ÁÖ½ÄÁ¾ÇÕÅä·Ð

¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼(FST)°¡ "±ØÀڿܼ±(EUV) Æç¸®Å¬(Pellicle)Àº ÇöÀç ¹ÝµµÃ¼ ÆÄ¿îµå¸® ÂÊ¿¡¼ ÁÖ·Î ¾²À̰í ÀÖÀ¸³ª, EUV ³ë±¤ ±â¼ú(EUVT) ¾ÈÁ¤¼º°ú Æç¸®Å¬ ¼ö¸íÀÌ ÀÏÁ¤ ¼öÁØ¿¡ µµ´ÞÇÒ °æ¿ì ¸Þ¸ð¸®¿¡¼µµ ä¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
ÃÖÀçÇõ FST ºÎ»çÀåÀº Áö³ 12¿ù11ÀÏ ¼¿ï °³² Æ÷½ºÄÚŸ¿ö ¿ª»ï¿¡¼ ¿¸° µðÀÏ·º ÁÖÃÖ '2026³â ¹ÝµµÃ¼ 3´ë ±â¼ú Æ®·»µå ÄÜÆÛ·±½º'¿¡¼ "±Û·Î¹ú EUV Æç¸®Å¬ ½ÃÀåÀº 2024³â ±âÁØ 7200¸¸~5¾ï5800¸¸´Þ·¯ ±Ô¸ð·Î ÃßÁ¤µÇ¸ç°í, 2033³â±îÁö ¿¬Æò±Õ(CAGR) 14.2% ¼ºÀåÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù"¸ç À̰°ÀÌ ¸»Çß´Ù.
Æç¸®Å¬Àº ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤¿¡¼ Æ÷Å丶½ºÅ©¸¦ º¸È£ÇÏ´Â Ãʹڸ· Çʸ§ÀÌ´Ù. EUV ±¤¿øÀº ±âÁ¸ ºÒȾƸ£°ï(ArF) ´ëºñ ¿¡³ÊÁö°¡ ÈξÀ ³ô´Ù. À̷κÎÅÍ Àå´ç ¼ö¾ï¿ø´ëÀÎ EUV ¸¶½ºÅ©¸¦ º¸È£ÇÏ·Á¸é °í³»¿¡¤°í±â°èÀû ¾ÈÁ¤¼ºÀ» °®Ãá ½Å¼ÒÀç°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.
FST´Â »ï¼ºÀüÀÚ¿Í EUV Æç¸®Å¬ °³¹ßÀ» ¸¶Ä¡°í ¾ç»êÀ» ¾ÕµÐ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁø´Ù. FSTÀÇ EUV Æç¸®Å¬Àº ź¼Ò³ª³ëÆ©ºê(CNT) ¸âºê·¹ÀÎÀ» ¿ÜºÎ ÇÁ·¹ÀÓ¿¡ ºÎÂøÇϰí, ¼ö¼Ò Çö󽺸¶ ȯ°æ¿¡¼ ³»±¸¼ºÀ» ³ôÀ̰íÀÚ Ãß°¡ ÄÚÆÃÀ» ÇÑ ±¸Á¶´Ù.
ÃÖ ºÎ»çÀåÀº "EUV ½ºÄ³³Ê Ãâ·ÂÀÌ ºü¸£°Ô »óÇâ ÁßÀ̰í, 2026~2027³â ¾ç»ê µµÀÔÀÌ ¿¹»óµÇ´Â ÇÏÀÌ NA(High Numerical Aperture) °øÁ¤Àº ¿ ¿¡³ÊÁö¸¦ °ßµô ¼ö ÀÖ´Â ¼ÒÀç°¡ ÇÙ½ÉÀε¥, ÀÌ Á¶°Ç¿¡¼ CNT Æç¸®Å¬ÀÌ ÃÖÀû ´ë¾ÈÀ¸·Î ºÎ»óÇß´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù. ÇÏÀÌ NA EUV Àåºñ´Â ±âÁ¸ EUV º¸´Ù ´õ Å« °³±¸¼ö(NA)¸¦ Àû¿ëÇØ ÇØ»óµµ¸¦ Å©°Ô Çâ»ó½ÃŲ Â÷¼¼´ë ³ë±¤ Àåºñ¸¦ ¶æÇÑ´Ù.
½ÇÁõ Æò°¡µµ Çϰí ÀÖ´Ù. ±×´Â "°í°´»ç EUV ½ºÄ³³Ê¿¡¼ Á÷Á¢ Æò°¡Çß°í, ÇöÀç±îÁö 400W ÀÌ»ó Ãâ·Â Á¶°Ç¿¡¼ Àû¿ë °¡´ÉÇÏ´Ù´Â Á¡À» È®ÀÎÇß´Ù"¸ç "5ų·Î(k) ÀÌ»ó ¶óÀÌÇÁŸÀÓ ¿ª½Ã EUV ½ºÄ³³Ê ȯ°æ¿¡¼ °ËÁõÇß´Ù"°í ¸»Çß´Ù. ÇöÀç´Â 500W±Þ Ãâ·Â Á¶°Ç¿¡¼ Ãß°¡ Æò°¡ ÁßÀÌ´Ù.
ASML ¼³ºñ(µ¦½ºÅÍ)¸¦ Ȱ¿ëÇÑ Æò°¡µµ º´Çà ÁßÀÌ´Ù. ÃÖ ºÎ»çÀåÀº 'µ¦½ºÅÍ¿¡¼´Â ´©Àû 11k ¼öÁرîÁö ³ë±¤ÀÌ °¡´ÉÇÑ °ÍÀ» È®ÀÎÇß°í, ÇöÀç Ãß°¡ Æò°¡ Áß"À̶ó°í Çß´Ù.
ÃÖ ºÎ»çÀåÀº "CNT Æç¸®Å¬ ´Ü°¡ ºÎ´ãÀÌ ÀûÁø ¾Ê´Ù"¸é¼µµ "Æç¸®Å¬ ¹Ì»ç¿ë ½Ã ÇÊ¿äÇÑ °í°¡ °Ë»çÀåºñ ÅõÀÚ, ½ºÄ³³Ê °ü¸®ºñ¿ë, ¸¶½ºÅ© Ãß°¡ Á¦ÀÛ°ú ÆÄ¼Õ À§Çè±îÁö Á¾ÇÕÇϸé, °øÁ¤ ¹Ì¼¼È¿Í ÇÏÀÌ NA EUV µµÀÔÀÌ ÁøÇàµÉ¼ö·Ï Æç¸®Å¬ äÅ÷üÀº ³ô¾ÆÁú ¼ö¹Û¿¡ ¾ø´Â ±¸Á¶"¶ó°í °Á¶Çß´Ù.
