ±â¾÷ÀÌ Àü·«Àû °¡Ä¡°¡ ±Þ°ÝÈ÷ »ó½ÂÇÏ´Â ±¹¸éÀÌ ³ªÅ¸³´Ù°í º¸°í ÀÖ´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â ÃÖ±Ù »ï¼ºÀüÀÚ¿ÍÀÇ CNT(ź¼Ò³ª³ëÆ©ºê) Æç¸®Å¬ °øµ¿°³¹ß ¼º°øÀ» °è±â·Î, Â÷¼¼´ë ³ë±¤ °øÁ¤ÀÇ ÇÙ½É °ø±Þ¸ÁÀ¸·Î ºÎ»óÇϰí ÀÖ´Ù´Â Æò°¡¸¦ ¹Þ°í ÀÖ´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿ë ÇÙ½É ¼ÒÀ硤ºÎǰ ±â¾÷À¸·Î, ³ë±¤ °øÁ¤¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â Æç¸®Å¬ ºÐ¾ß¿¡¼ ±â¼ú·ÂÀ» ÃàÀûÇØ¿Ô´Ù. Æç¸®Å¬Àº EUV(±ØÀڿܼ±) ³ë±¤ °úÁ¤¿¡¼ ¸¶½ºÅ©¸¦ ¿À¿°À¸·ÎºÎÅÍ º¸È£ÇÏ´Â Çʼö ºÎǰÀ¸·Î, °øÁ¤ ¼öÀ²°ú Á÷°áµÈ´Ù. ±âÁ¸ ½Ç¸®ÄÜ °è¿ Æç¸®Å¬Àº Åõ°úÀ²°ú ³»±¸¼º¿¡¼ ÇѰ踦 µå·¯³»¿Ô°í, ¹Ì¼¼ °øÁ¤ÀÌ ÁøÈÇÒ¼ö·Ï ´ëü ±â¼úÀÇ Çʿ伺ÀÌ Ä¿Á®¿Ô´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼°¡ »ï¼ºÀüÀÚ¿Í °øµ¿À¸·Î °³¹ßÇÑ CNT Æç¸®Å¬Àº ±â¼úÀû ÀüȯÁ¡À¸·Î Æò°¡µÈ´Ù. CNT ±â¹Ý Æç¸®Å¬Àº ±âÁ¸ ´ëºñ ³ôÀº ±¤ Åõ°úÀ²°ú ¿ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» µ¿½Ã¿¡ È®º¸ÇÒ ¼ö ÀÖ¾î, Â÷¼¼´ë ¹Ì¼¼ °øÁ¤¿¡ ÀûÇÕÇÑ ¼Ö·ç¼ÇÀ¸·Î ²ÅÈù´Ù.
´Ü¼øÇÑ ¼ÒÀç °³¼±ÀÌ ¾Æ´Ï¶ó, EUV °øÁ¤ÀÇ º´¸ñÀ» ±¸Á¶ÀûÀ¸·Î ÇØ¼ÒÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼úÀ̶ó´Â Á¡¿¡¼ ½ÃÀåÀÇ °ü½ÉÀÌ ÁýÁߵǰí ÀÖ´Ù.
À̹ø °øµ¿°³¹ß ¼º°øÀÌ ´Ü¹ß¼º ¼º°ú°¡ ¾Æ´Ï¶ó´Â Á¡¿¡ ÁÖ¸ñÇÑ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ°¡ °ú°Å ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼¿¡ ¾à 430¾ï ¿ø ±Ô¸ðÀÇ ÅõÀÚ¸¦ ´ÜÇàÇÑ ÀÌ·ÂÀº, ÇØ´ç ±â¼úÀÌ ´Ü¼ø Çù·Â ¼öÁØÀ» ³Ñ¾î Àå±âÀûÀÎ °øÁ¤ Àü·«°ú ¿¬°áµÅ ÀÖÀ½À» ½Ã»çÇÑ´Ù. ÀÌ´Â °í°´»ç¿ÍÀÇ °ü°è°¡ ¡®³³Ç°¾÷ü¡¯¿¡¼ ¡®°øÁ¤ ÆÄÆ®³Ê¡¯·Î °Ý»óµÆ´Ù´Â ÀÇ¹Ì·Î ÇØ¼®µÈ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ÀÇ È¸º¹ ±¹¸é°ú ¸Â¹°¸®¸ç, ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ÀÇ Àü·«Àû À§Ä¡´Â ´õ¿í ºÎ°¢µÇ°í ÀÖ´Ù. ÆÄ¿îµå¸® °æÀïÀÌ 2³ª³ë ÀÌÇÏ °øÁ¤À¸·Î ÁøÀÔÇÒ¼ö·Ï EUV Ȱ¿ëµµ´Â ³ô¾ÆÁö°í, Æç¸®Å¬ÀÇ ¼º´ÉÀº »ý»ê¼º¿¡ Á÷Á¢ÀûÀÎ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ£´Ù. ¿©±â¿¡ HBM4 ¾ç»êÀÌ º»°ÝȵǸé, Ãʹ̼¼ °øÁ¤¿¡¼ÀÇ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ ³ë±¤ ±â¼ú È®º¸´Â Çʼö Á¶°ÇÀÌ µÈ´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â ÀÌ·¯ÇÑ º¯È ¼Ó¿¡¼ °øÁ¤ È®Àå¿¡ µû¶ó ÀÚ¿¬½º·´°Ô ¼ö¿ä°¡ Áõ°¡ÇÏ´Â ±¸Á¶¸¦ °®Ãè´Ù.