¿Ã 3ºÐ±â ¿¬°á±âÁØ ¸ÅÃâ¾×Àº 655.00¾ïÀ¸·Î Àü³âµ¿±â´ëºñ ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 18.72¾ï ÀûÀÚ·Î 2.97¾ï¿¡¼ ÀûÀÚÀüȯ. ´ç±â¼øÀÌÀÍÀº 67.66¾ï ÀûÀÚ·Î 15.15¾ï ÀûÀÚ¿¡¼ ÀûÀÚÆø È®´ë.
¿¬°á±âÁØ ¿Ã 3ºÐ±â ´©Àû¸ÅÃâ¾×Àº 2099.94¾ïÀ¸·Î Àü³âµ¿±â´ëºñ ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 26.12¾ïÀ¸·Î 20.26¾ï ÀûÀÚ¿¡¼ ÈæÀÚÀüȯ. ´ç±â¼øÀÌÀÍÀº 106.09¾ï ÀûÀÚ·Î 103.50¾ï ÀûÀÚ¿¡¼ ÀûÀÚÆø È®´ë.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ ÁÖ°¡°¡ °¼¼¸¦ º¸À̰í ÀÖ´Ù. 10¿ù24ÀÏ Çѱ¹°Å·¡¼Ò¿¡ µû¸£¸é À̳¯ ¿ÀÀü 9½Ã 5ºÐ ÇöÀç 7.85% ¿Ã¶ó 3¸¸ 6400¿ø¿¡ °Å·¡µÇ°í ÀÖ´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼°¡ ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼°øÁ¤ÀÇ ÇÙ½É ¼ÒÀçÀÎ EUV(±ØÀڿܼ±) Æç¸®Å¬ ½ÃÀå¿¡¼ »ï¼ºÀüÀÚ °ø±Þ¸Á¿¡ º»°Ý ÁøÀÔÇÒ Á¶ÁüÀ» º¸ÀÌ¸é¼ ÁÖ°¡¿¡ ±àÁ¤Àû ¿µÇâÀ» º¸À̰í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
¾÷°è¿¡¼´Â ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼°¡ ½ÃÁ¦Ç° ¾ç»êÀ» ¸¶Ä¡°í »ï¼ºÀüÀÚ¿¡ ´ëÇÑ °ø±ÞÀ» ¾ÕµÐ ´Ü°è·Î Æò°¡Çϸé¼, ±¹»ê Æç¸®Å¬ÀÇ »ó¿ëÈ ¿ø³âÀ̶ó´Â ±â´ë°¨ÀÌ Ä¿Áö°í ÀÖ´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Àåºñ¿Í ¼ÒÀç ºÐ¾ß¿¡¼ ²ÙÁØÈ÷ ±â¼ú·ÂÀ» ½×¾Æ¿Â ±â¾÷À¸·Î, EUV Æç¸®Å¬Àº ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ ¿þÀÌÆÛ¿¡ »õ±æ ¶§ ¿À¿°À» ¹æÁöÇÏ´Â º¸È£¸· ¿ªÇÒÀ» ÇÏ´Â ÇÙ½É ºÎǰÀÌ´Ù.
EUV ³ë±¤ ÀåºñÀÇ µµÀÔÀÌ °¡¼ÓÈµÇ¸é¼ Æç¸®Å¬Àº ¹Ì¼¼°øÁ¤ÀÇ º´¸ñÀ» Ǫ´Â ¿¼è·Î ºÒ¸°´Ù. Áö±Ý±îÁö´Â ÀϺ» ¹Ì¾²ÀÌÄɹÌÄà µî ¼Ò¼ö ÇØ¿Ü¾÷ü°¡ ½ÃÀåÀ» µ¶Á¡ÇßÁö¸¸, ÃÖ±Ù ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼°¡ ¾ç»ê ´Ü°è¿¡ ÁøÀÔÇÏ¸é¼ ¡®EUV Æç¸®Å¬ ±¹»êÈ¡¯ÀÇ Çö½ÇȰ¡ ´«¾Õ¿¡ ´Ù°¡¿Ô´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â Áö³ 2³â°£ ÀÚü ¿¬±¸°³¹ß(R&D)À» ÅëÇØ EUV Æç¸®Å¬ÀÇ ½ÃÁ¦Ç°À» ¿Ï¼ºÇϰí, »ï¼ºÀüÀÚ¿Í ¿©·¯ Â÷·Ê Æò°¡ Å×½ºÆ®¸¦ ÁøÇàÇØ¿Ô´Ù.
ȸ»ç °ü°èÀÚ´Â ¡°ÃÖ±Ù ¾ç»ê ¼öÁØÀÇ ½ÃÁ¦Ç°À» ³³Ç°Çß°í, °í°´»ç(»ï¼ºÀüÀÚ)ÀÇ °ËÁõÀÌ ¸¶¹«¸® ´Ü°è¿¡ ÀÖ´Ù¡±¸ç ¡°¿¬³» °¡½ÃÀûÀÎ °ø±Þ °è¾à ü°áÀ» ±â´ëÇϰí ÀÖ´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù.
¾÷°è °ü°èÀÚµéÀº ¡°»ï¼ºÀüÀÚ°¡ ³»³â HBM4(°í´ë¿ªÆø ¸Þ¸ð¸®)¿Í 2nm ÆÄ¿îµå¸® ¾ç»êÀ» ¾ÕµÎ°í ÀÖ¾î, ±¹³» °ø±Þ¸ÁÀ» °ÈÇÏ·Á´Â ¿òÁ÷ÀÓÀÌ ¶Ñ·ÇÇÏ´Ù¡±¸ç ¡°EUV Æç¸®Å¬ ºÐ¾ß¿¡¼µµ ±¹»ê Á¦Ç°ÀÌ Ã¤ÅÃµÉ °¡´É¼ºÀÌ ³ô´Ù¡±°í Àü¸ÁÇß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚÀÇ ÆÄ¿îµå¸®(¹ÝµµÃ¼ À§Å¹»ý»ê) ºÎ¹® ȸº¹¼¼°¡ º»°ÝȵǸé, Æç¸®Å¬ ¼ö¿ä°¡ Æø¹ßÀûÀ¸·Î ´Ã¾î³¯ Àü¸ÁÀÌ´Ù. ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â EUV Æç¸®Å¬ ¾ç»ê»Ó ¾Æ´Ï¶ó Â÷¼¼´ë Æç¸®Å¬¿ë ¼ÒÀç¿Í °ËÁõ Àåºñµµ ÇÔ²² °ø±ÞÇÒ ¼ö Àִ ü°è¸¦ °®Ãç, ¡®ÅäÅÐ ¼Ö·ç¼Ç¡¯ ±â¾÷À¸·Î ÀÚ¸® Àâ°í ÀÖ´Ù.