ƯÁ¤ Á¦Ç° ÆÇ¸Å Áõ°¡º¸´Ù, °í°´»çÀÇ °øÁ¤ ·Îµå¸ÊÀÌ ÁøÈÇÒ¼ö·Ï äÅà °¡´É¼ºÀÌ ³ô¾ÆÁö´Â ±¸Á¶´Ù. ÀÌ´Â ¹ÝµµÃ¼ ¾÷Ȳ º¯µ¿¼º°ú º°°³·Î ±â¼ú °¡Ä¡°¡ ´©ÀûµÇ´Â »ç¾÷ ¸ðµ¨À̶ó´Â Á¡¿¡¼ ÅõÀÚ ¸Å·ÂÀ» ³ôÀÌ´Â ¿äÀÎÀ¸·Î ÀÛ¿ëÇÑ´Ù.
½ÃÀå¿¡¼´Â CNT Æç¸®Å¬ÀÇ ¾ç»ê Àû¿ë ¿©ºÎ¿Í Àû¿ë ¹üÀ§ È®´ë¸¦ ÁßÀå±â °üÀü Æ÷ÀÎÆ®·Î º¸°í ÀÖ´Ù.
±â¼ú °ËÁõÀ» Åë°úÇÑ ¼ÒÀç´Â °øÁ¤ º¯°æÀÌ ½±Áö ¾ÊÀº ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ Ư¼º»ó Àå±â°£ °ø±Þ ÁöÀ§¸¦ À¯ÁöÇÒ °¡´É¼ºÀÌ ³ô´Ù. ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼°¡ »ï¼ºÀüÀÚ¿ÍÀÇ Çù¾÷À» ¹ßÆÇÀ¸·Î ±Û·Î¹ú ÆÄ¿îµå¸® °ø±Þ¸Á¿¡¼ Á¸Àç°¨À» Ű¿ï ¼ö ÀÖÀ»Áö ÁÖ¸ñµÈ´Ù.
¹ÙÀÌ¿ÀÀνÄ(»ýüÀνÄ) °ü·ÃÁÖ ¿¢½ºÆä¸¯½º ¾Ëü¶ó µ¿¿î¾Æ³ªÅØ ½ÃÅ¥¼¾ ¶ó¿Â½ÃÅ¥¾î ÆÄ¿ö·ÎÁ÷½º À¯´ÏÄù½ºÆ® ÆÄÆ®·Ð µå¸²½ÃÅ¥¸®Æ¼ ÇØ¼º¿Éƽ½º À¯´Ï¿ÂÄ¿¹Â´ÏƼ ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ ¿¥¾¾³Ø½º ½ÃÅ¥ºê µå¸²ÅØ ¿¢½ºÆä¸¯½º ¾¾À¯¹Ú½ºµµ ÀÖ´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ÀÇ ÅõÀÚ ³í¸®´Â ´Ü±â ½ÇÀû °¡½Ã¼ºº¸´Ù, ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼È °æÀïÀÇ ¹æÇ⼺°ú ¸Â´ê¾Æ ÀÖ´Ù. EUV ÀÌÈĸ¦ ÁغñÇÏ´Â °øÁ¤¼ÒÀç ±â¾÷, »ï¼º ÆÄ¿îµå¸® Àü·«ÀÇ ÇÙ½É ÃàÀ¸·Î ÀÚ¸® ÀâÀ» ¼ö ÀÖ´ÂÁö ¿©ºÎ°¡ ÇâÈÄ ±â¾÷°¡Ä¡ÀÇ º¯°îÁ¡À» °¡¸¦ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼(FST)°¡ "±ØÀڿܼ±(EUV) Æç¸®Å¬(Pellicle)Àº ÇöÀç ¹ÝµµÃ¼ ÆÄ¿îµå¸® ÂÊ¿¡¼ ÁÖ·Î ¾²À̰í ÀÖÀ¸³ª, EUV ³ë±¤ ±â¼ú(EUVT) ¾ÈÁ¤¼º°ú Æç¸®Å¬ ¼ö¸íÀÌ ÀÏÁ¤ ¼öÁØ¿¡ µµ´ÞÇÒ °æ¿ì ¸Þ¸ð¸®¿¡¼µµ ä¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