HBM(°í´ë¿ªÆø ¸Þ¸ð¸®)Àº AI ¹ÝµµÃ¼ ½Ã´ëÀÇ ÇÙ½É ºÎǰÀÌ´Ù. ¿£ºñµð¾Æ¸¦ ºñ·ÔÇÑ ±Û·Î¹ú ºòÅ×Å©µéÀÌ Â÷¼¼´ë HBM4 äÅÃÀ» Áغñ ÁßÀÎ °¡¿îµ¥, »ï¼ºÀüÀÚ´Â ³»³â »ó¹Ý±â º»°Ý ¾ç»êÀ» ¸ñÇ¥·Î ¶óÀÎÀ» Áõ¼³Çϰí ÀÖ´Ù. ÀÌ °úÁ¤¿¡¼ EUV °øÁ¤ Àû¿ë ¹üÀ§°¡ ´ëÆø È®´ëµÇ¸ç, Æç¸®Å¬ÀÇ Á߿伺ÀÌ ±× ¾î´À ¶§º¸´Ù Ä¿Á³´Ù.
½ÃÀåÁ¶»ç¾÷ü Æ®·»µåÆ÷½º¿¡ µû¸£¸é, HBM4 °øÁ¤¿¡¼ EUV ³ë±¤ Àåºñ »ç¿ë ºñÁßÀº ±âÁ¸ ´ëºñ 2¹è ÀÌ»ó Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù. ÀÌ¿¡ µû¶ó Æç¸®Å¬ÀÇ ¼ö¿äµµ µ¿¹Ý »ó½ÂÀÌ ºÒ°¡ÇÇÇÏ´Ù.
ÇÑ Áõ±Ç»ç ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â ¡°¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â ±¹³» À¯ÀÏÇÏ°Ô EUV Æç¸®Å¬À» ¾ç»ê ¼öÁØÀ¸·Î ²ø¾î¿Ã¸° ±â¾÷À¸·Î, HBM4 ¾ç»êÀÌ º»°ÝȵǸé Á÷Á¢ÀûÀÎ ¼öÇý°¡ ¿¹»óµÈ´Ù¡±°í ºÐ¼®Çß´Ù.
EUV Æç¸®Å¬Àº µÎ²²°¡ 50³ª³ë¹ÌÅÍ(§¬)¿¡ ºÒ°úÇÑ Ãʹڸ· Çʸ§ÀÌ´Ù. °øÁ¤ Áß ¹Ì¼¼ÇÑ ¿À¿°À̳ª º¯ÇüÀÌ ¹ß»ýÇÏ¸é ¼öõ¸¸ ´Þ·¯ ±Ô¸ðÀÇ ¼Õ½Ç·Î À̾îÁú ¼ö ÀÖ¾î, ±â¼úÀû ÁøÀÔ À庮ÀÌ ¸Å¿ì ³ô´Ù. ±×µ¿¾È »ï¼ºÀüÀÚ¿Í SKÇÏÀ̴нº´Â ÀϺ»¡¤¹Ì±¹ ¾÷ü¿¡ ÀÇÁ¸ÇؿԴÙ.
ÇÏÁö¸¸ ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â µ¶ÀÚÀûÀÎ ¼ÒÀ硤°øÁ¤ ±â¼úÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î °í³»¿¼º, °íÅõ°úÀ², Àú°áÇÔ Æç¸®Å¬À» ±¸ÇöÇÏ´Â µ¥ ¼º°øÇß´Ù. ƯÈ÷ Æç¸®Å¬ ÇÁ·¹ÀÓ°ú ¼ÒÀçÀÇ ÀÏüÇü ±¸Á¶¸¦ ÅëÇØ ³»±¸¼º°ú ±ÕÀϼºÀ» È®º¸ÇÑ °ÍÀÌ °Á¡À¸·Î ²ÅÈù´Ù.
¾÷°è °ü°èÀÚ´Â ¡°»ï¼ºÀüÀÚ°¡ ±¹»ê Æç¸®Å¬À» äÅÃÇÏ¸é ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ÀÚ¸³ÀÇ »ó¡Àû ÀüȯÁ¡ÀÌ µÉ °Í¡±À̶ó¸ç ¡°±Û·Î¹ú ½ÃÀå¿¡¼µµ ¡®K-Æç¸®Å¬¡¯ ºê·£µåÀÇ ½Å·Úµµ°¡ ±Þ»ó½ÂÇÒ °¡´É¼ºÀÌ Å©´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â ¿ø·¡ ¹ÝµµÃ¼ Å×½ºÆ® Àåºñ¿Í ¿Âµµ Á¦¾î Àåºñ(TCU) ºÐ¾ß¿¡¼ °æÀï·ÂÀ» ½×¾Æ¿Â ȸ»ç´Ù. ±×·¯³ª ÃÖ±Ù ¸î ³â°£ R&D ÅõÀÚ¸¦ ÁýÁßÇÏ¸ç ¼ÒÀç ºÐ¾ß·Î ¿Ü¿¬À» ³ÐÇû´Ù. EUV Æç¸®Å¬, ±¤ÇмÒÀç, Á¤¹Ð Çʸ§ µî ¹Ì·¡ °øÁ¤ ÇÙ½É ¼ÒÀç·Î Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ ´Ù°¢ÈÇß´Ù.
ȸ»ç´Â ¡°»ï¼ºÀüÀÚ ¿Ü¿¡µµ ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ °í°´°úÀÇ Çù·Â ³íÀǰ¡ ÁøÇà Áß¡±À̶ó¸ç ¡°±¹³»»Ó ¾Æ´Ï¶ó ÇØ¿Ü ½ÃÀå¿¡¼µµ °ø±Þ ±âȸ¸¦ È®º¸ÇÒ °Í¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù. ½ÇÁ¦·Î ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â Æç¸®Å¬ °ü·Ã ±â¼ú·Î ±¹³»¿Ü 50¿© °ÇÀÇ Æ¯Ç㸦 º¸À¯Çϰí ÀÖÀ¸¸ç, ÀϺδ ¹Ì±¹°ú ´ë¸¸ ƯÇãû¿¡µµ µî·ÏµÅ ÀÖ´Ù.
Àü¹®°¡µéÀº ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ÀÇ Çຸ¸¦ EUV »ýŰèÀÇ ÇÙ½É ÃàÀ¸·Î Æò°¡ÇÑ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ¿ÍÀÇ °ø±Þ ü°è°¡ º»°Ý鵃 °æ¿ì, ȸ»çÀÇ ½ÇÀû°ú ±â¾÷°¡Ä¡ ¸ðµÎ ±Þ°ÝÈ÷ ¼ºÀåÇÒ °¡´É¼ºÀÌ ³ô´Ù´Â ºÐ¼®ÀÌ´Ù.
¾÷°è Àλç´Â ¡°EUV Æç¸®Å¬Àº ´Ü¼øÇÑ ºÎǰÀÌ ¾Æ´Ï¶ó ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» °áÁ¤Áþ´Â Àü·«¼ÒÀ硱¶ó¸ç ¡°±¹»êÈ ¼º°øÀº Çѱ¹ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ±â¼úÀû ÀÚ¸³À» ÀǹÌÇÑ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ÀÇ µµÀüÀº ´Ü¼øÈ÷ ÇÑ ±â¾÷ÀÇ ¼ºÀå ½ºÅ丮°¡ ¾Æ´Ï´Ù. ÇØ¿Ü ÀÇÁ¸µµ°¡ ³ô¾Ò´ø ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀçÀÇ ±¹»êÈ, ±×¸®°í »ï¼ºÀüÀÚ¿ÍÀÇ Àü·«Àû µ¿¹Ý ¼ºÀåÀ̶ó´Â ±¹°¡ »ê¾÷ °æÀï·ÂÀÇ »ó¡À¸·Î Æò°¡µÈ´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼(FST)°¡ ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤ °øÁ¤¿ë Æç¸®Å¬(Pellicle) ¾ç»ê °ø±ÞÀ» ¾ÕµÎ°í ÀÖ´Ù. EUV Æç¸®Å¬Àº ±âÁ¸ ½ÉÀڿܼ±(DUV) °øÁ¤¿¡¼ ¾²´Â Æç¸®Å¬ ´ëºñ °ø±Þ ´Ü°¡°¡ ¼ö½Ê¹è ÀÌ»ó ºñ½Ñ °íºÎ°¡ Á¦Ç°ÀÌ´Ù. ÇâÈÄ »ç¿ë·®µµ ´Ã¾î³¯ Àü¸ÁÀÌ¾î¼ FST ¸ÅÃâ È®´ë¿¡ Å©°Ô ±â¿©ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
9¿ù2ÀÏ ¾÷°è¿¡ µû¸£¸é FST´Â ÃÖ±Ù »ï¼ºÀüÀÚ¿Í EUV Æç¸®Å¬ °ø±Þ ´Ü°¡ È®Á¤À» À§ÇØ Çù»ó ÁßÀÌ´Ù. À̸£¸é ¿Ã ¿¬¸»ºÎÅÍ Á¦Ç°ÀÌ °ø±ÞµÉ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÌ »ç¾È¿¡ Á¤ÅëÇÑ °ü°èÀÚ´Â "»ç½Ç»ó °ø±Þ ÃÊÀб⿡ µé¾î°£ °Í"À̶ó¸é¼ "»ï¼ºÀüÀÚ´Â ³»³â ÃʺÎÅÍ ¾ç»êÇÒ ÃֽŠ2³ª³ë ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤ °¡¿îµ¥ ÀϺΠÁß¿äÇÑ EUV °øÁ¤¿ë ¸¶½ºÅ©¿¡ FST Æç¸®Å¬À» Àû¿ëÇÑ´Ù´Â °èȹÀ» ¼¼¿ü´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù. ƯÈ÷ »ï¼ºÀüÀÚ Â÷¼¼´ë ÇÏÀÌ-NA EUV Àåºñ¿¡µµ FST Æç¸®Å¬ÀÌ ´ëÀÀÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÇâÈÄ Á¡ÁøÀûÀ¸·Î EUV Æç¸®Å¬ Àû¿ëÀ» È®´ëÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
°ø±Þ ´Ü°¡´Â °³´ç 5000¸¸¿ø ¹Ì¸¸¿¡¼ ³íÀǵǰí ÀÖ´Ù. ArF³ª KrF µî ±âÁ¸ DUV¿ë Æç¸®Å¬ °³´ç ´Ü°¡°¡ ¼ö½Ê¸¸¿ø¿¡¼ °¡Àå ºñ½Ñ Á¦Ç°ÀÌ 100¸¸¿ø Á¤µµÀÎ Á¡À» °¨¾ÈÇÏ¸é »ó´çÈ÷ ³ôÀº ºÎ°¡°¡Ä¡¸¦ °¡Áø Á¦Ç°ÀÌ´Ù.