ÃÖÀçÇõ FST ºÎ»çÀåÀº Áö³ 12¿ù11ÀÏ ¼¿ï °³² Æ÷½ºÄÚŸ¿ö ¿ª»ï¿¡¼ ¿¸° µðÀÏ·º ÁÖÃÖ '2026³â ¹ÝµµÃ¼ 3´ë ±â¼ú Æ®·»µå ÄÜÆÛ·±½º'¿¡¼ "±Û·Î¹ú EUV Æç¸®Å¬ ½ÃÀåÀº 2024³â ±âÁØ 7200¸¸~5¾ï5800¸¸´Þ·¯ ±Ô¸ð·Î ÃßÁ¤µÇ¸ç°í, 2033³â±îÁö ¿¬Æò±Õ(CAGR) 14.2% ¼ºÀåÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù"¸ç À̰°ÀÌ ¸»Çß´Ù.
Æç¸®Å¬Àº ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤¿¡¼ Æ÷Å丶½ºÅ©¸¦ º¸È£ÇÏ´Â Ãʹڸ· Çʸ§ÀÌ´Ù. EUV ±¤¿øÀº ±âÁ¸ ºÒȾƸ£°ï(ArF) ´ëºñ ¿¡³ÊÁö°¡ ÈξÀ ³ô´Ù. À̷κÎÅÍ Àå´ç ¼ö¾ï¿ø´ëÀÎ EUV ¸¶½ºÅ©¸¦ º¸È£ÇÏ·Á¸é °í³»¿¡¤°í±â°èÀû ¾ÈÁ¤¼ºÀ» °®Ãá ½Å¼ÒÀç°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.
FST´Â »ï¼ºÀüÀÚ¿Í EUV Æç¸®Å¬ °³¹ßÀ» ¸¶Ä¡°í ¾ç»êÀ» ¾ÕµÐ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁø´Ù. FSTÀÇ EUV Æç¸®Å¬Àº ź¼Ò³ª³ëÆ©ºê(CNT) ¸âºê·¹ÀÎÀ» ¿ÜºÎ ÇÁ·¹ÀÓ¿¡ ºÎÂøÇϰí, ¼ö¼Ò Çö󽺸¶ ȯ°æ¿¡¼ ³»±¸¼ºÀ» ³ôÀ̰íÀÚ Ãß°¡ ÄÚÆÃÀ» ÇÑ ±¸Á¶´Ù.
ÃÖ ºÎ»çÀåÀº "EUV ½ºÄ³³Ê Ãâ·ÂÀÌ ºü¸£°Ô »óÇâ ÁßÀ̰í, 2026~2027³â ¾ç»ê µµÀÔÀÌ ¿¹»óµÇ´Â ÇÏÀÌ NA(High Numerical Aperture) °øÁ¤Àº ¿ ¿¡³ÊÁö¸¦ °ßµô ¼ö ÀÖ´Â ¼ÒÀç°¡ ÇÙ½ÉÀε¥, ÀÌ Á¶°Ç¿¡¼ CNT Æç¸®Å¬ÀÌ ÃÖÀû ´ë¾ÈÀ¸·Î ºÎ»óÇß´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù. ÇÏÀÌ NA EUV Àåºñ´Â ±âÁ¸ EUV º¸´Ù ´õ Å« °³±¸¼ö(NA)¸¦ Àû¿ëÇØ ÇØ»óµµ¸¦ Å©°Ô Çâ»ó½ÃŲ Â÷¼¼´ë ³ë±¤ Àåºñ¸¦ ¶æÇÑ´Ù.