FST°¡ °ø±ÞÇÑ EUV Æç¸®Å¬ ½ÃÁ¦Ç°Àº ÇÁ·¹ÀÓ¿¡¼ ÀϺΠÆÄƼŬ(¸ÕÁö)ÀÌ ¹ß»ýÇÏ´Â Á¤µµÀÇ ¹®Á¦¸¦ Á¦¿ÜÇϸé Åõ°úÀ²¡¤±ÕÀϼº¡¤³»¿¼º¡¤¼ö¼Ò ÇöóÁ ³»±¸¼º µî ÁÖ¿ä ¼º´É Ç׸ñ¿¡¼ »ï¼ºÀüÀÚÀÇ Æò°¡ ±âÁØÀ» ÃæÁ·Çϰųª Àû¿ë ´Ü°è¿¡ ±ÙÁ¢ÇÑ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù. ÇÁ·¹ÀÓ ÆÄƼŬ ¹®Á¦´Â Á¶¸¸°£ °³¼±ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
Æç¸®Å¬Àº ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡¼ Æ÷Å丶½ºÅ©¸¦ º¸È£ÇÏ´Â Ãʹڸ· Åõ¸í Çʸ§ÀÌ´Ù. ³ë±¤ °øÁ¤¿¡¼ ¿þÀÌÆÛ À§¿¡ ȸ·Î ÆÐÅÏÀ» Àü»çÇÒ ¶§, ¸¶½ºÅ© Ç¥¸é¿¡ ÆÄƼŬ(¸ÕÁö)À̳ª À̹°ÁúÀÌ Á÷Á¢ ´ê¾Æ °áÇÔÀÌ »ý±â´Â °ÍÀ» ¸·´Â´Ù. µÎ²²´Â ¼ö½Ê ³ª³ë¹ÌÅÍ ¼öÁØÀ¸·Î ¸Å¿ì ¾ã´Ù. ºû Åõ°úÀ²ÀÌ ³ô¾Æ¾ß Çϸç, °í¿Â¡¤ÇöóÁ ȯ°æÀ» °ßµô ¸¸Å ³ôÀº °µµ°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ¼ö ³â ÀüºÎÅÍ ASML EUV Àåºñ¸¦ µµÀÔÇØ ¼±´Ü °øÁ¤ ¹ÝµµÃ¼¸¦ »ý»êÇϰí ÀÖÀ¸³ª Æç¸®Å¬Àº »ç¿ëÇÏÁö ¾Ê¾Ò¾ú´Ù. Àû¿ëÇÒ Á¦Ç°ÀÌ ¾ø¾ú±â ¶§¹®ÀÌ´Ù. EUV ¸¶½ºÅ©´Â Àå´ç ¼ö¾ï ¿ø´ë¿¡ ´ÞÇÑ´Ù. Æç¸®Å¬ ¾øÀÌ »ç¿ëÇÏ´Ù°¡ ¸¶½ºÅ©¿¡ ¸ÕÁö°¡ ºÙÀ¸¸é Æó±âÇϰųª º¹ÀâÇÑ Àçó¸® °úÁ¤À» °ÅÃÄ¾ß Çß´Ù. »ï¼ºÀº ¿ÃÇØ ÃʺÎÅÍ FST Æç¸®Å¬ ½ÃÁ¦Ç°À» ¶óÀο¡ ¹ÝÀÔÇØ Æò°¡¸¦ ÁøÇàÇß°í, °³¼± »çÇ×À» ÁÖ°í¹ÞÀ¸¸ç »ç½Ç»ó °øµ¿ °³¹ß ÇüÅ·ΠFSTÀÇ Á¦Ç° ¿Ï¼ºµµ¸¦ ²ø¾î¿Ã·È´Ù.
FSTÀÇ EUV Æç¸®Å¬Àº ź¼Ò³ª³ëÆ©ºê(CNT) ¸âºê·¹ÀÎ ±¸Á¶¸¦ ¿ÜºÎ ÇÁ·¹ÀÓ¿¡ ºÎÂøÇϰí, ¼ö¼Ò ÇöóÁ ȯ°æ¿¡¼ÀÇ ³»±¸¼ºÀ» ³ôÀ̱â À§ÇØ º°µµ ÄÚÆÃÀ» ÀÔÈù ÇüÅ´Ù. CNT ¸âºê·¹ÀÎÀº ÈçÈ÷ ¸ð±âÀå¿¡ ºñÀ¯µÈ´Ù. ³ª³ë ¼öÁØ¿¡¼ ÃÎÃÎÈ÷ ¾ôÈù Åõ¸í ±×¹°¸Á ÇüÅ·ΠÁ¦À۵ЏÕÁö´Â Â÷´ÜÇÏ¸é¼ ºû¸¸ Åë°ú½Ãų ¼ö ÀÖ´Ù. ´ÜÀÏ CNT Çʸ§ »óÅ¿¡¼´Â Åõ°úÀ²ÀÌ 96~97%¿¡ À̸¦ ¼ö ÀÖ´Ù.
´Ù¸¸ EUV ³ë±¤±â ³»ºÎ°¡ ¼ö¼Ò(H©ü) ÇöóÁ ȯ°æÀ¸·Î À¯ÁöµÇ´Â ¸¸Å, Ȱ¼ºÈµÈ ¼ö¼Ò ÀÌ¿Â(H£¿)ÀÌ CNTÀÇ Åº¼Ò-ź¼Ò °áÇÕÀ» ²÷¾î³»´Â °ÍÀÌ °¡Àå Å« ±â¼úÀû ÇØ°á °úÁ¦¿´´Ù. CNT´Â ±×·¡ÇÉ ½ÃÆ®¸¦ ¸»¾Æ ¸¸µç ±¸Á¶·Î °µµ¿Í ³»¿¼ºÀº ¶Ù¾î³ªÁö¸¸, ¼ö¼Ò ÀÌ¿ÂÀº ¿øÀÚ Å©±â°¡ ÀÛ¾Æ ½±°Ô ħÅõÇØ °ÝÀÚ¸¦ ¼Õ»ó½ÃŲ´Ù. ÀÌ ¶§¹®¿¡ CNT ¸âºê·¹ÀÎÀº ½Ã°£ÀÌ Áö³ª¸é¼ Á¡Â÷ ¾ã¾ÆÁö°í °áÇÔÀÌ »ý±æ ¼ö ÀÖ´Ù. FST´Â À̸¦ ¸·±â À§ÇØ º¸È£ ÄÚÆÃ ±â¼úÀ» Àû¿ëÇß´Ù. ÀÌ º¸È£ ÄÚÆÃ ¼ÒÀç°¡ ¹«¾ùÀÎÁö, ¾î¶² ¹æ¹ýÀ¸·Î ÄÚÆÃÀ» ÇÏ´ÂÁö´Â ¿ÜºÎ¿¡ ÀüÇô ¾Ë·ÁÁöÁö ¾Ê°í ÀÖ´Ù. ¾÷°è °ü°èÀÚ´Â "ÄÚÆÃÀ» ¹«¾ùÀ¸·Î ¾î¶»°Ô ÇÏ´À³Ä°¡ ÇÙ½É ±â¼úÀ̱⠶§¹®"À̶ó°í ¸»Çß´Ù. º¸È£ ÄÚÆÃÀ» ´õÇÑ ÃÖÁ¾ Æç¸®Å¬ÀÇ À¯È¿ Åõ°úÀ²Àº 90%´ë ÃÊÁß¹ÝÀÎ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.