½ÇÁõ Æò°¡µµ Çϰí ÀÖ´Ù. ±×´Â "°í°´»ç EUV ½ºÄ³³Ê¿¡¼ Á÷Á¢ Æò°¡Çß°í, ÇöÀç±îÁö 400W ÀÌ»ó Ãâ·Â Á¶°Ç¿¡¼ Àû¿ë °¡´ÉÇÏ´Ù´Â Á¡À» È®ÀÎÇß´Ù"¸ç "5ų·Î(k) ÀÌ»ó ¶óÀÌÇÁŸÀÓ ¿ª½Ã EUV ½ºÄ³³Ê ȯ°æ¿¡¼ °ËÁõÇß´Ù"°í ¸»Çß´Ù. ÇöÀç´Â 500W±Þ Ãâ·Â Á¶°Ç¿¡¼ Ãß°¡ Æò°¡ ÁßÀÌ´Ù.
ASML ¼³ºñ(µ¦½ºÅÍ)¸¦ Ȱ¿ëÇÑ Æò°¡µµ º´Çà ÁßÀÌ´Ù. ÃÖ ºÎ»çÀåÀº 'µ¦½ºÅÍ¿¡¼´Â ´©Àû 11k ¼öÁرîÁö ³ë±¤ÀÌ °¡´ÉÇÑ °ÍÀ» È®ÀÎÇß°í, ÇöÀç Ãß°¡ Æò°¡ Áß"À̶ó°í Çß´Ù.
ÃÖ ºÎ»çÀåÀº "CNT Æç¸®Å¬ ´Ü°¡ ºÎ´ãÀÌ ÀûÁø ¾Ê´Ù"¸é¼µµ "Æç¸®Å¬ ¹Ì»ç¿ë ½Ã ÇÊ¿äÇÑ °í°¡ °Ë»çÀåºñ ÅõÀÚ, ½ºÄ³³Ê °ü¸®ºñ¿ë, ¸¶½ºÅ© Ãß°¡ Á¦ÀÛ°ú ÆÄ¼Õ À§Çè±îÁö Á¾ÇÕÇϸé, °øÁ¤ ¹Ì¼¼È¿Í ÇÏÀÌ NA EUV µµÀÔÀÌ ÁøÇàµÉ¼ö·Ï Æç¸®Å¬ äÅ÷üÀº ³ô¾ÆÁú ¼ö¹Û¿¡ ¾ø´Â ±¸Á¶"¶ó°í °Á¶Çß´Ù.
ÀÛ³â 3ºÐ±â ¿¬°á±âÁØ ¸ÅÃâ¾×Àº 655.00¾ïÀ¸·Î Àü³âµ¿±â´ëºñ ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 18.72¾ï ÀûÀÚ·Î 2.97¾ï¿¡¼ ÀûÀÚÀüȯ. ´ç±â¼øÀÌÀÍÀº 67.66¾ï ÀûÀÚ·Î 15.15¾ï ÀûÀÚ¿¡¼ ÀûÀÚÆø È®´ë.
¿¬°á±âÁØ 3ºÐ±â ´©Àû¸ÅÃâ¾×Àº 2099.94¾ïÀ¸·Î Àü³âµ¿±â´ëºñ ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 26.12¾ïÀ¸·Î 20.26¾ï ÀûÀÚ¿¡¼ ÈæÀÚÀüȯ. ´ç±â¼øÀÌÀÍÀº 106.09¾ï ÀûÀÚ·Î 103.50¾ï ÀûÀÚ¿¡¼ ÀûÀÚÆø È®´ë.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ ÁÖ°¡°¡ °¼¼¸¦ º¸À̰í ÀÖ´Ù. ÀÛ³â 10¿ù24ÀÏ Çѱ¹°Å·¡¼Ò¿¡ µû¸£¸é À̳¯ ¿ÀÀü 9½Ã 5ºÐ ÇöÀç 7.85% ¿Ã¶ó 3¸¸ 6400¿ø¿¡ °Å·¡µÇ°í ÀÖ´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼°¡ ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼°øÁ¤ÀÇ ÇÙ½É ¼ÒÀçÀÎ EUV(±ØÀڿܼ±) Æç¸®Å¬ ½ÃÀå¿¡¼ »ï¼ºÀüÀÚ °ø±Þ¸Á¿¡ º»°Ý ÁøÀÔÇÒ Á¶ÁüÀ» º¸ÀÌ¸é¼ ÁÖ°¡¿¡ ±àÁ¤Àû ¿µÇâÀ» º¸À̰í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
¾÷°è¿¡¼´Â ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼°¡ ½ÃÁ¦Ç° ¾ç»êÀ» ¸¶Ä¡°í »ï¼ºÀüÀÚ¿¡ ´ëÇÑ °ø±ÞÀ» ¾ÕµÐ ´Ü°è·Î Æò°¡Çϸé¼, ±¹»ê Æç¸®Å¬ÀÇ »ó¿ëÈ ¿ø³âÀ̶ó´Â ±â´ë°¨ÀÌ Ä¿Áö°í ÀÖ´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Àåºñ¿Í ¼ÒÀç ºÐ¾ß¿¡¼ ²ÙÁØÈ÷ ±â¼ú·ÂÀ» ½×¾Æ¿Â ±â¾÷À¸·Î, EUV Æç¸®Å¬Àº ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ ¿þÀÌÆÛ¿¡ »õ±æ ¶§ ¿À¿°À» ¹æÁöÇÏ´Â º¸È£¸· ¿ªÇÒÀ» ÇÏ´Â ÇÙ½É ºÎǰÀÌ´Ù.
EUV ³ë±¤ ÀåºñÀÇ µµÀÔÀÌ °¡¼ÓÈµÇ¸é¼ Æç¸®Å¬Àº ¹Ì¼¼°øÁ¤ÀÇ º´¸ñÀ» Ǫ´Â ¿¼è·Î ºÒ¸°´Ù. Áö±Ý±îÁö´Â ÀϺ» ¹Ì¾²ÀÌÄɹÌÄà µî ¼Ò¼ö ÇØ¿Ü¾÷ü°¡ ½ÃÀåÀ» µ¶Á¡ÇßÁö¸¸, ÃÖ±Ù ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼°¡ ¾ç»ê ´Ü°è¿¡ ÁøÀÔÇÏ¸é¼ ¡®EUV Æç¸®Å¬ ±¹»êÈ¡¯ÀÇ Çö½ÇȰ¡ ´«¾Õ¿¡ ´Ù°¡¿Ô´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â Áö³ 2³â°£ ÀÚü ¿¬±¸°³¹ß(R&D)À» ÅëÇØ EUV Æç¸®Å¬ÀÇ ½ÃÁ¦Ç°À» ¿Ï¼ºÇϰí, »ï¼ºÀüÀÚ¿Í ¿©·¯ Â÷·Ê Æò°¡ Å×½ºÆ®¸¦ ÁøÇàÇØ¿Ô´Ù.
ȸ»ç °ü°èÀÚ´Â ¡°ÃÖ±Ù ¾ç»ê ¼öÁØÀÇ ½ÃÁ¦Ç°À» ³³Ç°Çß°í, °í°´»ç(»ï¼ºÀüÀÚ)ÀÇ °ËÁõÀÌ ¸¶¹«¸® ´Ü°è¿¡ ÀÖ´Ù¡±¸ç ¡°¿¬³» °¡½ÃÀûÀÎ °ø±Þ °è¾à ü°áÀ» ±â´ëÇϰí ÀÖ´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù.
¾÷°è °ü°èÀÚµéÀº ¡°»ï¼ºÀüÀÚ°¡ ³»³â HBM4(°í´ë¿ªÆø ¸Þ¸ð¸®)¿Í 2nm ÆÄ¿îµå¸® ¾ç»êÀ» ¾ÕµÎ°í ÀÖ¾î, ±¹³» °ø±Þ¸ÁÀ» °ÈÇÏ·Á´Â ¿òÁ÷ÀÓÀÌ ¶Ñ·ÇÇÏ´Ù¡±¸ç ¡°EUV Æç¸®Å¬ ºÐ¾ß¿¡¼µµ ±¹»ê Á¦Ç°ÀÌ Ã¤ÅÃµÉ °¡´É¼ºÀÌ ³ô´Ù¡±°í Àü¸ÁÇß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚÀÇ ÆÄ¿îµå¸®(¹ÝµµÃ¼ À§Å¹»ý»ê) ºÎ¹® ȸº¹¼¼°¡ º»°ÝȵǸé, Æç¸®Å¬ ¼ö¿ä°¡ Æø¹ßÀûÀ¸·Î ´Ã¾î³¯ Àü¸ÁÀÌ´Ù. ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â EUV Æç¸®Å¬ ¾ç»ê»Ó ¾Æ´Ï¶ó Â÷¼¼´ë Æç¸®Å¬¿ë ¼ÒÀç¿Í °ËÁõ Àåºñµµ ÇÔ²² °ø±ÞÇÒ ¼ö Àִ ü°è¸¦ °®Ãç, ¡®ÅäÅÐ ¼Ö·ç¼Ç¡¯ ±â¾÷À¸·Î ÀÚ¸® Àâ°í ÀÖ´Ù.