FST°¡ µµÀÔÇÑ CNT ¸âºê·¹ÀÎ ÇÕ¼º Àåºñ´Â ÇɶõµåÀÇ Ä«³ªÅõ(Canatu)°¡ °ø±ÞÇÑ °ÍÀÌ´Ù. Ä«³ªÅõ´Â Áö³ÇØ 9¿ù CNT100 SEMI ¸®¾×ÅÍ¿Í ÈÄó¸® Àåºñ¸¦ FST¿¡ ³³Ç°Çß´Ù. Ä«³ªÅõ´Â ÀÌ¿Í °ü·ÃÇØ ÃÖ±Ù °í°´»ç ÇöÀå¿¡¼ ½Ç½ÃµÈ '»çÀÌÆ® Àμö Å×½ºÆ®(SAT: Site Acceptance Test)'¸¦ Áö³ 7¿ù¿¡ Åë°úÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù. SAT´Â °í°´»ç ¶óÀο¡ Àåºñ¸¦ ¼³Ä¡ÇÏ°í ½ÇÁ¦ Á¶°Ç¿¡¼ ¼º´ÉÀ» °ËÁõÇÏ´Â ÀýÂ÷·Î, ¾÷°è¿¡¼´Â ÀÌ °ËÁõÀÌ »ï¼ºÀüÀÚ¿¡ ÀÇÇØ ÀÌ·ïÁ³À» °¡´É¼ºÀÌ ³ôÀº °ÍÀ¸·Î º¸°í ÀÖ´Ù. Ä«³ªÅõ´Â "¼¼°è ÃÖÃÊ·Î CNT ±â¹Ý EUV Æç¸®Å¬ Á¦Á¶ ¸®¾×ÅͰ¡ ¾ç»ê Àû°Ý¼ºÀ» È®º¸ÇÑ »ç·Ê"¶ó°í °Á¶Çß´Ù.
¾÷°è °ü°èÀÚ´Â "FST´Â »ï¼ºÀÇ 2³ª³ë ¼±´Ü °øÁ¤¿¡ ÇʼöÀûÀÎ ¼ÒÀ縦 °ø±ÞÇÏ¸é¼ °íºÎ°¡ ¹ÝµµÃ¼ ¼Ò¸ðÀç ½ÃÀå¿¡ ÁøÀÔÇß´Ù"¸ç "Àå±âÀû ¼öÀÍ È®´ë ¹ßÆÇÀ» ¸¶·ÃÇÑ ¼À"À̶ó°í Æò°¡Çß´Ù.
FST´Â Æç¸®Å¬ °ü·Ã »ç¾È¿¡ ´ëÇØ "È®ÀÎÇØÁÙ ¼ö ¾ø´Ù"°í ¹àÇû´Ù.
Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ÀÇ ÇÙ½É ¼ÒÀç·Î ÁÖ¸ñ¹Þ´Â EUV(±ØÀڿܼ±) Æç¸®Å¬ ½ÃÀå¿¡¼ ¼º°ú¸¦ ³»¸é¼ ÁÖ°¡¿¡ ÈûÀ» ºÒ¾î ³Ö°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
ÃÖ±Ù ½ÃÁ¦Ç° ¼öÁØ¿¡¼ ¹þ¾î³ª ¾ç»ê Ãʱ⠴ܰ迡 ÁøÀÔÇϸç, ±Û·Î¹ú °ø±Þ¸Á ÁøÀÔ¿¡ ´ëÇÑ ±â´ë°¨µµ Ä¿Áö°í ÀÖ´Ù.
EUV Æç¸®Å¬Àº ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤¿¡¼ ±ØÀڿܼ±(EUV) ±¤¿øÀ» º¸È£ÇÏ´Â ¹Ú¸· ¼ÒÀç·Î, ¿þÀÌÆÛ À§¿¡ À̹°ÁúÀÌ ¹¯Áö ¾Êµµ·Ï ÇÏ´Â ¿ªÇÒÀ» ¼öÇàÇÑ´Ù. °øÁ¤ Á¤¹Ðµµ°¡ ±Øµµ·Î ³ôÀº EUV ±â¼ú¿¡¼, Æç¸®Å¬Àº ¼öÀ²À» Á¿ìÇÏ´Â ÇÙ½É ºÎǰ Áß Çϳª´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â ¼ö³â°£ÀÇ ¿¬±¸°³¹ßÀ» °ÅÃÄ ÃÖ±Ù EUV Æç¸®Å¬ ½ÃÁ¦Ç° ¾ç»ê üÁ¦¿¡ µ¹ÀÔÇßÀ¸¸ç, ÁÖ¿ä °í°´»ç·ÎºÎÅÍ Ç°Áú Å×½ºÆ®¿Í ¾ç»ê Ÿ´ç¼º °ËÁõÀ» ¿Ï·áÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â »ï¼ºÀüÀÚ¿ÍÀÇ Àü·«Àû Çù·Â °ü°è¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î, ÇâÈÄ ¸ÅÃâ ¼ºÀåÀÌ ±â´ëµÇ´Â ´ëÇ¥Àû ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ±â¾÷À¸·Î ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ°¡ GAA(°ÔÀÌÆ®¿Ã¾î¶ó¿îµå) ±â¹ÝÀÇ Â÷¼¼´ë °øÁ¤°ú ÇÔ²² ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ÀÇ È¸º¹À» °¡½ÃÈÇϸé¼, Æç¸®Å¬ ¼ö¿ä°¡ È®´ëµÉ °¡´É¼ºÀÌ Å©´Ù.
¾÷°è¿¡¼´Â »ï¼ºÀüÀÚÀÇ EUV °øÁ¤ È®´ë°¡ ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ÀÇ ¾ç»ê ¹°·® Áõ°¡·Î À̾îÁú °ÍÀ¸·Î º¸°í ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ¿¡ µû¸¥ Á÷Á¢ÀûÀÎ ¸ÅÃâ Áõ´ë°¡ ±â´ëµÈ´Ù.