HBM(°í´ë¿ªÆø ¸Þ¸ð¸®)Àº AI ¹ÝµµÃ¼ ½Ã´ëÀÇ ÇÙ½É ºÎǰÀÌ´Ù. ¿£ºñµð¾Æ¸¦ ºñ·ÔÇÑ ±Û·Î¹ú ºòÅ×Å©µéÀÌ Â÷¼¼´ë HBM4 äÅÃÀ» Áغñ ÁßÀÎ °¡¿îµ¥, »ï¼ºÀüÀÚ´Â ³»³â »ó¹Ý±â º»°Ý ¾ç»êÀ» ¸ñÇ¥·Î ¶óÀÎÀ» Áõ¼³Çϰí ÀÖ´Ù. ÀÌ °úÁ¤¿¡¼ EUV °øÁ¤ Àû¿ë ¹üÀ§°¡ ´ëÆø È®´ëµÇ¸ç, Æç¸®Å¬ÀÇ Á߿伺ÀÌ ±× ¾î´À ¶§º¸´Ù Ä¿Á³´Ù.
½ÃÀåÁ¶»ç¾÷ü Æ®·»µåÆ÷½º¿¡ µû¸£¸é, HBM4 °øÁ¤¿¡¼ EUV ³ë±¤ Àåºñ »ç¿ë ºñÁßÀº ±âÁ¸ ´ëºñ 2¹è ÀÌ»ó Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù. ÀÌ¿¡ µû¶ó Æç¸®Å¬ÀÇ ¼ö¿äµµ µ¿¹Ý »ó½ÂÀÌ ºÒ°¡ÇÇÇÏ´Ù.
ÇÑ Áõ±Ç»ç ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â ¡°¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â ±¹³» À¯ÀÏÇÏ°Ô EUV Æç¸®Å¬À» ¾ç»ê ¼öÁØÀ¸·Î ²ø¾î¿Ã¸° ±â¾÷À¸·Î, HBM4 ¾ç»êÀÌ º»°ÝȵǸé Á÷Á¢ÀûÀÎ ¼öÇý°¡ ¿¹»óµÈ´Ù¡±°í ºÐ¼®Çß´Ù.
EUV Æç¸®Å¬Àº µÎ²²°¡ 50³ª³ë¹ÌÅÍ(§¬)¿¡ ºÒ°úÇÑ Ãʹڸ· Çʸ§ÀÌ´Ù. °øÁ¤ Áß ¹Ì¼¼ÇÑ ¿À¿°À̳ª º¯ÇüÀÌ ¹ß»ýÇÏ¸é ¼öõ¸¸ ´Þ·¯ ±Ô¸ðÀÇ ¼Õ½Ç·Î À̾îÁú ¼ö ÀÖ¾î, ±â¼úÀû ÁøÀÔ À庮ÀÌ ¸Å¿ì ³ô´Ù. ±×µ¿¾È »ï¼ºÀüÀÚ¿Í SKÇÏÀ̴нº´Â ÀϺ»¡¤¹Ì±¹ ¾÷ü¿¡ ÀÇÁ¸ÇؿԴÙ.
ÇÏÁö¸¸ ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â µ¶ÀÚÀûÀÎ ¼ÒÀ硤°øÁ¤ ±â¼úÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î °í³»¿¼º, °íÅõ°úÀ², Àú°áÇÔ Æç¸®Å¬À» ±¸ÇöÇÏ´Â µ¥ ¼º°øÇß´Ù. ƯÈ÷ Æç¸®Å¬ ÇÁ·¹ÀÓ°ú ¼ÒÀçÀÇ ÀÏüÇü ±¸Á¶¸¦ ÅëÇØ ³»±¸¼º°ú ±ÕÀϼºÀ» È®º¸ÇÑ °ÍÀÌ °Á¡À¸·Î ²ÅÈù´Ù.
¾÷°è °ü°èÀÚ´Â ¡°»ï¼ºÀüÀÚ°¡ ±¹»ê Æç¸®Å¬À» äÅÃÇÏ¸é ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ÀÚ¸³ÀÇ »ó¡Àû ÀüȯÁ¡ÀÌ µÉ °Í¡±À̶ó¸ç ¡°±Û·Î¹ú ½ÃÀå¿¡¼µµ ¡®K-Æç¸®Å¬¡¯ ºê·£µåÀÇ ½Å·Úµµ°¡ ±Þ»ó½ÂÇÒ °¡´É¼ºÀÌ Å©´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â ¿ø·¡ ¹ÝµµÃ¼ Å×½ºÆ® Àåºñ¿Í ¿Âµµ Á¦¾î Àåºñ(TCU) ºÐ¾ß¿¡¼ °æÀï·ÂÀ» ½×¾Æ¿Â ȸ»ç´Ù. ±×·¯³ª ÃÖ±Ù ¸î ³â°£ R&D ÅõÀÚ¸¦ ÁýÁßÇÏ¸ç ¼ÒÀç ºÐ¾ß·Î ¿Ü¿¬À» ³ÐÇû´Ù. EUV Æç¸®Å¬, ±¤ÇмÒÀç, Á¤¹Ð Çʸ§ µî ¹Ì·¡ °øÁ¤ ÇÙ½É ¼ÒÀç·Î Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ ´Ù°¢ÈÇß´Ù.