Áõ±Ç°¡ ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â ¡°EUV Àåºñ 1´ë´ç Æç¸®Å¬ ¼ö¿ä°¡ »ó´çÇÑ ¼öÁØÀ̸ç, ¾ÆÁ÷ ±¹³»¿¡¼ ÀÌ ±â¼úÀ» »ó¿ëÈÇÑ ¾÷ü´Â ¼Õ¿¡ ²ÅÈù´Ù¡±¸ç, ¡°¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â »ï¼ºÀüÀÚ È¸º¹ ±¹¸é¿¡¼ °¡Àå Á÷Á¢ÀûÀÎ ¼öÇý°¡ °¡´ÉÇÑ ±â¾÷ Áß Çϳª¡±¶ó°í ºÐ¼®Çß´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â Áö³ÇØ »ï¼ºÀüÀڷκÎÅÍ 430¾ï ¿ø ±Ô¸ðÀÇ ÅõÀÚ¸¦ À¯Ä¡ÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù. ÀÌ´Â ´Ü¼ø Çù·Â Â÷¿øÀ» ³Ñ¾î, »ï¼ºÀÌ ±â¼ú·Â°ú Àü·«Àû °¡Ä¡¸¦ ³ôÀÌ Æò°¡Çϰí ÀÖ´Ù´Â ¹æÁõÀ¸·Î ¹Þ¾Æµé¿©Áö°í ÀÖ´Ù.
¾÷°è¿¡¼´Â À̸¦ ´Ü¼ø ÁöºÐ ÅõÀÚ ÀÌ»óÀÇ ¡®ÆÄÆ®³Ê½Ê¡¯À¸·Î ÇØ¼®Çϰí ÀÖ´Ù. ½ÇÁ¦·Î »ï¼ºÀüÀÚ´Â EUV °øÁ¤ È®´ë¿¡ ¾Õ¼ ¼ÒÀ硤ºÎǰ »ýŰè À°¼º¿¡ °øÀ» µéÀ̰í ÀÖÀ¸¸ç, ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â ±× Áß½ÉÃà Áß Çϳª·Î ºÎ»óÇϰí ÀÖ´Ù.
±â¼ú·ÂÀº ÀÌ¹Ì ±¹³»¿Ü¿¡¼ ÀÎÁ¤¹Þ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÇâÈÄ ±Û·Î¹ú EUV Àåºñ °ø±Þ»çµé°úÀÇ Çù·Â °¡´É¼ºµµ Á¦±âµÇ°í ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ ¹Ì±¹, ´ë¸¸, À¯·´ ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µé°úÀÇ °Å·¡ È®´ë °¡´É¼ºµµ º»°Ý °Å·ÐµÇ´Â »óȲÀÌ´Ù.
ÇöÀç EUV Æç¸®Å¬ ½ÃÀåÀº ÀϺ» ¾Æ½ºÅÚ¶ó½º¿Í ÀϺΠ±Û·Î¹ú ±â¾÷µéÀÌ ¼±Á¡Çϰí ÀÖÀ¸³ª, ±â¼ú À庮°ú »ý»ê ³À̵µ°¡ ³ôÀº ¸¸Å ½Å±Ô ÁøÀÔÀÚÀÇ ½ÃÀå È®ÀåÀº Á¡ÁøÀûÀ¸·Î ÀÌ·ïÁú Àü¸ÁÀÌ´Ù.
¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ÀÇ °æ¿ì, Àڻ縸ÀÇ ¹Ú¸·¼ÒÀç ÁõÂø¡¤°¡°ø ±â¼úÀ» Ȱ¿ëÇØ ³»¿¼º°ú Åõ°úÀ²À» ±Ø´ëÈÇÑ Á¦Ç°À» °³¹ßÇϰí ÀÖÀ¸¸ç, ½ÇÁ¦ ¾ç»ê °øÁ¤¿¡¼ÀÇ ³»±¸¼º Å×½ºÆ®¸¦ Åë°úÇÑ ¸î ¾È µÇ´Â ±¹»ê Á¦Ç°À̶ó´Â Æò°¡¸¦ ¹Þ°í ÀÖ´Ù.
¾÷°è¼´Â ÇâÈÄ ±¹»êÈÀ² È®´ë¿Í ÇÔ²² ¼ÒÀç ÀÚ¸³µµ°¡ ³ô¾ÆÁö¸é Á¤ºÎ ¹× ÁÖ¿ä ±â¾÷ÀÇ Á¤Ã¥Àû Áö¿øµµ À̾îÁú ¼ö ÀÖ´Ù°í º¸°í ÀÖ´Ù. ¼ÒÀç ±¹»êȰ¡ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ¾ÈÁ¤¼º°ú Á÷°áµÇ´Â ¸¸Å, ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ÀÇ ¿ªÇÒµµ ´õ¿í Áß¿äÇØÁú °ÍÀ̶õ Àü¸ÁÀÌ´Ù.
EUV Æç¸®Å¬ °ü·Ã ½ÇÀûÀÌ º»°Ý ¹Ý¿µµÇ´Â ½ÃÁ¡À» ¿ÃÇØ ÇϹݱâ~2026³â ÃÊ·Î ¿¹ÃøÇϰí ÀÖ´Ù. ½ÃÁ¦Ç° ¾ç»êÀ» ³Ñ¾î ½ÇÁ¦ ¸ÅÃâÀÌ ¹Ý¿µµÇ±â±îÁö´Â °í°´»ç Å×½ºÆ®¡æ¾ç»ê¡æ°ø±Þ°è¾à ü°á µîÀÇ ´Ü°è¸¦ °ÅÃÄ¾ß Çϱ⠶§¹®ÀÌ´Ù.
ÇÏÁö¸¸ Àü¹®°¡µéÀº ¡°±â¼ú·Â ±â¹ÝÀÇ ±¹»êÈ¿¡ ¼º°øÇÑ ¼ÒÀç ±â¾÷Àº ¼Ò¼öÀ̸ç, ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼´Â ÁßÀå±â ¼ºÀ嵿·Â È®º¸ Ãø¸é¿¡¼ ¸Å¿ì À¯¸®ÇÑ °íÁö¸¦ Á¡Çϰí ÀÖ´Ù¡±°í ºÐ¼®Çß´Ù.