ȸ»ç´Â ¡°»ï¼ºÀüÀÚ ¿Ü¿¡µµ ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ °í°´°úÀÇ Çù·Â ³íÀǰ¡ ÁøÇà Áß¡±À̶ó¸ç ¡°±¹³»»Ó ¾Æ´Ï¶ó ÇØ¿Ü ½ÃÀå¿¡¼µµ °ø±Þ ±âȸ¸¦ È®º¸ÇÒ °Í¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù. ½ÇÁ¦·Î ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â Æç¸®Å¬ °ü·Ã ±â¼ú·Î ±¹³»¿Ü 50¿© °ÇÀÇ Æ¯Ç㸦 º¸À¯Çϰí ÀÖÀ¸¸ç, ÀϺδ ¹Ì±¹°ú ´ë¸¸ ƯÇãû¿¡µµ µî·ÏµÅ ÀÖ´Ù.
Àü¹®°¡µéÀº ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ÀÇ Çຸ¸¦ EUV »ýŰèÀÇ ÇÙ½É ÃàÀ¸·Î Æò°¡ÇÑ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ¿ÍÀÇ °ø±Þ ü°è°¡ º»°Ý鵃 °æ¿ì, ȸ»çÀÇ ½ÇÀû°ú ±â¾÷°¡Ä¡ ¸ðµÎ ±Þ°ÝÈ÷ ¼ºÀåÇÒ °¡´É¼ºÀÌ ³ô´Ù´Â ºÐ¼®ÀÌ´Ù.
¾÷°è Àλç´Â ¡°EUV Æç¸®Å¬Àº ´Ü¼øÇÑ ºÎǰÀÌ ¾Æ´Ï¶ó ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» °áÁ¤Áþ´Â Àü·«¼ÒÀ硱¶ó¸ç ¡°±¹»êÈ ¼º°øÀº Çѱ¹ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ±â¼úÀû ÀÚ¸³À» ÀǹÌÇÑ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ÀÇ µµÀüÀº ´Ü¼øÈ÷ ÇÑ ±â¾÷ÀÇ ¼ºÀå ½ºÅ丮°¡ ¾Æ´Ï´Ù. ÇØ¿Ü ÀÇÁ¸µµ°¡ ³ô¾Ò´ø ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀçÀÇ ±¹»êÈ, ±×¸®°í »ï¼ºÀüÀÚ¿ÍÀÇ Àü·«Àû µ¿¹Ý ¼ºÀåÀ̶ó´Â ±¹°¡ »ê¾÷ °æÀï·ÂÀÇ »ó¡À¸·Î Æò°¡µÈ´Ù.
2024³â ¿¬°á±âÁØ ¸ÅÃâ¾×Àº 2374.08¾ïÀ¸·Î Àü³â´ëºñ 20.1% Áõ°¡. ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 22.87¾ïÀ¸·Î 107.82¾ï ÀûÀÚ¿¡¼ ÈæÀÚÀüȯ. ´ç±â¼øÀÌÀÍÀº 32.42¾ï ÀûÀÚ·Î 181.03¾ï ÀûÀÚ¿¡¼ ÀûÀÚÆø ´ëÆø Ãà¼Ò.
2023³â ¿¬°á±âÁØ ¸ÅÃâ¾×Àº 1976.09¾ïÀ¸·Î Àü³â´ëºñ 10.02% °¨¼Ò. ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 107.82¾ï ÀûÀÚ·Î 63.34¾ï¿¡¼ ÀûÀÚÀüȯ. ´ç±â¼øÀÌÀÍÀº 181.03¾ï ÀûÀÚ·Î 408.39¾ï¿¡¼ ÀûÀÚÀüȯ.
¹ÝµµÃ¼ Àç·á/Àåºñ Àü¹®¾÷ü. Æ÷Å丶½ºÅ©¿ë º¸È£¸·ÀÎ Æç¸®Å¬(Pellicle)°ú ¹ÝµµÃ¼°øÁ¤Áß ½Ä°¢°øÁ¤¿¡¼ Process Chamber ³» ¿ÂµµÁ¶ÀýÀåºñÀΠĥ·¯(Chiller)¸¦ ÁÖ·ÂÀ¸·Î »ý»ê. ±¹³» À¯ÀÏÀÇ Æç¸®Å¬(Æ÷Å丶½ºÅ© ¿À¿°¹æÁö ºÎǰ, ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Æç¸®Å¬ M/S 80% ¼öÁØ) Á¦Á¶ ¾÷üÀ̸ç, FPD¿ë Æç¸®Å¬(Pellicle) »ç¾÷µµ ¿µÀ§.
½Å±Ô»ç¾÷À¸·Î EUV °øÁ¤¿¡ ÀûÇÕÇÑ EUV PellicleÀ» ¿¬±¸°³¹ßÁßÀ̸ç, ÀåºñºÎ¹®¿¡¼´Â EUV Pellicle mounter & demounter, EUV Pellicle ¹× EUV Pod °Ë»ç Àåºñ °³¹ßÀ» ¿Ï·á. ÀϺΠÁ¦Ç°Àº 23³â °í°´»ç µ¥¸ð ¿Ï·áÈÄ ÆÇ¸Å Àüȯ.
ÃÖ´ëÁÖÁÖ´Â Àå¸í½Ä ¿Ü(24.26%), ÁÖ¿äÁÖÁÖ´Â »ï¼ºÀüÀÚ(7.00%).
2022³â ¿¬°á±âÁØ ¸ÅÃâ¾×Àº 2196.24¾ïÀ¸·Î Àü³â´ëºñ 6.09% Áõ°¡. ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 63.34¾ïÀ¸·Î 72.14% °¨¼Ò. ´ç±â¼øÀÌÀÍÀº 408.39¾ïÀ¸·Î 44.74% Áõ°¡.
2003³â 3¿ù10ÀÏ 510¿ø¿¡¼ ¹Ù´ÚÀ» ÂïÀº ÈÄ 2024³â 6¿ù11ÀÏ 41142¿ø¿¡¼ ÃÖ°í°¡¸¦ Âï°í Á¶Á¤¿¡ µé¾î°£ ¸ð½À¿¡¼ 12¿ù9ÀÏ 13950¿ø¿¡¼ ¸¶¹«¸®ÇÑ ÀÌÈÄ ÀÛ³â 10¿ù24ÀÏ 39966¿ø¿¡¼ °íÁ¡À» Âï°í ¹Ð·ÈÀ¸³ª 12¿ù1ÀÏ 25586¿ø¿¡¼ ÀúÁ¡À» ÂïÀº ¸ð½ÀÀÔ´Ï´Ù. ÀÌÈÄ µî¶ôÀ» º¸ÀÌ´Â °¡¿îµ¥ Á¡Â÷ ÀúÁ¡°ú °íÁ¡À» ³ôÇô¿À´Â ¸ð½À¿¡¼ ¿Ã 1¿ù29ÀÏ 51300¿ø¿¡¼ °íÁ¡À» Âï°í ¹Ð·ÈÀ¸³ª 2¿ù6ÀÏ 38400¿ø¿¡¼ ÀúÁ¡À» Âï°í ÀúÁ¡À» ³ôÈ÷´Â ÁßÀ¸·Î, ÀÌÁ¦ºÎÅÏ ÀúÁ¡À» ÁÙ¶§¸¶´Ù ¹°·® ¸ð¾ÆµÑ ±âȸ·Î º¸¿©Áý´Ï´Ù.
¼ÕÀýÁ¡Àº 40150¿øÀ¸·Î º¸½Ã°í ÃÖ´ëÇÑ ÀúÁ¡À» ³ë¸®½Ã¸é µÇ°Ú½À´Ï´Ù. 41800¿ø ÀüÈÄ¸é ¹«³ÇØ º¸ÀÌ¸ç ºÐÇҸżöµµ °í·ÁÇØ º¼¼ö ÀÖ°Ú½À´Ï´Ù.¸ñÇ¥°¡´Â 1Â÷·Î 46300¿ø ºÎ±Ù¿¡¼ Çѹø Â÷ÀͽÇÇöÀ» °í·ÁÇØ º¸½Ã°í ÀÌÈÄ ´¸±½Ã ÁöÁöµÇ´Â ÀúÁ¡¿¡¼ Àç°ø·« ÇÏ½Ã¸é µÇ°Ú½À´Ï´Ù. 2Â÷´Â 51000¿ø ÀÌ»óÀ» ±â´ë ÇÕ´Ï´Ù.
°¨»çÇÕ´Ï´Ù.