EUV °øÁ¤ È®´ë, »ï¼ºÀüÀÚ È¸º¹, ±¹»êÈ ±âÁ¶¶ó´Â 3´ë È£À縦 µî¿¡ ¾÷Àº ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ÀÇ Çຸ°¡ ¾÷°èÀÇ ÁÖ¸ñÀ» ¹Þ°í ÀÖ´Ù. ±â¼úÀÌ ½ÇÀûÀ¸·Î ¿¬°áµÇ´Â ±¸°£¿¡¼, ÀÌ ±â¾÷ÀÇ Áø¸é¸ñÀÌ µå·¯³¯ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
À۳⠿¬°á±âÁØ ¸ÅÃâ¾×Àº 2374.08¾ïÀ¸·Î Àü³â´ëºñ 20.1% Áõ°¡. ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 22.87¾ïÀ¸·Î 107.82¾ï ÀûÀÚ¿¡¼ ÈæÀÚÀüȯ. ´ç±â¼øÀÌÀÍÀº 32.42¾ï ÀûÀÚ·Î 181.03¾ï ÀûÀÚ¿¡¼ ÀûÀÚÆø ´ëÆø Ãà¼Ò.
2023³â ¿¬°á±âÁØ ¸ÅÃâ¾×Àº 1976.09¾ïÀ¸·Î Àü³â´ëºñ 10.02% °¨¼Ò. ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 107.82¾ï ÀûÀÚ·Î 63.34¾ï¿¡¼ ÀûÀÚÀüȯ. ´ç±â¼øÀÌÀÍÀº 181.03¾ï ÀûÀÚ·Î 408.39¾ï¿¡¼ ÀûÀÚÀüȯ.
¹ÝµµÃ¼ Àç·á/Àåºñ Àü¹®¾÷ü. Æ÷Å丶½ºÅ©¿ë º¸È£¸·ÀÎ Æç¸®Å¬(Pellicle)°ú ¹ÝµµÃ¼°øÁ¤Áß ½Ä°¢°øÁ¤¿¡¼ Process Chamber ³» ¿ÂµµÁ¶ÀýÀåºñÀΠĥ·¯(Chiller)¸¦ ÁÖ·ÂÀ¸·Î »ý»ê. ±¹³» À¯ÀÏÀÇ Æç¸®Å¬(Æ÷Å丶½ºÅ© ¿À¿°¹æÁö ºÎǰ, ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Æç¸®Å¬ M/S 80% ¼öÁØ) Á¦Á¶ ¾÷üÀ̸ç, FPD¿ë Æç¸®Å¬(Pellicle) »ç¾÷µµ ¿µÀ§.
½Å±Ô»ç¾÷À¸·Î EUV °øÁ¤¿¡ ÀûÇÕÇÑ EUV PellicleÀ» ¿¬±¸°³¹ßÁßÀ̸ç, ÀåºñºÎ¹®¿¡¼´Â EUV Pellicle mounter & demounter, EUV Pellicle ¹× EUV Pod °Ë»ç Àåºñ °³¹ßÀ» ¿Ï·á. ÀϺΠÁ¦Ç°Àº 23³â °í°´»ç µ¥¸ð ¿Ï·áÈÄ ÆÇ¸Å Àüȯ.
ÃÖ´ëÁÖÁÖ´Â Àå¸í½Ä ¿Ü(24.26%), ÁÖ¿äÁÖÁÖ´Â »ï¼ºÀüÀÚ(7.00%).
2022³â ¿¬°á±âÁØ ¸ÅÃâ¾×Àº 2196.24¾ïÀ¸·Î Àü³â´ëºñ 6.09% Áõ°¡. ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 63.34¾ïÀ¸·Î 72.14% °¨¼Ò. ´ç±â¼øÀÌÀÍÀº 408.39¾ïÀ¸·Î 44.74% Áõ°¡.
2003³â 3¿ù10ÀÏ 514¿ø¿¡¼ ¹Ù´ÚÀ» ÂïÀº ÈÄ ÀÛ³â 6¿ù11ÀÏ 41486¿ø¿¡¼ ÃÖ°í°¡¸¦ Âï°í Á¶Á¤¿¡ µé¾î°£ ¸ð½À¿¡¼ 12¿ù9ÀÏ 14067¿ø¿¡¼ ¸¶¹«¸®ÇÑ ÀÌÈÄ ¿Ã 2¿ù25ÀÏ 24050¿ø¿¡¼ °íÁ¡À» Âï°í ¹Ð·ÈÀ¸³ª 4¿ù9ÀÏ 15860¿ø¿¡¼ ÀúÁ¡À» ÂïÀº ¸ð½ÀÀÔ´Ï´Ù. ÀÌÈÄ µî¶ôÀ» º¸ÀÌ´Â °¡¿îµ¥ Á¡Â÷ ÀúÁ¡°ú °íÁ¡À» ³ôÇô¿À´Â ¸ð½À¿¡¼ 10¿ù24ÀÏ 40300¿ø¿¡¼ °íÁ¡À» Âï°í ¹Ð·ÈÀ¸³ª 12¿ù1ÀÏ 25800¿ø¿¡¼ ÀúÁ¡À» Âï°í µî¶ôÀ» º¸ÀÌ´Â °¡¿îµ¥ ¼¼È÷ ÀúÁ¡°ú °íÁ¡À» ³ôÇô¿À´Â ÁßÀ¸·Î, ÀÌÁ¦ºÎÅÏ ÀúÁ¡À» ÁÙ¶§¸¶´Ù ¹°·® ¸ð¾ÆµÑ ±âȸ·Î º¸¿©Áý´Ï´Ù.
¼ÕÀýÁ¡Àº 28350¿øÀ¸·Î º¸½Ã°í ÃÖ´ëÇÑ ÀúÁ¡À» ³ë¸®½Ã¸é µÇ°Ú½À´Ï´Ù. 29500¿ø ÀüÈÄ¸é ¹«³ÇØ º¸ÀÌ¸ç ºÐÇҸżöµµ °í·ÁÇØ º¼¼ö ÀÖ°Ú½À´Ï´Ù.¸ñÇ¥°¡´Â 1Â÷·Î 32450¿ø ºÎ±Ù¿¡¼ Çѹø Â÷ÀͽÇÇöÀ» °í·ÁÇØ º¸½Ã°í ÀÌÈÄ ´¸±½Ã ÁöÁöµÇ´Â ÀúÁ¡¿¡¼ Àç°ø·« ÇÏ½Ã¸é µÇ°Ú½À´Ï´Ù. 2Â÷´Â 35700¿ø ÀÌ»óÀ» ±â´ë ÇÕ´Ï´Ù.
°¨»çÇÕ´Ï´Ù.



